聚酰亚胺表面钝化技术在线性IC中的应用被引量：1

Polyimide Passivation for Linear Integrated Circuit

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摘要本文报道了聚酰亚胺(PI)表面钝化技术应用在LM308等高精度运算放大器电路中取得的良好结果。 This paper described the application results of polyimide passivation for LM308, a high accuracy operational amplifier

作者吴成刚

机构地区骊山微电子学研究所

出处《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1989年第6期32-34,共3页 Microelectronics & Computer

关键词聚酰亚胺表面纯化运算放大器

分类号 TN722.77 [电子电信—电路与系统]

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相关文献

参考文献2

1杨国渝，微电子学，1987年，17卷，2期，7页
2团体著者

同被引文献3

1赵寿南.聚酰亚胺在微电子技术中的开发应用[J].广东电子,1993(9):4-5. 被引量：2
2汤嘉陵,王惟,顾宜.水系蚀刻聚酰亚胺[J].四川大学学报（工程科学版）,2005,37(2):43-46. 被引量：6
3应建华,吴正元,刘三清.微电子用聚酰亚胺亚胺化峰[J].华中理工大学学报,1995,23(3):61-65. 被引量：3

引证文献1

1龚红,梁蓓.聚酰亚胺表面钝化工艺[J].贵州大学学报（自然科学版）,2007,24(1):90-93. 被引量：5

二级引证文献5

1王铎.聚酰亚胺材料表面钝化研究[J].合成技术及应用,2008,23(3):46-48.
2翟宝清,王铎.微电子封装材料的表面钝化研究[J].铸造技术,2008,29(9):1271-1274. 被引量：1
3林洁馨,杨发顺,马奎,龚红.提高功率开关晶体管高温反偏能力的研究[J].半导体技术,2010,35(2):133-136.
4郭喜,李忠贺,刘佳星,杨刚.光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用[J].激光与红外,2016,46(9):1156-1159.
5王学良,钱敏.快恢复二极管技术综述[J].河南科技,2022,41(12):36-41.

1张佐兰.PSG膜的潜力[J].电子工艺技术,1990(4):13-17.
2邢东,蒋敬旗.硫钝化表面改善GaAs MESFET电特性[J].半导体杂志,1996,21(4):4-7. 被引量：1
3杨国渝.聚酰亚胺在专用IC中的应用[J].微电子学,1990,20(6):36-42. 被引量：1
4张佐兰.PSG膜钝化技术的最佳设计[J].电子器件,1991,14(1):51-54.
5蒋济昌.台面大功率管表面钝化工艺的改进[J].微电子学与计算机,1989,6(6):27-28.
6周咏东,方家熊,李言谨,龚海梅,吴小山,靳秀芳,汤定元.Au/CdTe+ZnS/HgCdTe双层介质膜MIS器件的制备及研究[J].红外与毫米波学报,2001,20(4):249-252.
7王林军,夏义本,居建华,范轶敏,张文广,莫要武,史伟民,桑文斌.金刚石膜/多孔硅复合材料的性能表征[J].光学学报,2001,21(6):753-756. 被引量：6
8刘宝峰,李洪峰,金立国.半导体器件钝化层Si_3N_4薄膜的制备及特性研究[J].哈尔滨理工大学学报,2003,8(6):105-108. 被引量：6
9李毅,何嵩,易新建.碲镉汞表面氧化特性的光电子能谱研究[J].Journal of Semiconductors,1997,18(12):888-893. 被引量：1
10石英学,李靖,郭树旭,张素梅,王雪丹,石家纬.控制界面态减少表面可动电荷降低晶体管的电噪声[J].吉林大学学报（理学版）,2005,43(1):87-90. 被引量：1

微电子学与计算机

1989年第6期

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