偏振影响下数控激光切割机聚焦光束方向控制

1

作者 张琦 景敏 丁敏 《激光杂志》 北大核心 2026年第1期271-276,共6页

在激光切割过程中,激光器产生的光束存在双折射效应,导致不同偏振方向的光波在元件中传播速度不同,进而改变光束的偏振态,产生控制精度不足的问题。为此设计偏振影响下数控激光切割机聚焦光束方向控制方法。利用偏振态传感器获取光束的... 在激光切割过程中,激光器产生的光束存在双折射效应,导致不同偏振方向的光波在元件中传播速度不同,进而改变光束的偏振态,产生控制精度不足的问题。为此设计偏振影响下数控激光切割机聚焦光束方向控制方法。利用偏振态传感器获取光束的偏振态感知参数。利用卡尔曼滤波算法对感知的光束偏振态参数进行补偿,根据补偿结果设计基于晶体锥光效应的数控激光切割机聚焦光束方向控制方案,聚焦光束依次经过起偏器与法拉第旋转器,利用晶体的锥光效应实现光束的偏折实现数控激光切割机聚焦光束方向控制。测试结果表明:设计方法的光束方向控制误差未超过0.06°,TOSR整体大于0.7,BDDR高于0.96,说明设计方法在高速切割工况下的光束方向控制精度较高。 展开更多

关键词 偏振态补偿 数控激光切割机 聚焦光束 斯托克斯参量测量 方向控制 卡尔曼滤波算法

原文传递

快中子层析成像与锥束几何三维重建算法研究

2

作者 邢胜玉 卢棚 +3 位作者 刘源煜 李佳 梁立振 洪兵 《哈尔滨商业大学学报(自然科学版)》 2026年第1期51-58,共8页

中子层析成像利用中子透射物体的特征,根据中子透射强度信息进行图像重建,分析内部结构.聚焦三维锥束几何的中子层析图像进行图像重建,通过粒子输运程序模拟得到快中子透射数据,利用滤波反投影算法(FDK)、同步代数重建(SART)、有序子集... 中子层析成像利用中子透射物体的特征,根据中子透射强度信息进行图像重建,分析内部结构.聚焦三维锥束几何的中子层析图像进行图像重建,通过粒子输运程序模拟得到快中子透射数据,利用滤波反投影算法(FDK)、同步代数重建(SART)、有序子集同步代数重建(OSSART)、同步迭代重建(SIRT)、最小二乘QR分解(LSQR)算法进行图像重建,使用结构相似性指数(SSIM)等指标,比较分析了各类算法在不同投影角度数量的图像重建效果.结果表明,在不同投影图片数量条件下,FDK算法重建效率显著优于迭代算法;在稀疏投影场景中,SIRT算法的综合表现相对较好.研究为后续快中子三维重建算法优化奠定基础. 展开更多

关键词 快中子 锥束几何 迭代算法 三维重建 FDK

在线阅读 下载PDF 职称材料

相控阵跳波束卫星上行链路多维资源分配建模与方法研究 被引量：1

3

作者 马宁 武磊磊 +3 位作者 孙文宇 孙晨华 赵毅 班亚明 《无线电通信技术》 北大核心 2025年第1期114-123,共10页

在相控阵天线跳波束对大范围潜在区域进行捷变覆盖的问题中,当前资源分配方法仅针对单一资源分配优化达到局部最优并未有统筹考虑,从空域、频域、时域、调制编码域等多个维度全面建立了相控阵跳波束下的资源联合分配优化模型,给出了一... 在相控阵天线跳波束对大范围潜在区域进行捷变覆盖的问题中,当前资源分配方法仅针对单一资源分配优化达到局部最优并未有统筹考虑,从空域、频域、时域、调制编码域等多个维度全面建立了相控阵跳波束下的资源联合分配优化模型,给出了一种基于遗传算法和动态规划的模型求解方法。仿真结果表明,考虑了多维资源进行联合分配的方法,可有效降低卫星通信网络中各终端的缓存队列长度,从而提高用户服务质量(Quality of Service,QoS)及网络吞吐量。 展开更多

