电解法制取高纯钛被引量：4

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摘要高纯钛以TiSi、TiN、W-Ti等形式用于超大规模集成电路的电极材料、扩散阻挡层及配线材料等,其中钛是一种重要的金属,特别要求必须充分除去Na、K、U、Th、Fe、Ni、Cr等杂质。钛的高纯化方法有电解精炼、热分解、高纯钛化合物的还原以及高真空熔炼、惰性气体熔炼、区域熔炼和固相电解等。但大多数方法不可能对全部元素进行分离和精炼,必须同时用两个以上的方法进行精制。

作者吴全兴

出处《钛工业进展》 CAS 1995年第4期20-21,共2页 Titanium Industry Progress

关键词钛高纯钛电解制取

分类号 TF823.032 [冶金工程—有色金属冶金]

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