极紫外BRV光源辐射特性的研究被引量：1

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摘要本文研制了一种极紫外BRV真空火花光源.该光源采用高原子序数材料作为放电电极,能发射从可见区直至极紫外区的平滑连续光谱,其重复性、稳定性均优于15％.最适合在大量非同步辐射的一般实验室中使用,可以广泛应用到VUV光谱学、软X射线显微术、光刻等研究及技术领域.本文阐述了光源的工作原理、设计思想和具体结构,研究了其光谱特性,探讨了放电参数对光源稳定性和光谱特性的影响.

作者郭玉彬李福田

机构地区中国科学院长春光机所应用光学开放实验室

出处《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》 1994年第3期293-299,共7页

关键词极紫外真空火花光源 BRV 辐射特性

分类号 O434.2 [机械工程—光学工程]