采用12MeV电子辐照技术制造高反压大功率开关晶体管
被引量：2
摘要
本文研究了首次应用最佳能量（１２ＭｅＶ）电子对大功率开关晶体管辐照的结果。应用结果表明：１２ＭｅＶ电子辐照开关晶体管具有开关特性优良、热稳定性高、器件参数一致性好等特点。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第3期46-48,共3页
Semiconductor Technology
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