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Modeling of Cross-Spring Pivots Subjected to Generalized Planar Loads 被引量:4
1
作者 BI Shusheng YAO Yanbin +1 位作者 ZHAO Shanshan YU Jingjun 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第6期1075-1085,共11页
Cross-spring pivots, formed by crossing two identical flexural beams at their midpoint, have been broadly used in precision engineering and aerospace fields. Many researches have been conducted on modeling and analysi... Cross-spring pivots, formed by crossing two identical flexural beams at their midpoint, have been broadly used in precision engineering and aerospace fields. Many researches have been conducted on modeling and analysis of cross-spring pivots. However the influence of application position and magnitude of the external loads on the load-rotation and parasitic motion characteristics has not yet been discussed. In order to reveal the effect of the external loads, this paper develops the accurate load-rotation and center shift models of cross-spring pivots, with generalized planar loads applied including bending moment, horizontal and vertical forces. Firstly, by using the energy method, the load-displacement models of the pivot are derived with the assumption of small rotational angles. Based on the models, the influence of generalized planar loads on the load-rotation relationship is discussed, which shows that both application position and magnitude of the vertical and horizontal forces influence the load-rotation behaviors. Then the accurate center shift expressions of the pivot with generalized planar loads are developed, which shows that the rotational angle is the dominant term for both components of the center shift while the vertical and horizontal forces are small. Finally, the accuracy of the proposed model is validated by finite element analysis(FEA). Comparing the model data with the results obtained from FEA, the relative error of the load-rotation is less than 6% even if the rotational angle reaches 20°; the relative errors of the two components of center shift are less than 5% and 10% respectively when the rotational angle reaches 10°. The proposed model and analytical conclusions can be used to analyze and preliminarily design the compliant mechanisms containing cross-spring pivots. 展开更多
关键词 cross-spring pivot load-rotation behaviors center shift generalized planar loads
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基于磁悬浮系统的电磁-摩擦电混合振动能量收集器研究
2
作者 刘保国 梁佳园 +2 位作者 张坤 赵毫杰 冯伟 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第2期16-21,27,共7页
为了解决传统化学电池无法为无线传感网络持久供能的问题,设计了一种高效转换低频振动能的磁悬浮基电磁-摩擦电混合能量收集器,利用磁悬浮系统感应低频环境振动,通过电磁-摩擦电复合能量转换机制高效提取振动能量。研究了平面弹簧刚度... 为了解决传统化学电池无法为无线传感网络持久供能的问题,设计了一种高效转换低频振动能的磁悬浮基电磁-摩擦电混合能量收集器,利用磁悬浮系统感应低频环境振动,通过电磁-摩擦电复合能量转换机制高效提取振动能量。研究了平面弹簧刚度和激励加速度对混合能量收集器输出性能的影响,实验结果表明,输出电压随平面弹簧刚度的增大而降低,随激励加速度的增大而增大,当平面弹簧刚度为562 N/m、激励加速度为1.2g时,电磁能量收集单元(EMG)、摩擦电能量收集单元Ⅰ(TENGⅠ)和摩擦电能量收集单元Ⅱ(TENGⅡ)的最大输出峰峰值电压分别为1.15、53、167 V。 展开更多
