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Al_2O_3-SiO_2-ZrO_2复合膜的热稳定性研究 被引量:1

Study on the Thermal Stability of Al_2O_3 -SiO_2-ZrO_2 Membrane
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摘要 主要探讨了引入SiO_2和ZrO_2对Al_2O_3薄膜热稳定性的影响,并采用DTA、XRD和SEM等分析方法对其进行了研究,结果表明,1000℃煅烧后的复合膜中,主晶相为γ-Al_2O_3和t-ZrO_2,SiO_2以无定形态存在,1200℃热处理后的复合膜中仍然没有发生γ-Al_2O_3向α-Al_2O_3的相变。 Abstract:In this paper, the effects of SiO_2 and ZrO_2 on Al_2O_3 membrane are studied with DTA and XRD patterns. The result shows that the membrane calcined at 1000℃ is composed of γ-Al_2O_3, t -ZrO_2 and amorphism SiO_2, and no phase transformation occurs even at 1200℃.
出处 《石家庄铁道学院学报》 2005年第2期42-44,68,共4页 Journal of Shijiazhuang Railway Institute
关键词 Al2O3-SiO2-ZrO2 复合膜 热稳定性 Al_2O_3 -SiO_2-ZrO_2 composite membrane thermal stability
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