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Ar^+离子注入对Ge/GaAs(100)异质结能带偏离影响的XPS研究

An XPS Study on the Effect of Ar^+ Implanting on Ge/GaAs (100) Heterojunction Band Offsets
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摘要 用X光电子能谱(XPS)方法研究了界面特性和Ge/GaAs(100)异质结的能带偏离关系。实验表明,当在清洁的GaAs(100)表面生长Ge异质结时,其价带偏离(△E_v)与界面特性无关,而在Ar离子注入的GaAs(100)表面上生长的Ge异质结,其价带偏离与Ar^+离子的浓度分布有关。 The relationship between the interface properties and the band offsets of the Ge/GaAs (100) heterojunction is studied with X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The experimental results show that the valence-band offsets (△E_v) are independent on the interface properties when the Ge overlayer deposites on the clean CaAs(100) surface, and the valence-band offsets(△E_v) are related to the distribution of Ar^+ concentration when the Ge overlayer is evaporated on the Ar^+-implanted GaAs (100) surface.
出处 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1993年第4期442-446,共5页 JUSTC
基金 高等学校博士点专项基金
关键词 异质结 能带 砷化镓 离子注入 heterojunction band offset XPS
  • 相关文献

参考文献2

  • 1卢学坤,物理学进展,1991年,11卷,456页
  • 2虞丽生,半导体异质结物理,1990年

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