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A high figure of merit localized surface plasmon sensor based on a gold nanograting on the top of a gold planar film 被引量:2
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作者 张祖银 王立娜 +3 位作者 胡海峰 李康文 马勋鹏 宋国峰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第10期345-348,共4页
We investigate the sensitivity and figure of merit (FOM) of a localized surface plasmon (LSP) sensor with gold nanograting on the top of planar metallic film. The sensitivity of the localized surface plasmon senso... We investigate the sensitivity and figure of merit (FOM) of a localized surface plasmon (LSP) sensor with gold nanograting on the top of planar metallic film. The sensitivity of the localized surface plasmon sensor is 317 nm/RIU, and the FOM is predicted to be above 8, which is very high for a localized surface plasmon sensor. By employing the rigorous coupled-wave analysis (RCWA) method, we analyze the distribution of the magnetic field and find that the sensing property of our proposed system is attributed to the interactions between the localized surface plasmon around the gold nanostrips and the surface plasmon polarition on the surface of the gold planar metallic film. These findings are important for developing high FOM localized surface plasmon sensors. 展开更多
关键词 localized surface plasmon biosensor figure of merit nanogratings gold film
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A Novel Method of Testing Aspherical Surface
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作者 辛企明 高宏 高云 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 1996年第2期161+155-161,共8页
A set-up based on a special shadow method, pinhole method, was made and some experiments were done. The results show that this novel method is simple, easy to operate,and suitable for testing large aspherical surfaces... A set-up based on a special shadow method, pinhole method, was made and some experiments were done. The results show that this novel method is simple, easy to operate,and suitable for testing large aspherical surfaces quantitatively. 展开更多
关键词 aspherical surface figure testing PINHOLE
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Severe prelenticular membrane formation on the surface of a hydrophilic acrylic intraocular lens after cataract surgery in an eye with an Ahmed valve implant 被引量:1
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作者 Yong-Sun Ahn Jin A Choi 《International Journal of Ophthalmology(English edition)》 SCIE CAS 2015年第2期430-432,共3页
【正】Dear Sir,Iam Yong-Sun Ahn,from the Department of Ophthalmology of St.Vincent Hospital of Suwon,Kyungki-do,South Korea.Cataracts are a common problem in eyes with a glaucoma drainage device(GDD),because tube shun... 【正】Dear Sir,Iam Yong-Sun Ahn,from the Department of Ophthalmology of St.Vincent Hospital of Suwon,Kyungki-do,South Korea.Cataracts are a common problem in eyes with a glaucoma drainage device(GDD),because tube shunt surgery increases the incidence and progression of cataracts[1].An Ahmed valve,the most commonly inserted GDD,is composed of a silicone tube connected to a flat plate sewn to the sclera,and aqueous humor flows from the 展开更多