关键词 卫星通信 相控阵天线 跳波束 多维资源分配 遗传算法 动态规划

在线阅读 下载PDF 职称材料

聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)在页岩纳米级孔隙结构研究中的应用 被引量：45

4

作者 马勇 钟宁宁 +2 位作者 黄小艳 郭州平 姚立鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第3期251-256,共6页

页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿... 页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿等分割提取出来,不仅可以三维展示其空间分布形态,还可以对孔隙的分布特征和孔隙度等参数进行定量计算。聚集离子束扫描电镜在页岩纳米孔隙中的应用,将给页岩微观结构的深入研究提供新的研究手段。 展开更多

关键词 页岩气 聚焦离子束扫描电镜 FIB-SEM 页岩纳米孔隙 三维重构

在线阅读 下载PDF 职称材料

二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作 被引量：6

5

作者 崔乃迪 梁静秋 +3 位作者 梁中翥 周建伟 宁永强 王维彪 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2549-2556,共8页

为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光子晶体结构的TE波禁带,经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算了引入缺陷后二维三角... 为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光子晶体结构的TE波禁带,经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算了引入缺陷后二维三角晶格空气孔型光子晶体波导结构的TE波禁带,经对比发现归一化频率为0.295 7的缺陷态最适宜用来制备光子晶体波导,并据此设计了用于1.55μm波长的二维三角晶格空气孔型光子晶体波导,其晶格周期为458nm,空气孔直径为339 nm。对设计的结构参数进行了容差计算,结果表明误差在-3.95~5.65 nm方能满足设计要求。最后使用聚焦离子束刻蚀工艺,制作了所设计的波导结构,并进行了测试。测试结果表明,样品实际晶格周期为463nm,空气孔直径为344 nm,比设计值大5 nm,在容差允许范围内,满足设计要求。 展开更多

关键词 光子晶体 二维光子晶体波导 三角晶格空气孔 聚焦离子束刻蚀

在线阅读 下载PDF 职称材料

二维超声阵列换能器声束控制技术的仿真研究 被引量：4

6

作者 白培瑞 张丽丽 傅颖霞 《山东科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2009年第5期43-48,共6页

超声波束特性直接影响超声图像的清晰度和对比度。二维超声换能器阵列结构与数字声束控制技术相结合,是现代超声成像系统发展的重要方向。以二维平面矩形超声换能器阵列和二维圆环超声换能器阵列为对象,利用仿真实验分别测试了声束聚焦... 超声波束特性直接影响超声图像的清晰度和对比度。二维超声换能器阵列结构与数字声束控制技术相结合,是现代超声成像系统发展的重要方向。以二维平面矩形超声换能器阵列和二维圆环超声换能器阵列为对象,利用仿真实验分别测试了声束聚焦、声束激励、幅度变迹等技术对声束的控制性能。结果表明,灵活的声束控制技术组合可以有效提高二维超声换能器阵列的声束性能,突出声束主瓣,降低旁瓣与栅瓣的影响。 展开更多

关键词 二维超声换能器阵列 声束聚焦 声束激励 幅度变迹

在线阅读 下载PDF 职称材料

三维平顶高斯光束通过环形光阑的传输特性 被引量：8

7

作者 罗时荣 吕百达 《激光技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期256-258,F003,共4页

利用Collins衍射积分公式对三维平顶高斯光束通过有中心遮拦的矩形环状光阑的传输特性进行了详细研究。对菲涅耳衍射和夫琅和费衍射的数值计算结果表明 ,遮拦比e和截断参数δ对其光强分布和远场能量 (功率 )集中度有影响。

