热解CVD法沉积金刚石薄膜实验参数对沉积速率和晶粒尺寸的影响
被引量：1
同被引文献3
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1刘德义,黄荣芳,于杰,闻立时,师昌绪.热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应[J].材料研究学报,1996,10(3):279-284. 被引量：5
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2宋贵宏,孙超,王冰,黄荣芳,闻立时.大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布[J].材料研究学报,2000,14(6):609-614. 被引量：2
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3汪爱英,孙超,王冰,宫骏,黄荣芳,闻立时.热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算[J].金属学报,2001,37(11):1217-1222. 被引量：6
二级引证文献4
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1徐锋,左敦稳,卢文壮,李磊,王珉.HFCVD衬底三维温度场有限元法模拟[J].机械工程学报,2007,43(6):21-25. 被引量：15
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2黎韩琪,栗正新,苑执中.热丝化学气相沉积金刚石膜温度场的仿真模拟与应用[J].中原工学院学报,2015,26(3):64-67. 被引量：2
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3路一泽,檀柏梅,高宝红,刘宜霖,张礼.HFCVD金刚石薄膜的热场模拟及实验[J].半导体技术,2018,43(1):53-58. 被引量：1
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4汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时.热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算[J].材料研究学报,2003,17(4):345-352. 被引量：2
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