关键词 IOL Severe prelenticular membrane formation on the surface of a hydrophilic acrylic intraocular lens after cataract surgery in an eye with an Ahmed valve implant body figure
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Performance analysis of surface plasmon resonance sensor with high-order absentee layer
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作者 孟庆卿 赵鑫 +3 位作者 陈淑静 林承友 丁迎春 陈朝阳 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第12期317-323,共7页
A surface plasmon resonance (SPR) sensor with a high-order absentee layer on the top of metallic film is proposed. The performance of the SPR sensor with NaCl, MgO, TiO2 or AlAs high-order absentee layer is analyzed... A surface plasmon resonance (SPR) sensor with a high-order absentee layer on the top of metallic film is proposed. The performance of the SPR sensor with NaCl, MgO, TiO2 or AlAs high-order absentee layer is analyzed theoretically. The results indicate that the sensitivity and the full width at half maximum of those SPR sensors decrease with the increasing of the order of absentee layer, but the variation of the figure of merit (FOM) depends on the refractive index of absentee layer. By improving the order of absentee layer with high-refractive-index, the FOM of the SPR sensor can be enhanced. The maximum value of FOM for the SPR sensor with high-order TiO2 (or AlAs) absentee layer is 1.059% (or 2.587%) higher than the one with one-order absentee layer. It is believed the proposed SPR sensor with high-order absentee layer will be helpful for developing the high-performance SPR sensors. 展开更多
关键词 surface plasmon resonance sensor high-order absentee layer figure of merit
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Enhancing surface adhesion of polytetrafluoroethylene induced by two-step in-situ treatment with radiofrequency capacitively coupled Ar/Ar+CH_(4)+NH_(3) plasma
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作者 卢曼婷 何弈 +4 位作者 刘学 黄嘉敏 张佳伟 马晓萍 辛煜 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期97-104,共8页
Although some progress in plasma modification of the polytetrafluoroethylene(PTFE) surface has been made recently,its adhesion strength still needs to be further improved.In this work,the surface of a PTFE sample was ... Although some progress in plasma modification of the polytetrafluoroethylene(PTFE) surface has been made recently,its adhesion strength still needs to be further improved.In this work,the surface of a PTFE sample was treated with a two-step in-situ method.Firstly,the PTFE surface was treated with capacitively coupled Ar plasma to improve its mechanical interlocking performance;then,Ar+NH_(3)+CH_(4) plasma was used to deposit an a-CNx:H cross-linking layer on the PTFE surface to improve the molecular bonding ability.After treatment,a high specific surface area of 2.20 and a low F/C ratio of 0.32 were achieved on the PTFE surface.Its surface free energy was increased significantly and its maximum adhesion strength reached77.1 N·10 mm^(-1),which is 56% higher than that of the single-step Ar plasma-treated sample and32% higher than that of the single-step Ar+CH_(4)+NH_(3) plasma-treated sample. 展开更多
