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多晶硅敏感技术（连载九）

Sensing Technology Based on Polycrystalline Silicon(Serial Nine)

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摘要多晶硅敏感技术（连载九）王善慈（东北传感技术研究所）ＳｅｎｓｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＢａｓｅｄｏｎＰｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎ（ＳｅｒｉａｌＮｉｎｅ）￥ＷａｎｇＳｈａｎｃｉ（ＮｏｒｔｈｅａｓｔＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕ...

作者王善慈

机构地区东北传感技术研究所

出处《传感器技术》 CSCD 1995年第3期59-64,共6页 Journal of Transducer Technology

关键词多晶硅敏感技术非晶态半导体

分类号 TN379 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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6叶世雄.敏感技术进入消费领域[J].上仪情报,1993(1):12-17.
7Coon.,DD,顾聚兴.红外瞬变敏感技术[J].红外,1989(3):26-29.
8孔光临.非晶态半导体的现状与展望[J].物理,1989,18(9):537-539.
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传感器技术

1995年第3期

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