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Review of self-referenced measurement algorithms: Bridging lateral shearing interferometry and multi-probe error separation 被引量:2
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作者 Dede ZHAI Shanyong CHEN +1 位作者 Ziqiang YIN Shengyi LI 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2017年第2期143-157,共15页
With the development of new materials and ultra-precision processing technology, the sizes of mea- sured objects increase, and the requirements for machining accuracy and surface quality become more exacting. The trad... With the development of new materials and ultra-precision processing technology, the sizes of mea- sured objects increase, and the requirements for machining accuracy and surface quality become more exacting. The traditional measurement method based on reference datum is inadequate for measuring a high-precision object when the quality of the reference datum is approximately within the same order as that of the object. Self-referenced measurement techniques provide an effective means when the direct reference-based method cannot satisfy the required measurement or calibration accuracy. This paper discusses the reconstruction algorithms for self-referenced measurement and connects lateral shearing interferometry and multi-probe error separation. In lateral shearing interferometry, the reconstruction algorithms are generally categorized into modal or zonal methods. The multi-probe error separation techniques for straightness measurement are broadly divided into two-point and three-point methods. The common features of the lateral sheafing interferometry method and the multi-probe error separation method are identified. We conclude that the reconstruction principle in lateral shearing interferometry is similar to the two-point method in error separation on the condition that no yaw error exists. This similarity may provide a basis or inspiration for the development of both classes of methods. 展开更多
关键词 self-referenced measurement lateral sheafing interferometry multi-probe error separation surfacemetrology
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Low drift nuclear spin gyroscope with probe light intensity error suppression 被引量:4
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作者 Wenfeng Fan Wei Quan +2 位作者 Feng Liu Lihong Duan Gang Liu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第11期129-133,共5页