关键词 adhesion property surface modification capacitively coupled plasma polytetrafluoroethylene(Some figures may appear in colour only in the online journal)
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Enhanced surface-insulating performance of EP composites by doping plasmafluorinated ZnO nanofiller
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作者 段祺君 宋岩泽 +3 位作者 邵帅 尹国华 阮浩鸥 谢庆 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期37-48,共12页
The surface flashover of epoxy resin(EP) composites is a pivotal problem in the field of highvoltage insulation.The regulation of the interface between the filler and matrix is an effective means to suppress flashover... The surface flashover of epoxy resin(EP) composites is a pivotal problem in the field of highvoltage insulation.The regulation of the interface between the filler and matrix is an effective means to suppress flashover.In this work,nano ZnO was fluorinated and grafted using lowtemperature plasma technology,and the fluorinated filler was doped into EP to study the DC surface flashover performance of the composite.The results show that plasma fluorination can effectively inhibit the agglomeration by grafting –CFxgroups onto the surface of nano-ZnO particles.The fluorine-containing groups at the interface provide higher charge binding traps and enhance the insulation strength at the interface.At the same time,the interface bond cooperation caused by plasma treatment also promoted the accelerating effect of nano ZnO on charge dissipation.The two effects synergistically improve the surface flashover performance of epoxy composites.When the concentration of fluorinated ZnO filler is 20%,the flashover voltage has the highest increase,which is 31.52% higher than that of pure EP.In addition,fluorinated ZnO can effectively reduce the dielectric constant and dielectric loss of epoxy composites.The interface interaction mechanism was further analyzed using molecular dynamics simulation and density functional theory simulation. 展开更多
关键词 plasma fluorination ZnO nanofller epoxy resin surface flashover charge trap density functional theory(Some figures may appear in colour only in the online journal)
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Ionization wave propagation and cathode sheath formation due to surface dielectric-barrier discharge sustained in pulsed mode
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作者 Konstantinos GIOTIS Panagiotis SVARNAS +3 位作者 Eleftherios AMANATIDES Kristaq GAZELI Guillaume LOMBARDI Polykarpos K PAPADOPOULOS 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第11期101-113,共13页