关键词 三维平顶高斯光束 环状光阑 传输特性

在线阅读 下载PDF 职称材料

W波段4路平面集成行波管 被引量：3

8

作者 杨金生 纪焕丽 +5 位作者 孙然 穆涵硕 张小青 杜英华 蔡军 冯进军 《微波学报》 CSCD 北大核心 2024年第6期1-5,13,共6页

针对短毫米波有源相控阵应用,文中优化设计了W波段高效率高频系统、低电压电子枪、一维阵列电子注平面聚焦系统和4路平面集成行波管拓扑结构,采用常规PPM聚焦系统制管验证了高频系统设计的有效性,设计并制作了2路流通管样件,电子注流通... 针对短毫米波有源相控阵应用,文中优化设计了W波段高效率高频系统、低电压电子枪、一维阵列电子注平面聚焦系统和4路平面集成行波管拓扑结构,采用常规PPM聚焦系统制管验证了高频系统设计的有效性,设计并制作了2路流通管样件,电子注流通率均高于85%,验证了一维阵列电子注平面聚焦系统的设计有效性。基于验证的高频系统、低电压电子枪以及平面磁聚焦系统,设计了4路平面集成行波管拓扑结构,研制了W波段4路平面集成行波管样管。测试结果表明,4路行波管电子注流通率均高于80%,相同工作电压(12.6 kV)下4路行波管输出功率优于10 W,带宽均达到6 GHz,增益均高于25 dB,具有较好的电性能一致性,为短毫米波行波管有源相控阵应用提供了新的解决方案。 展开更多

关键词 W波段 平面集成行波管 一维阵列电子注 平面磁聚焦系统 电子注流通率

原文传递

基于概率成像的二维波束聚焦冲击定位方法研究 被引量：3

9

作者 常琦 孟瑶 赵恒 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期1339-1345,共7页

冲击损伤监测是结构健康监测的主要研究内容之一.本文提出了一种基于十字型传感器布置方法的二维波束聚焦概率成像定位算法,采用十字阵列型的传感器布置方法减小了系统盲区,通过二维波束聚焦概率成像方法提高了冲击定位的精度.在二维波... 冲击损伤监测是结构健康监测的主要研究内容之一.本文提出了一种基于十字型传感器布置方法的二维波束聚焦概率成像定位算法,采用十字阵列型的传感器布置方法减小了系统盲区,通过二维波束聚焦概率成像方法提高了冲击定位的精度.在二维波束聚焦算法中,波速的准确性是影响结构冲击损伤定位的主要因素,本文通过统计分析得到波速的概率分布函数,带入二维波束聚焦概率成像定位算法中对冲击损伤进行监测,分别得到横向阵列与纵向阵列的概率分布图,对两者进行融合成像可以得到更为精确、科学且直观的冲击损伤定位结果.通过实验研究验证了该方法的有效性与实用性. 展开更多

关键词 冲击损伤 结构健康监测 概率成像 十字阵列 二维波束聚焦算法 数据融合

在线阅读 下载PDF 职称材料

遗传算法优化调强放射治疗射野权重初步研究 被引量：3

10

作者 唐木涛 陈超敏 +3 位作者 周凌宏 吕庆文 王卓宇 陈光杰 《南方医科大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期456-458,共3页

目的研究调强放射治疗(IMRT)剂量计算与射野权重优化方法。方法建立基于二维卷积的IMRT剂量计算模型,用 Visual c#．Net编写剂量计算及基于遗传算法的IMRT射野权重优化程序,分析优化结果。结果用遗传算法优化射野权重能够在一个临床可... 目的研究调强放射治疗(IMRT)剂量计算与射野权重优化方法。方法建立基于二维卷积的IMRT剂量计算模型,用 Visual c#．Net编写剂量计算及基于遗传算法的IMRT射野权重优化程序,分析优化结果。结果用遗传算法优化射野权重能够在一个临床可接受的计算时间内得到较高适形度的剂量分布。结论遗传算法是一种有效的IMRT射野权重优化方法,在IMTR治疗计划优化中有广阔的应用前景。 展开更多

