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利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度

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摘要 为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第4期75-78,共4页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金 国家教委博士点 国家自然科学基金资助课题
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