A nuclear spin gyroscope based on an alkali-metal–noble-gas co-magnetometer operated in spin-exchange relaxationfree(SERF) regime is a promising atomic rotation sensor for its ultra-high fundamental sensitivity. Howe... A nuclear spin gyroscope based on an alkali-metal–noble-gas co-magnetometer operated in spin-exchange relaxationfree(SERF) regime is a promising atomic rotation sensor for its ultra-high fundamental sensitivity. However, the fluctuation of probe light intensity is one of the main technical error sources that limits the bias stability of the gyroscope. Here we propose a novel method to suppress the bias error induced by probe light intensity fluctuations. This method is based on the inherent magnetic field response characteristics of the gyroscope. By the application of a bias magnetic field, the gyroscope can be tuned to a working point where the output signal is insensitive to probe light intensity variation, referred to herein as ‘zero point’, thus the bias error induced by intensity fluctuations can be completely suppressed. The superiority of the method was verified on a K–Rb–21 Ne co-magnetometer, and a bias stability of approximately 0.01°/h was obtained. In addition, the method proposed here can remove the requirement of the closed-loop control of probe light intensity, thereby facilitating miniaturization of the gyroscope volume and improvement of reliability. 展开更多
关键词 nuclear spin GYROSCOPE SPIN-EXCHANGE relaxation-free error SUPPRESSION probe light intensity
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THEORETICAL INVESTIGATION ON THE TECHNIQUES OF ERROR SEPARATION USING THREE PROBES
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作者 颜景平 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 1989年第2期56-63,共8页
In this paper,the following problems are discussed:the mounting conditionsof three probes,the transmission characteristics of measuring system,the elimination ofmounting eccentricity,and so forth.The measures for solv... In this paper,the following problems are discussed:the mounting conditionsof three probes,the transmission characteristics of measuring system,the elimination ofmounting eccentricity,and so forth.The measures for solving these problems are also pres-ented.At last,the author gives some ideas about the solubility and the correlations of theoutput equations. 展开更多
关键词 elimination/error SEPARATION probe ECCENTRICITY
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Blockage effect on the flow around a cylinder probe in calibration 被引量:3
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作者 WANG Hong-wei,WEI Jun (National Key Laboratory on Aero-Engines,School of Jet Propulsion,Beijing University of Aeronautics and Astronautics,Beijing 100083) 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1074-1081,共8页
