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在氢气流中净化磷化氢和砷化氢的新型催化剂和净化罐的研究 被引量:4

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摘要 在氢气流中净化磷化氢和砷化氢的新型催化剂和净化罐的研究郭坤敏,袁存乔,马兰,谢自立(中国防化研究院,北京100083)新型半导体材料的MOCVD(金属有机物气相沉积)或MOVPE(金属有机物气相外延)的工艺尾气是以氢气为主体的含有PH_3、AsH_3...
机构地区 中国防化研究院
出处 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期29-31,共3页 Chemistry
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参考文献1

  • 1团体著者,1990年

同被引文献41

引证文献4

二级引证文献64

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