This work deals with the experimental study of a surface dielectric-barrier discharge,as a part of the ongoing interest in the control of plasma induced electro-fluid dynamic effects(e.g.plasma actuators).The discharg... This work deals with the experimental study of a surface dielectric-barrier discharge,as a part of the ongoing interest in the control of plasma induced electro-fluid dynamic effects(e.g.plasma actuators).The discharge is generated using a plasma reactor consisting of a fused silica plate which is sandwiched between two printed circuit boards where the electrodes are developed.The reactor is driven by narrow high voltage square pulses of asymmetric rising(25 ns)and falling(2.5μs)parts,while the discharge evolution is considered in a temporarily and spatially resolved manner over these pulses.That is,conventional electrical and optical emission analyzes are combined with high resolution optical emission spectroscopy and ns-resolved imaging,unveiling main characteristics of the discharge with a special focus on its propagation along the dielectric-barrier surface.The voltage rising part leads to cathode-directed ionization waves,which propagate with a speed up to 105m s~(-1).The voltage falling part leads to cathode sheath formation on the driven electrode.Τhe polarization of the dielectric barrier appears critical for the discharge dynamics. 展开更多
关键词 atmospheric pressure plasma surface DBD STREAMER UV-NIR optical emission spectroscopy ICCD fast imaging(Some figures may appear in colour only in the online journal)
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检焦镜面型精度对航空相机自准直检焦位置的影响
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作者 张俊达 丁亚林 +4 位作者 孙林 陈志超 张明强 宇文子明 李汝琛 《光学精密工程》 北大核心 2025年第16期2516-2530,共15页
针对航空相机自准直检焦过程中出现的检焦镜面型变化导致检焦失败问题,建立检焦镜面型与检焦曲线变化的理论模型,并进行仿真分析和实验验证。首先,通过建立传感器接收到的光强差与检焦曲线的关系,计算不同检焦镜面型精度对成像光强分布... 针对航空相机自准直检焦过程中出现的检焦镜面型变化导致检焦失败问题,建立检焦镜面型与检焦曲线变化的理论模型,并进行仿真分析和实验验证。首先,通过建立传感器接收到的光强差与检焦曲线的关系,计算不同检焦镜面型精度对成像光强分布影响,并分析不同像差对检焦曲线造成的影响,然后,结合实际相机模型利用Zemax软件非序列模式进行仿真,最后,通过改变温度控制检焦镜面型,在不同面型下进行检焦实验,验证了理论与仿真结果。实验结果表明:检焦镜面型精度在面型RMS达到0.0483λ时,检焦曲线峰值位置超出半焦深;当面型RMS达到0.0821λ时,检焦曲线出现多峰。本文建立的理论模型及实验方法对光电自准直检焦镜的面型误差分配、设计与面型控制、提高航空相机成像质量有指导意义。 展开更多
关键词 航空相机 自准直 检焦 曲线拟合 面型误差
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空间反射镜胶接建模及面形精度分析
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作者 周杰臣 刘检华 +3 位作者 夏焕雄 张秀敏 赵裕玺 孟军峰 《机械工程学报》 北大核心 2025年第13期255-264,共10页
胶黏连接技术广泛应用于空间反射镜光学组件的装配环节,是影响反射镜面形精度的关键制造工艺之一。空间反射镜高度轻量化的镜片与背部支撑结构之间采用胶黏连接装配,其黏接固化应力是引起反射镜镜面变形的关键因素。针对空间反射镜硅橡... 胶黏连接技术广泛应用于空间反射镜光学组件的装配环节,是影响反射镜面形精度的关键制造工艺之一。空间反射镜高度轻量化的镜片与背部支撑结构之间采用胶黏连接装配,其黏接固化应力是引起反射镜镜面变形的关键因素。针对空间反射镜硅橡胶黏接装配工艺,建立了基于广义Maxwell模型和时固等效原理的硅橡胶非线性黏弹性力学模型,综合考虑了胶黏剂固化收缩、物态变化以及松弛蠕变行为,实现了重力场作用下硅橡胶黏接固化过程中空间反射镜应力变形演变的仿真计算,并分析了胶接位置、胶层厚度及胶斑面积等胶接参数对650 mm口径的反射镜面形精度的影响规律,最后采用灵敏度分析法从三个角度对反射镜面形RMS值对胶接参数的敏感性进行了分析。研究结果为精密光机产品胶接装配工艺分析与优化提供了模型理论基础和分析方法借鉴。 展开更多
关键词 硅橡胶 反射镜 胶黏连接 黏弹性 面形精度
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镜片面形误差与法珀标准具性能指标的关系
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作者 于涵 江毅 《光学精密工程》 北大核心 2025年第14期2166-2177,共12页
为了对法布里-珀罗标准具镜片加工过程中的面形误差进行确定性控制,本文深入研究镜片面形误差与法珀标准具性能的关系。通过建立面形误差对标准具透射谱影响的理论模型,量化分析面形误差对标准具主要性能指标的影响,进而优化工艺与面形... 为了对法布里-珀罗标准具镜片加工过程中的面形误差进行确定性控制,本文深入研究镜片面形误差与法珀标准具性能的关系。通过建立面形误差对标准具透射谱影响的理论模型,量化分析面形误差对标准具主要性能指标的影响,进而优化工艺与面形控制参数。研究发现,面形误差的均值与标准具透射谱峰中心波长呈现良好线性关系,理论推导得出中心波长偏移的灵敏度系数为1.65 pm/nm。面形误差的峰谷值影响标准具透射谱线带宽展宽与峰值透过率衰减程度,在峰谷值小于λ/40(15.8 nm)时,带宽与峰值透过率渐进收敛。为验证理论模型,搭建皮米级精度的标准具透射谱测试实验系统,通过通光孔径测试的定性验证与面形误差测试的定量分析,明确中心片面形均匀性对标准具性能的影响高于边缘片,制定满足性能指标的面形误差控制阈值,并据此开展标准具研制实验。实验结果表明,在中心片峰谷值控制在10 nm内时,直径30 mm的标准具峰值透过率达到了98.63%,且在中心波长532.199 nm处实现带宽为32.8 pm的窄带滤波,逼近理论设计极限。本文这一结论对高透过率、窄带宽、中心波长皮米级稳定的高精密标准具的生产加工具有重要应用价值。 展开更多