Flow around a 2-D cylinder pressure probe placed in uniform flow,free jet flow,and wind tunnel flow was analyzed with potential flow theory and simulated with numerical method.Blockage effect was investigated under se... Flow around a 2-D cylinder pressure probe placed in uniform flow,free jet flow,and wind tunnel flow was analyzed with potential flow theory and simulated with numerical method.Blockage effect was investigated under several typical flow Mach numbers.The result from numerical simulation shows a similar trend to the one from potential flow method while varies in quantity.Wind tunnel walls accelerate the flow near the probe and thus produce a blockage effect;Boundary of free jet flow,however,decelerates the flow and thus produces a 'negative' blockage effect.A maximum incoming Mach number exists when the probe is calibrated in wind tunnel in high subsonic condition due to choking caused by shocks and shock induced separation.The critical Mach number varies with blockage ratio,which makes high Mach number impossible to achieve in large blockage ratio condition.The blockage effect itself is unavoidable for calibration or measurement although a sufficiently small blockage ratio brings minor effect.Correction can be implemented based on the numerical simulation result presented in this paper and further works. 展开更多
关键词 压力探测器 汽缸探测器 阻塞 测量误差 校准 数值模拟
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Far-Field Pattern Reconstruction from Positioning Errors Affected Near-Field Data Acquired via Helicoidal Scanning
5
作者 Francesco D’Agostin Flaminio Ferrara +2 位作者 Claudio Gennarelli Rocco Guerriero Massimo Migliozzi 《Journal of Electromagnetic Analysis and Applications》 2012年第2期60-68,共9页
In this paper, an effective technique to compensate the positioning errors in a near-field—far-field (NF-FF) transformation with helicoidal scanning for elongated antennas is presented and validated both numerically ... In this paper, an effective technique to compensate the positioning errors in a near-field—far-field (NF-FF) transformation with helicoidal scanning for elongated antennas is presented and validated both numerically and experimentally. It relies on a nonredundant sampling representation of the voltage measured by the probe, obtained by considering the antenna as enclosed in a cylinder ended in two half-spheres. An iterative scheme is used to reconstruct the helicoidal NF data at the points fixed by the representation from the acquired irregularly spaced ones. Once the helicoidal data have been retrieved, those needed by a classical NF-FF transformation with cylindrical scanning are efficiently evaluated by using an optimal sampling interpolation algorithm. Some numerical tests, assessing the accuracy of the approach and its stability with respect to random errors affecting the data, are reported. Experimental tests performed at the Antenna Characterization Lab of the University of Salerno further confirm the validity of the proposed technique. 展开更多
关键词 Antenna Measurements Near-Field—Far-Field TRANSFORMATIONS Helicoidal SCANNING Nonredundant Sampling REPRESENTATIONS of Electromagnetic Fields probe Positioning errors Compensation