关键词 调强放疗 剂量计算 二维卷积 遗传算法 射野参数优化

暂未订购

二维光束整形的衍射光学元件设计 被引量：3

11

作者 张艳 张静娟 司徒国海 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期651-655,共5页

采用加权串行迭代算法(WSI)设计衍射光学元件(DOE),将二维圆形高斯分布的激光光束分别整形为二维正方形和三角形的均匀光束,同时实现了光束形状改变及振幅分布均匀化的功能。模拟计算结果表明,用WSI设计得到的输出波形形状基本达到要求... 采用加权串行迭代算法(WSI)设计衍射光学元件(DOE),将二维圆形高斯分布的激光光束分别整形为二维正方形和三角形的均匀光束,同时实现了光束形状改变及振幅分布均匀化的功能。模拟计算结果表明,用WSI设计得到的输出波形形状基本达到要求,转换到均匀区的能量效率分别达到95.3％、93.6％。 展开更多

关键词 二维光束整形 衍射光学元件 加权串行迭代算法 激光光束 均匀光束

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于最小三维凸包的锥束CT快速重建方法 被引量：2

12

作者 李明君 张定华 +2 位作者 黄魁东 张顺利 查方龙 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期68-73,共6页

针对传统锥束CT重建全尺寸立方体空间时存在大量冗余计算的问题,文章提出一种基于被测物体最小三维凸包的快速重建方法。首先根据Z线优先重建算法的特性,给出最小三维凸包的定义,然后根据锥束CT扫描投影关系和最小三维凸包的投影特点,... 针对传统锥束CT重建全尺寸立方体空间时存在大量冗余计算的问题,文章提出一种基于被测物体最小三维凸包的快速重建方法。首先根据Z线优先重建算法的特性,给出最小三维凸包的定义,然后根据锥束CT扫描投影关系和最小三维凸包的投影特点,提出了确定最小三维凸包3个参数的相应算法,最后通过仅重建最小三维凸包内的体素的方法,显著减少了重建计算量。对于截面形状变化较大的被测物体,可采用分段确定最小三维凸包的方式进一步减少计算冗余。2组仿真实验结果表明,文中方法可有效提高锥束CT的重建速度,并对复杂被测物体具有良好的适应性。 展开更多

关键词 图像重建 算法 锥束CT 最小三维凸包 Z线优先重建

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种新的均匀圆阵宽带波束域高分辨测向算法 被引量：3

13

作者 周林 赵拥军 《信号处理》 CSCD 北大核心 2009年第3期394-397,共4页

波束域算法是通过对阵列信号进行波束形成预处理,再进行高分辨测向。本文提出了一种新的均匀圆阵宽带波束域高分辨测向算法,推导出波束域聚焦矩阵的表达式。新方法大大提高了圆阵宽带波束域测向算法的分辨率,估计精度等性能。最后通过... 波束域算法是通过对阵列信号进行波束形成预处理,再进行高分辨测向。本文提出了一种新的均匀圆阵宽带波束域高分辨测向算法,推导出波束域聚焦矩阵的表达式。新方法大大提高了圆阵宽带波束域测向算法的分辨率,估计精度等性能。最后通过计算机仿真,与基于模式空间变换的宽带圆阵波束域算法和宽带圆阵相干信号子空间算法进行了比较,验证了新算法的优良性能。 展开更多

关键词 DOA 波束域算法 RSS算法 聚焦矩阵

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于Chirp-Z变换的串行双站斜视SAR成像算法 被引量：3

14

作者 武拥军 吴先良 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第2期383-387,共5页

该文首先建立了串行双站斜视SAR的几何模型,给出了雷达回波的数学表达式,推导了它的2维频谱并对其特点做了分析。在2维频域内先用聚焦函数对观测场景中心的点目标进行精确成像,然后利用Chirp-Z变换校正了中心点两侧目标回波的距离徙动,... 该文首先建立了串行双站斜视SAR的几何模型,给出了雷达回波的数学表达式,推导了它的2维频谱并对其特点做了分析。在2维频域内先用聚焦函数对观测场景中心的点目标进行精确成像,然后利用Chirp-Z变换校正了中心点两侧目标回波的距离徙动,再通过方位向逆傅里叶变换得到了雷达图像。该算法利用了Chirp-Z变换能够处理非线性调频信号的特点,简化了处理过程并提高了成像精度。仿真实验验证了这种基于Chirp-Z变换的新算法在处理串行双站斜视SAR数据时的有效性。 展开更多

