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扫描电子显微镜和原子力显微镜—表面观察的互补技术 被引量:6

SEM AND AFM-COMPLEMENTARY TECHNIQUES FOR SURFACE INVESTIGATION
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摘要 对于高分辨率表面观察,人们通常利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),特别是当分辨率在纳米和原子范围时,SEM和AFM是我们今天可以获得的最有效的两种显微技术。然而,任何一种仪器都不是万能的。本文就材料的表面结构、成分和环境对两种技术进行比较,并描述它们各自独立的特点和互补性。 For high-resolution surface investigations,two commonly used techniques are Scanning Electron Microscopy(SEM)and Atomic Force Microscopy(AFM).Especially for the resolution in nanometer and angstrom ranges,both SEM and AFM are the most powerful microscopy technique available today.However,no one instrument is all-round.In this paper,these two techniques are compared with respect to the surface structure and composition of materials and environment,which demonstrate how these analytical techniques provide the information being complementary in nature.
作者 隋娟玲 孙珊
出处 《矿冶》 CAS 2004年第3期95-97,79,共4页 Mining And Metallurgy
关键词 扫描电子显微镜 原子力显微镜 表面观察 SEM AFM Surface investigation
  • 相关文献

参考文献3

  • 1里德SJB 林天辉 章靖国译.电子探针显微分析[M].上海:上海科学技术出版社,1980..
  • 2姚俊恩.生物化学仪器指南(第四册)[M].北京:科学出版社,1992..
  • 3美国Burleigh仪器公司.SPM操作手册[M].,1996..

共引文献1

同被引文献55

引证文献6

二级引证文献19

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