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微纳米三坐标测量机的技术进展
6
作者 何亚雄 李瑞君 +2 位作者 黄强先 程真英 范光照 《光学精密工程》 北大核心 2025年第23期3672-3690,共19页
超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinat... 超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine,CMM)的研究进展,从整机结构设计、误差补偿技术、纳米测头研制、测量环境控制及整机应用测试等方面进行了系统性归纳。其次,详细介绍了团队历经四代样机的研究成果与最新进展。进而,阐述了一种基于阿贝与布莱恩原则的空间误差建模与补偿创新方法,在此基础上,实现了对尺度小于100μm且具有高深宽比的内尺寸特征的纳米级精度测量。最后,对微纳米三坐标测量机未来的研究方向与应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 精密测量 微机电系统(MEMS) 三坐标测量机(CMM) 高深宽比结构 纳米探头 阿贝误差 空间误差补偿
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渐开线测量过程中的扫描式测头动态响应
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作者 卢春霞 姜彬 赵威 《工具技术》 北大核心 2025年第3期150-153,共4页
随着齿轮测量中心测量速度的增大,测头的动态响应特性成为影响测量精度的关键因素。本文设计齿轮测量中心的多种测头接口,并基于三种不同的扫描式测头进行渐开线样板测量实验,对齿轮测量中心的联动误差、测头响应和测量结果进行分析。... 随着齿轮测量中心测量速度的增大,测头的动态响应特性成为影响测量精度的关键因素。本文设计齿轮测量中心的多种测头接口,并基于三种不同的扫描式测头进行渐开线样板测量实验,对齿轮测量中心的联动误差、测头响应和测量结果进行分析。实验结果表明,测量误差主要来源于测头的动态响应特性。 展开更多
关键词 齿轮测量中心 测量误差 扫描式测头 动态响应
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电子探针定量分析的不确定度评定与优化
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作者 葛祥坤 邰宗尧 +3 位作者 何永志 岑晶轩 邓刘敏 范光 《世界核地质科学》 2025年第4期700-709,共10页
针对从事电子探针分析的检测和校准实验室需具备不确定度评定能力的需求,基于不确定度理论框架,剖析了计数强度、标准物质定值精度及基体校正等关键影响因素。通过构建测量模型与实验验证,对各因素引入的不确定度进行了量化评定。结果表... 针对从事电子探针分析的检测和校准实验室需具备不确定度评定能力的需求,基于不确定度理论框架,剖析了计数强度、标准物质定值精度及基体校正等关键影响因素。通过构建测量模型与实验验证,对各因素引入的不确定度进行了量化评定。结果表明:通过规范试样制备、保障仪器稳定性、优化测试条件、合理选择标样及采用恰当的基体校正方法,可有效降低分析结果的不确定度。针对无需评定不确定度的场景,提出了判断数据质量的经验方法。本研究为提升电子探针定量分析的准确性与可靠性提供了科学依据与操作指南。 展开更多
关键词 电子探针 不确定度 元素组成 定量分析 误差
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光学非球面面形检测与误差建模补偿
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作者 王广谱 黄强先 +4 位作者 刘慧洁 程荣俊 张祖杨 李红莉 张连生 《计量学报》 北大核心 2025年第9期1279-1285,共7页
建立了基于三坐标测量机(CMM)的接触式非球面透镜面形检测系统,对光轴方向与顶点确定、测球误差的模型建立与补偿等进行研究。采用微纳米CMM搭配三维谐振测头实现对非球面透镜的面形检测,为解决检测过程中光轴方向与顶点位置难以准确确... 建立了基于三坐标测量机(CMM)的接触式非球面透镜面形检测系统,对光轴方向与顶点确定、测球误差的模型建立与补偿等进行研究。采用微纳米CMM搭配三维谐振测头实现对非球面透镜的面形检测,为解决检测过程中光轴方向与顶点位置难以准确确定的问题,采用LM算法对光轴方向与顶点位置进行校正;其次,针对接触式检测中的测球球径的影响问题,建立误差修正模型以补偿检测过程中的测球误差。并通过实际检测公称面形误差δ_(RMS)为250 nm的非球面透镜面形来验证所提方法的有效性。实验结果表明:经过光轴方向与顶点校正并补偿测球误差后,非球面透镜面形误差3次重复测量的结果分别为186 nm、184 nm、178 nm,重复性和一致性较好。克服了传统接触式测量方法中光轴方向与顶点难以确定和测球误差影响的问题,有效提高了非球面透镜面形测量的精度。 展开更多
关键词 几何量计量 面形误差 非球面 光轴校正 测球误差 三坐标测量机 LM算法
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多点屏蔽式总温探针稳态误差构成及分布特征研究
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作者 张晓东 周俊生 +2 位作者 赵安涛 张伟昊 谢金伟 《燃气涡轮试验与研究》 2025年第4期18-27,共10页