关键词 低频 电磁-摩擦电 磁悬浮 振动能量收集器 平面弹簧
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基于非线性弹簧接触力模型的盾构机主轴承载荷分布优化研究
3
作者 马才兵 陈观慈 《机械传动》 北大核心 2025年第11期49-56,共8页
【目的】盾构机主轴承承受复杂集中载荷(含巨大轴向力与倾覆力矩)。为提升转盘轴承有限元仿真效率并降低其最大接触载荷,提出一种轴承内圈滚道非平面结构设计方法。【方法】以三排圆柱滚子轴承为研究对象,采用非线性弹簧等效圆柱滚子的... 【目的】盾构机主轴承承受复杂集中载荷(含巨大轴向力与倾覆力矩)。为提升转盘轴承有限元仿真效率并降低其最大接触载荷,提出一种轴承内圈滚道非平面结构设计方法。【方法】以三排圆柱滚子轴承为研究对象,采用非线性弹簧等效圆柱滚子的建模方法开展有限元分析,获取其在典型工况联合载荷作用下的内部接触载荷分布及整体变形特性。【结果】结果表明,该等效建模方法可有效缩小计算规模、缩短计算时间;上排与下排滚子接触载荷呈近似对称分布;非平面滚道轴承较圆形滚道轴承的最大接触载荷降低约9%,且滚子载荷分布更均匀、数值均有下降,对延长轴承使用寿命具有参考价值。 展开更多
关键词 三排圆柱滚子轴承 非线性弹簧 载荷分布 非平面滚道 有限元
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具有环状运动约束的悬臂输流管道的非线性振动特征 被引量:2
4
作者 郭勇 《动力学与控制学报》 2024年第5期24-37,共14页
本文对具有环状运动约束的悬臂输流管道的空间弯曲振动进行研究,目的在于考察约束刚度系数、约束放置位置对管道的两类周期运动(包括平面周期运动和空间周期运动)及其稳定性的影响规律.首先,在已有文献的基础上,将运动约束对管道的作用... 本文对具有环状运动约束的悬臂输流管道的空间弯曲振动进行研究,目的在于考察约束刚度系数、约束放置位置对管道的两类周期运动(包括平面周期运动和空间周期运动)及其稳定性的影响规律.首先,在已有文献的基础上,将运动约束对管道的作用模拟成非线性立方弹簧模,得出振动方程.其次,运用Galerkin方法将振动方程离散成常微分方程组,结合基于中心流形—范式理论的投影法与平均法,给出了决定系统定性动力学性质的相关系数(包括临界特征值随流速的变化率及非线性共振项),取模态截断数为6,在几组约束刚度值和约束位置处计算了上述系数,据此考察了运动约束对管道的周期运动的影响,总结出了如下结论:在约束位置取定时增加约束刚度,或在约束刚度取定时增大约束位置至管的固定端的距离,均会使得管道的稳定平面周期运动对应的质量比区间减小,稳定空间周期运动对应的质量比区间增大;约束位置距管的固定端越远,约束刚度的变化对管道动力学行为的影响越明显.最后,对上述通过投影法和平均法得出的结论,本文在特定的质量比处数值求解了原振动方程的6模态Galerkin离散化方程,绘制了位形图、相图和Poincaré映射图,计算了频率,从而验证了相关的分析. 展开更多
关键词 输流管道 平面周期运动 空间周期运动 约束 弹簧 稳定
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基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器 被引量:5
5
作者 王佩红 鲁李乐 +1 位作者 戴旭涵 赵小林 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期171-174,共4页
采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并... 采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3。Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz。对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV。 展开更多
关键词 振动能量采集器 微机电系统 电磁式 铜平面弹簧 双层线圈
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引信用MEMS平面微弹簧弹性系数分析 被引量:21
6
作者 吴志亮 常娟 +1 位作者 冯鹏洲 朱继南 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期140-143,148,共5页
分析了平面微弹簧在某种MEMS引信安全保险机构中的作用,利用力学能量法推导出了"L型"、"S型"及"W型"微弹簧弹性系数计算公式,解决了目前相关MEMS弹簧没有成熟设计公式的问题。在理论推导过程中,利用有限... 分析了平面微弹簧在某种MEMS引信安全保险机构中的作用,利用力学能量法推导出了"L型"、"S型"及"W型"微弹簧弹性系数计算公式,解决了目前相关MEMS弹簧没有成熟设计公式的问题。在理论推导过程中,利用有限元仿真软件ANSYS的仿真结果对其进行完善,提高了弹性系数计算公式的精度。结果表明,完善后的弹性系数计算公式更为准确,其中"L型"微弹簧的公式平均误差低于1%,精度较相关文献提高约一个数量级。 展开更多
关键词 MEMS 平面微弹簧 弹性系数 ANSYS
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用于低g_n值微惯性开关的低刚度平面微弹簧设计与制作 被引量:6
7
作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期620-627,共8页
