摘要
介绍了一种用压电柱作为定子的微型超声电机.这种超声微电机的直径1mm,长5mm,重量36mg.一端固定的电机其共振频率是32kHz,两端自由的是83kHz.在压电柱的表面均匀分割出四个电极,电极的间隔经过了优化设计.采用弯曲振动模式,该电机转速1800r/min,堵转力炬达到4μN·m,能承受350V_(pp)的驱动电压.该电机已用于OCT内窥镜样机中,驱动一个光学棱镜进行环向扫描,得到了塑料管和葱管内部的层析成像图,并且得到微米数量级的分辨率.
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期713-716,共4页
Chinese Science Bulletin
基金
国家自然科学基金重点项目(批准号:50235010)
国家“973”计划(批准号:001CB510307)
北京科技基金(批准号:3012007)
深圳科学基金资助项目