关键词 串行双站斜视SAR:2维频谱 聚焦函数 Chirp—Z变换 成像算法

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于二维波束聚焦算法的低速冲击监测研究 被引量：2

15

作者 常琦 孟瑶 +1 位作者 杨维希 刘君 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期28-34,共7页

冲击损伤监测是结构健康监测的主要研究内容之一,为提高冲击定位的精度以及传感器的利用效率,提出了一种基于十字阵列型传感器布置方法的二维波束聚焦冲击定位算法,在高精度的前提下有效减少了传统定位方法所需布置的传感器数量。通过... 冲击损伤监测是结构健康监测的主要研究内容之一,为提高冲击定位的精度以及传感器的利用效率,提出了一种基于十字阵列型传感器布置方法的二维波束聚焦冲击定位算法,在高精度的前提下有效减少了传统定位方法所需布置的传感器数量。通过十字阵列型的压电传感器布置方法,可以将远场的定位精度大大提高,对于内场的盲区采用四点圆弧定位算法进行冲击定位,从而将整个大型平板结构的冲击定位精度大大提高。通过实验研究验证了该方法的有效性与实用性。 展开更多

关键词 冲击损伤监测 十字阵列 二维波束聚焦算法 声发射

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于CZT的机载并行双站斜视SAR成像算法 被引量：2

16

作者 武拥军 吴先良 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期825-830,共6页

建立了机载并行双站斜视合成孔径雷达(SAR)的几何模型,给出了雷达回波的数学表达式,推导了它的二维频谱并对其特点做了分析。在二维频域内,先用聚焦函数对观测场景中心的点目标做精确成像,然后用Chirp-Z变换(CZT)校正中心点两侧目标回... 建立了机载并行双站斜视合成孔径雷达(SAR)的几何模型,给出了雷达回波的数学表达式,推导了它的二维频谱并对其特点做了分析。在二维频域内,先用聚焦函数对观测场景中心的点目标做精确成像,然后用Chirp-Z变换(CZT)校正中心点两侧目标回波的距离徙动,再通过方位向逆傅里叶变换得到了雷达图像。该算法利用了CZT能够处理非线性调频信号的特点,简化了处理过程,提高了计算效率和成像精度。仿真实验验证了这种基于CZT的新算法在处理并行双站斜视SAR数据时的有效性。 展开更多

关键词 合成孔径雷达 二维频谱 聚焦函数 CHIRP-Z变换 成像算法

原文传递

部分相干椭球光笼 被引量：1

17

作者 刘晓云 蒲继雄 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期821-824,共4页

从理论上研究部分相干光束经透镜聚焦的三维光强分布。研究结果表明,在几何焦点附近的光强分布不仅依赖于入射部分相干光束的光强分布,而且还依赖于入射光束的空间相干度。基于这一点,提出了一种控制部分相干光束的空间相干度,在几何焦... 从理论上研究部分相干光束经透镜聚焦的三维光强分布。研究结果表明,在几何焦点附近的光强分布不仅依赖于入射部分相干光束的光强分布,而且还依赖于入射光束的空间相干度。基于这一点,提出了一种控制部分相干光束的空间相干度,在几何焦点附近获得了类似椭球光笼形状的光强分布的新方法。通过控制入射部分相干光的空间相干度,来改变聚焦在几何焦点附近的三维光强分布,从而获得希望得到的光强分布。 展开更多

