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多晶砷化镓薄膜的制备及其性能研究 被引量:1

Study on Electrodeposited Polycrystalline GaAs Films and Their Characteristics
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摘要 利用扫描电子显微镜、X-射线衍射仪,分光光度计和C-V测试仪对电沉积法制备的多晶砷化镓薄膜进行了测试.结果表明薄膜的成分接近化学计量的GaAs.根据薄膜的光吸收曲线和Mott-Schottky曲线计算了带隙值和能级位置.最后,测量了薄膜/电解液结的光电特性. Abstract Electrodeposition technology for preparation of GaAs film is described. The characteristics of the films were measured by using SEM, X-ray diffractometer, spectrophotometer and C-V tester. Measurement results show that the atomic ratio of the film deposited is Ga0.91As1.09. On the basis of Mott-Schottky Plot the Parameters of the energy band were found. Finally, the photoelectro chemical characteristics of.the Ga0.91As1.09 film/electolyte junction cell were measured.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第10期670-673,共4页 半导体学报(英文版)
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参考文献1

  • 1高元恺,半导体技术,1990年,41卷,2页

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