采用数值模拟方法,定量分析了两型多点屏蔽式总温探针在典型安装环境下的稳态误差各组分(速度误差、导热误差、辐射误差)的变化规律。结果表明:多点屏蔽式总温探针的不同测点稳态误差受来流流动状态及换热特征的影响机制不同,主要误差... 采用数值模拟方法,定量分析了两型多点屏蔽式总温探针在典型安装环境下的稳态误差各组分(速度误差、导热误差、辐射误差)的变化规律。结果表明:多点屏蔽式总温探针的不同测点稳态误差受来流流动状态及换热特征的影响机制不同,主要误差来源随测点空间位置的变化而变化。在较高马赫数(约为0.376)流场中,探针的导热误差和辐射误差均随测点位置远离安装座而减小,且变化趋势明显,但两者在稳态误差中的占比变化不大;在较低马赫数(约为0.067)流场中,探针的导热误差随测点远离安装座而减小,但辐射误差随测点远离安装座而逐渐增大,导致稳态误差主要来源由导热误差转变为辐射误差。在对多点屏蔽式总温探针进行误差修正时,需重视不同测点位置与流动马赫数共同作用下误差组分的定量变化及不同测点处主导误差组分的差异。 展开更多
关键词 屏蔽式总温探针 稳态误差 流热耦合 来流马赫数 误差修正 数值仿真
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纵波双晶直探头的回波路径分析及验证
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作者 王平 邬清友 李正东 《西部特种设备》 2025年第5期29-36,共8页
本文根据纵波双晶直探头的结构特点,对纵波双晶直探头使用中产生的脉冲回波路径进行分析,并对回波路径的正确性进行了验证,阐述了如何正确选择目标回波调校仪器零点和声速,以及实际应用中出现的误差问题。
关键词 纵波双晶直探头 回波路径 验证 校准 误差
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黄土含水率DPHP-FBG传感器研究
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作者 祝越 吴静红 +2 位作者 郭君仪 孙梦雅 贾立翔 《计量学报》 北大核心 2025年第3期442-449,共8页
基于光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)的双探针热脉冲方法(double probe heat pulse,DPHP),研发了DPHP-FBG传感器,用于延安黄土含水率的测定,并分析不同加热时间和不同加热功率对含水率测量结果的影响。研究表明:DPHP-FBG方法... 基于光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)的双探针热脉冲方法(double probe heat pulse,DPHP),研发了DPHP-FBG传感器,用于延安黄土含水率的测定,并分析不同加热时间和不同加热功率对含水率测量结果的影响。研究表明:DPHP-FBG方法可实现非饱和黄土含水率的精确测量,尤其适用于低含水率土体监测。恒定加热功率下,加热时间控制在16 s内时,测量误差随着加热时间的增加而减小。足够加热时间下,加热功率的影响较小,无需采用过高的加热功率,在加热时间为20 s时,30.15 W/m的加热功率即可实现高精度含水率的测量。DPHPFBG法能够实现土壤含水率的远程、实时、精细化监测,为原位土体水分场、土壤水分蒸发和冻融的研究提供了一种新的监测手段。 展开更多
关键词 体积含水率 水分传感器 双探针热脉冲 光纤布拉格光栅法 延安黄土 误差分析
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基于一维测头准双曲面齿轮齿面偏差的测量 被引量:24
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作者 李天兴 邓效忠 魏冰阳 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期958-962,共5页
提出了基于一维测头准双曲面齿轮齿面偏差的测量及误差补偿方法。规划了齿面测量网格区域,并计算得到网格节点的坐标值和单位法矢。运用复杂曲面测量原理及误差补偿理论,建立了偏差数据补偿修正的计算式,得到了真实齿面在法线方向的偏... 提出了基于一维测头准双曲面齿轮齿面偏差的测量及误差补偿方法。规划了齿面测量网格区域,并计算得到网格节点的坐标值和单位法矢。运用复杂曲面测量原理及误差补偿理论,建立了偏差数据补偿修正的计算式,得到了真实齿面在法线方向的偏差。在国产测量中心上使用一维测头对实际产品进行了齿面偏差测量,其结果与使用三维测头的M&M3525测量中心的测量结果基本一致,从而验证了该测量方法的可行性和正确性。 展开更多
关键词 准双曲面齿轮 齿面偏差测量 一维测头 误差补偿
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时栅位移传感器的误差修正实用技术 被引量:10
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作者 彭东林 周玮 +2 位作者 陈锡侯 高忠华 郑方燕 《机械传动》 CSCD 北大核心 2012年第4期34-36,共3页
针对时栅角位移传感器定子和转子的加工误差对测量精度的影响,利用多测头法分离出多次谐波成分并加以修正。根据场式时栅角位移传感器的误差特点,针对32对极场式时栅进行了理论分析,分离并消除64次及64的整数倍次以外的谐波分量。定子... 针对时栅角位移传感器定子和转子的加工误差对测量精度的影响,利用多测头法分离出多次谐波成分并加以修正。根据场式时栅角位移传感器的误差特点,针对32对极场式时栅进行了理论分析,分离并消除64次及64的整数倍次以外的谐波分量。定子和转子线槽的分度误差被修正以后,时栅角位移传感器测量精度达到了2′的预定指标。 展开更多
关键词 时栅 多测头法 误差修正 谐波误差
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数控机床误差补偿技术及应用测头系统──误差分析和补偿技术 被引量:10
15
作者 章青 陈明娟 +4 位作者 赵小松 赵宏林 盛伯浩 方沂 张铁诚 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 1999年第5期32-34,共3页
在机测量是机床加工过程质量监控的重要手段。文章对触发式测头的结构、测量原理、测头系统和测量过程中的误差源进行分析和处理,给出误差补偿和控制措施,以提高测量精度。该技术对推广和应用在机测量技术有重要意义。
关键词 汕头 误差补偿 数控机床 误差分析
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一种测量跨声速多级压气机转子出口二维流场的方法 被引量:6
