微密封真空微电子二极管被引量：1

Microencapsulated Vacuum Microelectronic Diodes

下载PDF

导出

摘要本文介绍了一种微密封真空微电子二极管的工艺及实验结果。 A process for the fabrication of microencapsulated vacuum microelectronic diodes is described and its experimental results are given.

作者刘卫东罗恩泽

机构地区西北工业大学

出处《微电子学》 CAS CSCD 1994年第5期55-56,共2页 Microelectronics

基金国家自然科学基金

关键词微密封真空微电子器件二极管微电子 Microencapsulation,Vacuum microelectronic device,Diode

分类号 TN111.105 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

参考文献1

1刘卫东,罗恩泽.场发射真空微电子二极管结构与性能关系研究[J].真空电子技术,1993,6(5):23-25. 被引量：2

共引文献1

1刘卫东,罗恩泽.微密封真空微电子二极管阵列[J].电子器件,1994,17(3):69-69.

同被引文献4

1刘卫东,罗恩泽.硅场发射二极管阵列的实验研究[J].真空电子技术,1994,7(2):27-30. 被引量：1
2刘卫东，博士学位论文，1995年
3薛增泉，电子发射与电子能谱，1993年
4罗恩泽，电子科技杂志，1990年，增1期，52页

引证文献1

1刘卫东,朱长纯.微封闭真空微电子二极管的实验研究[J].西安交通大学学报,1997,31(4):121-123.

1刘卫东,罗恩泽.微密封真空微电子二极管阵列[J].电子器件,1994,17(3):69-69.
2刘善喜,皮德富.真空微电子器件的数值模拟[J].微电子学,1994,24(3):27-30.
3S.M.Zimmerman,汤西英.集成真空微电子器件的制备方法[J].半导体情报,1992(4):38-47.
4唐功文.真空微电子器件[J].半导体技术,1989,5(3):64-64.
5郭宝增.真空微电子器件及其研究进展[J].微电子学,1993,23(6):10-16.
6陈可心,王卫乡.密封CO_2激光器达到新功率水平[J].激光与光电子学进展,1997,34(3):15-17.
7汪德涛.He—Ne激光器硬封工艺的研究[J].仪表技术与传感器,1992(6):13-15.
8N.E.McGruer,朱帼才.1THz真空微电子微带放大器的前景[J].半导体情报,1992(4):53-58.
9李毓民.真空微电子[J].电子,1990(2):77-78.
10胡汉泉.有源器件的一个新里程碑—真空微电子[J].彩色显像管,1993(3):1-4.

微电子学

1994年第5期

浏览历史

内容加载中请稍等...

微密封真空微电子二极管被引量：1

参考文献1

共引文献1

同被引文献4

引证文献1

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

微密封真空微电子二极管 被引量：1

参考文献1

共引文献1

同被引文献4

引证文献1

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

微密封真空微电子二极管被引量：1