关键词 面形误差 标准具 峰谷值 法布里-珀罗
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Corrigendum to“Surface modification of electrospun fibers with mechano-growth factor for mitigating the foreign-body reaction”[Bioact.Mater.6(9)(2021)2983-2998]
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作者 Yang Song Linhao Li +5 位作者 Weikang Zhao Yuna Qian Lili Dong Yunnan Fang Li Yang Yubo Fan 《Bioactive Materials》 2025年第9期177-178,共2页
The authors regret to inform that in Fig.1a of the article,the images for the CD6810 ng/ml MGF treatment group in the centre of the first column were mistakenly duplicated due to a formatting error.To rectify this,the... The authors regret to inform that in Fig.1a of the article,the images for the CD6810 ng/ml MGF treatment group in the centre of the first column were mistakenly duplicated due to a formatting error.To rectify this,the correct version of Fig.1a is provided below,along with the original version for your reference.The authors confirm that the rest of the article remains unaffected.The authors would like to apologise for any inconvenience caused. 展开更多
关键词 surface modification CORRECTION figure error foreign body reaction mechano growth factor electrospun fibers
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绝缘子表面电场及电荷的测量 被引量:58
12
作者 王新新 刘微粒 +2 位作者 王强 朱宏林 邹晓兵 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期732-738,共7页
绝缘子表面电荷积聚及其引起的表面电场分布畸变是导致绝缘子表面闪络电压低的主要原因。对绝缘子表面电场及电荷分布进行测量有助于正确地设计绝缘子。为此,在阅读大量相关文献及进行技术调研的基础上,结合作者目前正在进行的研究,对... 绝缘子表面电荷积聚及其引起的表面电场分布畸变是导致绝缘子表面闪络电压低的主要原因。对绝缘子表面电场及电荷分布进行测量有助于正确地设计绝缘子。为此,在阅读大量相关文献及进行技术调研的基础上,结合作者目前正在进行的研究,对绝缘子表面电场及电荷的测量技术进行了综述。首先简要分析了绝缘子表面电荷的来源(场致发射、局部放电、固体介质夹层极化、电导率分布不均匀或非线性、表面金属微粒等),然后详细介绍了几种绝缘子表面电荷及电场的测量技术,包括静电探头法(有源静电探头和无源静电探头)、粉尘图法、电光法(克尔效应和普克尔斯效应),最后分析了这几种方法的优缺点。 展开更多
关键词 绝缘子 表面电场 表面电荷 静电探头 粉尘图法 电光法
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反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工 被引量:16
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作者 范镝 张学军 +2 位作者 张忠玉 牛海燕 丰玉琴 《光学技术》 CAS CSCD 2003年第6期667-668,674,共3页
介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。展示了加工... 介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片。给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603 6μmⅹ448 4μm)。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 光学加工 面形精度 粗糙度 平面反射镜
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反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测 被引量:9
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作者 范镝 张忠玉 +2 位作者 牛海燕 丰玉琴 张学军 《光学技术》 EI CAS CSCD 2004年第1期6-8,共3页
介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤... 介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片,并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 光学加工 面形精度 粗糙度 球面反射镜 空间光学系统
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碳化硅扫描反射镜支撑结构设计 被引量:14
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作者 陈伟 丁亚林 +1 位作者 惠守文 许永森 《中国光学》 EI CAS 2012年第2期161-166,共6页