针对低gn值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求(0.1~1N/m数量级),设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性,根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了微弹簧的弹性系数计算公式,... 针对低gn值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求(0.1~1N/m数量级),设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性,根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了微弹簧的弹性系数计算公式,并根据ANSYS有限元仿真分析结果对其进行了修正。基于多层高深宽比硅台阶刻蚀方法,采用MEMS体硅加工工艺,完成了微弹簧的制备,划片后微弹簧芯片尺寸为7mm×7mm×0.3mm。分析结果表明,完善后的弹性系数计算公式与ANSYS仿真结果更为接近,可直接应用于微弹簧的结构优化设计以简化设计过程。纳米压痕法的测试结果表明,微弹簧样品的弹性系数约为0.554N/m,满足设计要求。该微弹簧具有体积小、结构简单、加工容易实现等特点,其成功研制为实现低gn值微惯性开关的工程实用化奠定了基础。 展开更多
关键词 平面微弹簧 低刚度微弹簧 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 微机电系统
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平面S型与平面W型MEMS弹簧性能比较研究 被引量:10
8
作者 何光 石庚辰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期288-291,共4页
S型与W型是平面MEMS弹簧中两种典型的结构形式,各自结构特点导致了它们具有不同的力学性能。通过理论分析、仿真计算和实验验证方法对平面镍质S型与平面W型MEMS弹簧性能进行了比较研究,得出了在同样的外廓尺寸及相同的线宽、厚度和梁间... S型与W型是平面MEMS弹簧中两种典型的结构形式,各自结构特点导致了它们具有不同的力学性能。通过理论分析、仿真计算和实验验证方法对平面镍质S型与平面W型MEMS弹簧性能进行了比较研究,得出了在同样的外廓尺寸及相同的线宽、厚度和梁间距情况下,平面S型微弹簧的刚度大于平面W型微弹簧的刚度的结论,为MEMS弹簧的进一步优化设计提供理论参考。 展开更多
关键词 微机电系统 平面弹簧 刚度系数 有限元方法
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MEMS用平面弹簧结构形状与刚度关系的研究 被引量:7
9
作者 郑利兵 石庚辰 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期162-165,共4页
平面微型弹簧是微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中一种常用的弹性元件。在平面微型弹簧的设计与应用中,弹簧的刚度系数是其一个非常重要的参数。弹簧的刚度系数是由弹簧的形状、结构、尺寸和弹簧的材料确定的。利用... 平面微型弹簧是微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中一种常用的弹性元件。在平面微型弹簧的设计与应用中,弹簧的刚度系数是其一个非常重要的参数。弹簧的刚度系数是由弹簧的形状、结构、尺寸和弹簧的材料确定的。利用材料力学的能量法,研究平面微型弹簧基本结构、形状和其刚度系数的关系,为设计平面微型弹簧提供理论指导。 展开更多
关键词 微机电系统 平面微型弹簧 结构形状 刚度系数
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空间弯管的回弹预测 被引量:19
10
作者 张深 吴建军 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期953-960,共8页
管材弯曲卸载后将不可避免地产生一定回弹,严重影响弯管生产的精度与效率,因此回弹成为管材弯曲的重点研究对象。对空间非平面弯管回弹进行研究,将空间回弹问题转化为两个相互垂直平面上的回弹问题,通过纯弯曲回弹实验,建立弯管平面弯... 管材弯曲卸载后将不可避免地产生一定回弹,严重影响弯管生产的精度与效率,因此回弹成为管材弯曲的重点研究对象。对空间非平面弯管回弹进行研究,将空间回弹问题转化为两个相互垂直平面上的回弹问题,通过纯弯曲回弹实验,建立弯管平面弯曲回弹前后半径之间的函数关系式,然后将两个平面上的回弹合并,对离散化的回弹弯管进行空间拼接,进而完成空间弯管成形过程的回弹预测,并进行了试验验证。结果表明该方法能够有效地预测管件弯曲回弹,以便修改模具型面,补偿回弹误差,保证弯管的几何精度。 展开更多
关键词 管材弯曲 空间弯管 回弹 弯曲模 预测
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平面S型微弹簧多轴向弹性系数分析 被引量:3
11
作者 程建建 聂伟荣 +1 位作者 周织建 黄庆武 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第4期4-6,共3页
针对在集中力作用下S型弹簧弹性系数理论公式不完善以及惯性力环境下弹簧弹性系数理论公式缺乏,推导了弹簧横向、纵向以及垂直方向弹性系数理论公式。利用仿真软件验证理论计算公式的正确性,分析得到在集中力作用下弹簧的弹性系数理论... 针对在集中力作用下S型弹簧弹性系数理论公式不完善以及惯性力环境下弹簧弹性系数理论公式缺乏,推导了弹簧横向、纵向以及垂直方向弹性系数理论公式。利用仿真软件验证理论计算公式的正确性,分析得到在集中力作用下弹簧的弹性系数理论值与仿真值相对误差小于0.3%,惯性力作用下的弹簧弹性系数理论值与仿真值相对误差小于2%。分析表明,弹簧横向弹性系数随着环境力的增大而减小;在纵向惯性力作用下,与锚点相连弹簧U单元弹性系数最小以及最大正应力最大;在垂直方向惯性力作用下,弹簧垂直方向弹性系数随质量块体积增大而减小。 展开更多
关键词 微惯性器件 平面微弹簧 多轴向弹性系数 惯性力 集中力
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MEMS平面W型弹簧变形特性研究 被引量:4
12
