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利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度
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摘要
为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.
作者
费龙
钟先信
温志渝
高杨
机构地区
重庆大学光电精密机械研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第4期75-78,共4页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
国家教委博士点
国家自然科学基金资助课题
关键词
加速度传感器
阵列传感系统
灵敏度
横向效应
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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传感技术学报
1995年 第4期
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