关键词 部分相干光 空间相干 聚焦 光束整形

在线阅读 下载PDF 职称材料

高斯叠代法研究相控阵栅瓣的优化 被引量：1

18

作者 邱媛媛 许阳 《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期782-787,共6页

高强度聚焦超声(High intensity focused ultrasound,HIFU)是一种新兴的治疗肿瘤的技术,将声波能量聚焦到人体组织内的靶区,产生热效应消融肿瘤组织,而不损伤正常组织.HIFU中的相控阵技术可以根据病灶区域的深度以及大小通过控制多阵元... 高强度聚焦超声(High intensity focused ultrasound,HIFU)是一种新兴的治疗肿瘤的技术,将声波能量聚焦到人体组织内的靶区,产生热效应消融肿瘤组织,而不损伤正常组织.HIFU中的相控阵技术可以根据病灶区域的深度以及大小通过控制多阵元发射声束的相位与幅度,实现焦点的精确控制,并可实现多焦点聚焦及电子扫描.相控阵在聚焦超声治疗应用中不可避免地受到栅瓣的影响,本文结合高斯声束叠加与相控阵技术中的伪逆矩阵算法研究相控阵的声场,并对栅瓣进行优化研究.该方法利用预设焦点参数并应用伪逆矩阵算法得到阵元的激励参数;然后将阵元近似拟合成一组高斯声束的叠加,通过高斯声束叠代计算声场.数值计算中以9×9二维相控阵列为研究对象;线性条件下,高斯叠代法结果与菲涅耳积分结果的误差低于1%,验证了该方法的可行性;二维相控阵在单焦点模式下减小阵元间距可以有效抑制旁瓣,但不能完全抑制.进一步的实验研究将进一步优化理论模型.本文的结果将有效促进相控阵聚焦换能器在HIFU中的应用. 展开更多

关键词 高强度聚焦超声 相控阵 伪逆矩阵算法 高斯声束

在线阅读 下载PDF 职称材料

EB-PVD热障涂层TGO三维结构分析 被引量：3

19

作者 敖波 钟建兰 古玉祺 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期136-142,共7页

热生长氧化物（TGO）的厚度及形貌是影响热障涂层热应力的关键因素。首先开展了电子束物理气相沉积（EB-PVD）热障涂层1 050℃恒温氧化实验,采用聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）实现了EB-PVD热障涂层三维成像,获得了576幅热障涂... 热生长氧化物（TGO）的厚度及形貌是影响热障涂层热应力的关键因素。首先开展了电子束物理气相沉积（EB-PVD）热障涂层1 050℃恒温氧化实验,采用聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）实现了EB-PVD热障涂层三维成像,获得了576幅热障涂层高温氧化48 h后的SEM图像;其次,通过EB-PVD热障涂层三维结构的分割与提取,得到了真实TGO三维结构和柱间孔隙三维分布,实现了TGO层的厚度测量;最后建立了基于TGO三维结构和柱间孔隙三维分布的EB-PVD热障涂层有限元热应力分析模型,分析了真实TGO三维结构和柱间孔隙三维分布对EB-PVD热障涂层热应力的影响。结果表明,TGO层的平均厚度为2.37μm,有限元模型中最大拉应力为403 MPa,最大压应力为-282 MPa,最大拉应力与最大压应力均出现在陶瓷层中的柱间孔隙处。 展开更多

关键词 电子束物理气相沉积 热生长氧化物 聚焦离子束-扫描电子显微镜 三维结构

原文传递

二维纳米栅格结构的聚焦离子束制备工艺 被引量：2

20

作者 周莹 薛民杰 +1 位作者 郝玉红 陈永康 《上海计量测试》 2024年第6期15-18,共4页

采用聚焦离子束技术,制备了三个500 nm规格的二维纳米栅格结构样本。研究基底材料的再沉积、离子束在基底材料中的扩散、设备的机械误差等影响因素,优化了二维纳米栅格结构的聚焦离子束制备工艺。结果表明,三个二维纳米栅格结构x、y方... 采用聚焦离子束技术,制备了三个500 nm规格的二维纳米栅格结构样本。研究基底材料的再沉积、离子束在基底材料中的扩散、设备的机械误差等影响因素,优化了二维纳米栅格结构的聚焦离子束制备工艺。结果表明,三个二维纳米栅格结构x、y方向的实际尺寸与设计尺寸、三个样本之间对应的栅格周期尺寸具有高度的一致性,误差在±0.3%之内。该研究成果为纳米长度标准物质的研制、不同长度二维纳米栅格结构及其他复杂结构的FIB精密加工提供了重要的参考。 展开更多

关键词 二维纳米栅格 聚焦离子束 纳米尺度 再沉积 离子束束流

在线阅读 下载PDF 职称材料