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作者 马宏伟 贺象 +1 位作者 单晓明 姚峥嵘 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期754-759,共6页
为了获得小型压气机设计所急需的关键流场信息,发展了一种基于圆柱单孔高频压力探针测量小型轴流压气机级间动态流场的测量方法。该探针测量原理基于圆柱绕流特性,借助高速锁相采集技术,利用旋转探针多角度法实现级间动态流场测量。采... 为了获得小型压气机设计所急需的关键流场信息,发展了一种基于圆柱单孔高频压力探针测量小型轴流压气机级间动态流场的测量方法。该探针测量原理基于圆柱绕流特性,借助高速锁相采集技术,利用旋转探针多角度法实现级间动态流场测量。采用插值和拟合对测量的数据进行处理,从而获得级间二维定常流场。误差分析表明,该探针测量精度较高,偏转角误差小于1.8°,马赫数、总压和静压的极限误差分别为3.4%,0.94%和3%。将该高频探针应用于某小型跨声速3级轴流压气机,测量结果表明:85%叶高至机匣范围内,总压和马赫数明显要比叶根低得多,气流出现明显过转。这些测量结果为优化该压气机级间匹配指明了方向,验证了该高频压力探针测试技术的工程应用价值。 展开更多
关键词 小型轴流压气机 级间测量 高频压力探针 误差分析 转子出口流场
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测量松散颗粒物料局部湿含量的电容探针 被引量:5
17
作者 归柯庭 韩吉田 +1 位作者 施明恒 虞维平 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1993年第5期110-114,共5页
本文利用水的介电常数远大于一般介质介电常数的特点,发展了一种测量松散颗粒物料局部湿含量的电容探针。由于采用误差补偿电路和针型传感器探头,并在结构上采用了减小损耗的措施,提高了探针的灵敏度、稳定性和空间分辨率,可以用于松散... 本文利用水的介电常数远大于一般介质介电常数的特点,发展了一种测量松散颗粒物料局部湿含量的电容探针。由于采用误差补偿电路和针型传感器探头,并在结构上采用了减小损耗的措施,提高了探针的灵敏度、稳定性和空间分辨率,可以用于松散颗粒物料局部湿含量的测量。 展开更多
关键词 湿含量 探针 多孔介质 电容探针
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楔顶双孔探针测量跨声多级压气机转子出口三维动态流场的方法 被引量:14
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作者 李井洋 马宏伟 贺象 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2262-2268,共7页
发展了1种楔顶圆柱双孔高频压力探针测量三维动态流场的方法,并应用于某跨声速多级轴流压气机转子出口流场测量.该探针测量方法基于4孔针测量原理,通过旋转探针在3个角度测量的方法实现,并采用最小二乘拟合方法对探针气动校准数据进行处... 发展了1种楔顶圆柱双孔高频压力探针测量三维动态流场的方法,并应用于某跨声速多级轴流压气机转子出口流场测量.该探针测量方法基于4孔针测量原理,通过旋转探针在3个角度测量的方法实现,并采用最小二乘拟合方法对探针气动校准数据进行处理,对拟合误差进行优化,得到最佳拟合阶次,进而获得精度较高的求解流场参数的近似函数.相比国内外同类探针,该楔顶圆柱双孔高频压力探针尺寸小、频响快、测量范围宽、测量精度高.借助高速锁相数据采集技术,利用该探针测量了某跨声速多级压气机转子出口三维动态流场,测量结果反映了该转子流动特征,提供了转子出口气流偏转角、俯仰角、总压、马赫数分布,并为优化压气机级间匹配指明了方向,为压气机流场诊断提供了一套行之有效的测量手段,验证了该高频压力探针测量技术的工程应用价值. 展开更多
关键词 跨声速多级轴流压气机 级间测量 高频压力探针 误差分析 三维流场
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微纳坐标测量机间接校准方法的探究 被引量:4
19
作者 施玉书 高思田 +7 位作者 宋小平 郭鑫 陈思文 皮磊 李伟 李琪 李适 王兴旺 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第1期47-50,共4页
针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,... 针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,实验结果表明,该仪器的尺寸测量示值误小于0.2μm,探测误差仅为0.125μm,校准结果均优于仪器的最大允许误差,验证了校准方案的合理可行性。 展开更多
关键词 计量学 微纳坐标测量机 间接校准 尺寸测量示值误差 探测误差
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光谱共焦传感器探测误差的研究 被引量:7
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作者 位恒政 王为农 +1 位作者 任国营 裴丽梅 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期94-97,共4页
针对装配在多传感器坐标测量机上的光谱共焦传感器的精度评价问题,分析了曲面倾角对传感器测量精度的影响,对传感器的点测量模式和扫描测量模式的计量特性进行了研究,主要包括形状探测误差、尺寸探测误差、扫描探测误差、平面探测误差,... 针对装配在多传感器坐标测量机上的光谱共焦传感器的精度评价问题,分析了曲面倾角对传感器测量精度的影响,对传感器的点测量模式和扫描测量模式的计量特性进行了研究,主要包括形状探测误差、尺寸探测误差、扫描探测误差、平面探测误差,并设计了合适的标准器进行实验分析。通过对光谱共焦传感器计量特性的研究,可为用户应用光谱共焦传感器进行大尺寸自由曲面测量的不确定度分析提供理论支持。 展开更多
关键词 计量学 光谱共焦传感器 坐标测量机 探测误差
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