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等离子体聚丙烯薄膜的电气及湿敏性能 被引量:3

ELECTRICAL AND HUMIDITY PROPERTIES OF PLASMA-POLYMERIZED PROPYLENE THIN FILMS
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摘要 在射频辉光放电条件下制备出等离子体聚丙烯薄膜.用红外吸收光谱(IR)、用X射线光电子能谱(XPS)分析了聚合膜的本体及表面结构;测量了聚合膜的电气特性和湿敏特性。 olymeric thin films were deposited in RF glow discharge of propylene monomer. IR and XPS were used to analyse the films. The measurement of electrical and humidity properties of the films was performed. The maximum electrical field strength of the films was 420V /μm. Due to the oxygen, which was incorporated into the plasma polymer. the films contain polar groups and have humidity-sensitive characteristics.
机构地区 清华大学
出处 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1995年第2期179-182,共4页 Chinese Journal of Materials Research
基金 国家自然科学基金
关键词 等离子体聚合 丙烯 薄膜性能 lasma polymerization, propylene, film properties
  • 相关文献

参考文献1

  • 1陈猛,10th Inter Symposium on Plasma Chemistry,1991年

同被引文献52

引证文献3

二级引证文献10

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