对尺寸为460 mm×290 mm的SiC扫描反射镜的轻量化和支撑结构的设计进行了研究。基于三角形和矩形的复合轻量化结构,采用镜体背部为开放和封闭相结合的形式,设计了一种新型的扫描反射镜组件。该组件采用侧面支撑方式和轴向柔性结构,... 对尺寸为460 mm×290 mm的SiC扫描反射镜的轻量化和支撑结构的设计进行了研究。基于三角形和矩形的复合轻量化结构,采用镜体背部为开放和封闭相结合的形式,设计了一种新型的扫描反射镜组件。该组件采用侧面支撑方式和轴向柔性结构,有利于消除支撑结构材料热膨胀系数不匹配产生的热应力对镜面面形的影响。有限元方法分析结果表明:反射镜组件在1 g重力载荷和8℃温度变化作用下,反射镜镜面的面形误差RMS值分别为4.5 nm和20.3 nm。该反射镜轻量化形式和支撑结构满足光学成像要求,并可有效提高结构的稳定性,对于大尺寸反射镜组件的设计具有借鉴意义。 展开更多
关键词 碳化硅 扫描反射镜 侧面支撑 面形误差
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高精度轻型长条形反射镜多点支撑方案 被引量:20
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作者 吴清文 陶家生 宋朝晖 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第6期61-65,共5页
轻型、大视场、高分辨力可见光空间遥感器的研制已成为空间光学工作者的重点研究课题。本文结合某研究项目拟探讨高精度长条形反射镜的多点支撑方案及其实施,重点论述其研究过程和方法。
关键词 长条形 反射镜 多点支撑方案 空间遥感器
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离子束作用下的光学表面粗糙度演变研究 被引量:10
17
作者 廖文林 戴一帆 +1 位作者 周林 陈善勇 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1041-1045,共5页
为了获得超光滑光学表面,介绍了离子束作用下改善表面粗糙度的抛光方法,并通过相关的实验进行了验证。光学材料是典型的硬脆材料,在加工过程中的表面粗糙度要经历复杂的演变过程。离子束加工作为光学镜面加工中的最后一道工序,如果在修... 为了获得超光滑光学表面,介绍了离子束作用下改善表面粗糙度的抛光方法,并通过相关的实验进行了验证。光学材料是典型的硬脆材料,在加工过程中的表面粗糙度要经历复杂的演变过程。离子束加工作为光学镜面加工中的最后一道工序,如果在修正面形的同时,能够有效地改善表面粗糙度,那么离子束加工的性能就可以得到更好的延伸。分析了离子束作用下的粗糙度演变机理,在此基础上提出了倾斜入射抛光和牺牲层抛光技术2种改善表面粗糙度的方法,并使用原子力显微镜进行了测量。实验结果表明:以45°倾斜入射抛光熔石英样件,其粗糙度由初始的0.67 nm RMS减小到0.38 nm RMS;涂上牺牲层的材料表面粗糙度由0.81 nm RMS减小到0.28 nm RMS,倾斜入射抛光和牺牲层抛光技术能够有效地改善表面粗糙度。 展开更多
关键词 离子束抛光 光学表面粗糙度 倾斜入射抛光 牺牲层抛光技术
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表层残余应力对几何形体热变形的影响 被引量:13
18
作者 黄其圣 费业泰 +1 位作者 胡鹏浩 黄强先 《应用科学学报》 CAS CSCD 1998年第3期366-371,共6页
机械设备在运行过程中由于运动副中的摩擦与热源的作用,各零部件将产生热变形.热变形的大小受零件的形状、材料以及表层残余应力等因素的影响.该文以简单的几何形体——厚壁长圆筒为例,着重分析了表层残余应力对几何形体热变形的影... 机械设备在运行过程中由于运动副中的摩擦与热源的作用,各零部件将产生热变形.热变形的大小受零件的形状、材料以及表层残余应力等因素的影响.该文以简单的几何形体——厚壁长圆筒为例,着重分析了表层残余应力对几何形体热变形的影响,这种影响在超精密加工和纳米技术中是不能忽略的. 展开更多
关键词 表层残余应力 几何形体 热变形 机械设备 运行
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使用粉尘图法测量交流电压下GIS绝缘表面电场电荷分布的影响因素研究 被引量:16
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作者 徐洋 刘卫东 高文胜 《电瓷避雷器》 CAS 北大核心 2020年第3期205-212,共8页
粉尘图法是一种常用的绝缘表面电场电荷分布的测量方法,但其在应用时仍然存在一些局限性,且目前对于影响其使用效果的因素的研究也存在不足。本论文在实际的GIS支柱绝缘子模型上对粉尘图法的各项可能的影响因素进行了研究,并针对离线情... 粉尘图法是一种常用的绝缘表面电场电荷分布的测量方法,但其在应用时仍然存在一些局限性,且目前对于影响其使用效果的因素的研究也存在不足。本论文在实际的GIS支柱绝缘子模型上对粉尘图法的各项可能的影响因素进行了研究,并针对离线情况下使用粉尘图法时存在的不足,提出了在带电情况下使用粉尘图法测量绝缘表面电场电荷分布的方法。研究结果表明,交流电压下粉尘图法的作用效果受到粉尘种类、外施电压大小、绝缘气体种类和压强等多种因素的影响,在使用时必须严格控制实验变量;在带电情况下使用粉尘图法能够有效地反映绝缘表面的电场分布情况,具有重要的研究和应用价值。 展开更多
关键词 GIS 绝缘子 粉尘图法 表面电场 表面电荷
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轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面加工 被引量:31
20
作者 徐清兰 伍凡 +1 位作者 吴时彬 王家金 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第9期22-25,共4页
介绍了对角线为110mm六边形反应烧结轻质碳化硅平面反射镜超光滑光学加工工艺流程。详细阐述了各个工序所使用的磨具、磨料和抛光机床工艺参数,对实际加工的轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面进行检测,检测结果为:面形精度均方根值(RMS)为... 介绍了对角线为110mm六边形反应烧结轻质碳化硅平面反射镜超光滑光学加工工艺流程。详细阐述了各个工序所使用的磨具、磨料和抛光机床工艺参数,对实际加工的轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面进行检测,检测结果为:面形精度均方根值(RMS)为0.011λ(PV值为0.071,λ=632.8nm),表面粗糙度RMS达0.75nm。 展开更多
关键词 轻质平面反射镜 光学加工 粗糙度 抛光 面形精度
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