摘要
对光化反应/光散射装置检测易挥发性氢化物进行了研究。本法基于以光化反应生成颗粒(质点),再用光散射法对颗粒进行检测。以磷烷为例,导入185nm汞灯光线耦合进行光氧化反应,最后生成磷酸,其质点的直径大都为0.5μm以下。磷烷的浓度以测量被质点散射的He—Ne激光强度来确定。其最小的检测浓度分别是2ppmv(磷烷)和5ppmv(砷烷)。应用时,这种测量装置要经过一个液氮冷阱,再连接到氢化物的发生装置上。其最小检测量如下:P,0.4ng;As,1.5ng;Sb,2ng;Se,3ng及Sn,2ng。本方法的优点是灵敏度高,成本低,应答快,以及可能实现自动化操作。
出处
《低温与特气》
CAS
1989年第2期52-59,共8页
Low Temperature and Specialty Gases