作者 齐杏林 刘加凯 单宁 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期772-776,共5页
平面W型弹簧是一种典型的MEMS(micro-electro-mechanical system,MEMS)器件,目前主要是利用线弹性力学理论研究其弹性系数,而缺少对其弹塑性变形特性的研究。根据弹塑性力学理论,建立了W型平面弹簧的弹塑性分析模型,利用Ansys软件对其... 平面W型弹簧是一种典型的MEMS(micro-electro-mechanical system,MEMS)器件,目前主要是利用线弹性力学理论研究其弹性系数,而缺少对其弹塑性变形特性的研究。根据弹塑性力学理论,建立了W型平面弹簧的弹塑性分析模型,利用Ansys软件对其变形特性进行了仿真研究,得到了微弹簧在弹性变形条件下的最大拉力、弹性系数和弹性位移范围,并对镍基W型弹簧开展了拉伸实验,实验结果与仿真结果的误差在8%以内,验证了仿真结果的正确性。此外还对W型弹簧的结构参数对其变形特性的影响进行了研究,得到了微弹簧的最大弹性拉力、弹性系数和最大弹性位移量与弹簧线宽、厚度和半夹角等结构参数的关系,为合理设计W型弹簧的结构提供了依据。 展开更多
关键词 MEMS 平面W型弹簧 弹塑性变形 结构参数
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低g值微惯性开关中阿基米德平面螺旋梁的设计 被引量:1
13
作者 张凤田 熊壮 +1 位作者 金伟锋 唐彬 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期39-43,共5页
针对低g值微惯性开关对微弹簧的系统刚度达到(0.1~10)N/m数量级的要求,设计了一种阿基米德平面螺旋梁结构的微惯性开关。根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导了阿基米德平面螺旋梁的弹性系数计算公式,并与ANSYS有限元仿真分析结... 针对低g值微惯性开关对微弹簧的系统刚度达到(0.1~10)N/m数量级的要求,设计了一种阿基米德平面螺旋梁结构的微惯性开关。根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导了阿基米德平面螺旋梁的弹性系数计算公式,并与ANSYS有限元仿真分析结果进行了对比。基于推导的弹性系数计算公式设计了一种三根阿基米德平面螺旋梁支撑的动作阈值5.5gn的微惯性开关,并采用SOI硅片以及玻璃-硅-玻璃键合技术进行了加工,在离心转台上对开关实际动作阈值进行测试,并将测试值与设计值进行对比。结果表明,采用推导到的阿基米德平面螺旋梁弹性系数计算公式计算结果与ANSYS仿真结果相近,基于推导的弹性系数计算公式设计的三根阿基米德平面螺旋梁支撑的微惯性开关动作阈值设计值与实测值相近,单根阿基米德平面螺旋梁弹性系数约0.8 N/m,能够满足低g值微惯性开关低刚度的要求,推导的弹性系数计算公式能够用于基于阿基米德平面螺旋梁的低g值微惯性开关的设计。 展开更多
关键词 微惯性开关 阿基米德 卡氏定理 平面螺旋梁 微弹簧
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基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作 被引量:6
14
作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期653-657,共5页
惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用A... 惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn^30gn)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7 mm×7 mm×1.5 mm。经离心实验测试,微惯性开关的闭合阈值约为4.28gn,导通电阻约为9.3Ω。多次测试结果表明,微惯性开关具有0.5gn的闭合精度,多次测试重复性较好,具有体积小,结构简单,加工容易实现等特点。 展开更多
关键词 平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统(MEMS)
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MEMS平面微弹簧刚度分析 被引量:12
15
作者 李华 石庚辰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第2期237-239,共3页
对一种UV-LIGA工艺制备的封闭环“B型”微机电系统(MEMS)平面微弹簧建立了力学分析模型,运用能量法的卡氏第二定理,推导出了其在线性范围内的弹性常数计算公式。运用类似方法,推导出了开口“S型”MEMS平面微弹簧在线性范围内的弹性常数... 对一种UV-LIGA工艺制备的封闭环“B型”微机电系统(MEMS)平面微弹簧建立了力学分析模型,运用能量法的卡氏第二定理,推导出了其在线性范围内的弹性常数计算公式。运用类似方法,推导出了开口“S型”MEMS平面微弹簧在线性范围内的弹性常数计算公式。在相同尺寸和材料特性条件下,对这两种平面微弹簧的刚度进行了对比研究,结果表明,闭环结构比开口结构的微弹簧刚度大。从力学的角度分析了其原因。对这两种平面微弹簧进行了力学拉伸实验,实验结果与公式计算结果相吻合。 展开更多
关键词 MEMS 平面微弹簧 卡氏第二定理 弹性常数
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MEMS永磁振动发电机的设计、制作和测试 被引量:1
16
作者 王佩红 赵小林 +1 位作者 戴旭涵 汪忠柱 《信息与电子工程》 2011年第1期96-100,共5页
提出了一种基于微电子机械系统技术的微型永磁振动发电机。该发电机能够采集自然界中存在的机械振动能并转换成电能。它主要包括1个固定的双层铜线圈和1个由永磁体和硅基平面弹簧构成的拾振系统。采用体硅微加工和微电镀技术制作硅基平... 提出了一种基于微电子机械系统技术的微型永磁振动发电机。该发电机能够采集自然界中存在的机械振动能并转换成电能。它主要包括1个固定的双层铜线圈和1个由永磁体和硅基平面弹簧构成的拾振系统。采用体硅微加工和微电镀技术制作硅基平面弹簧和微线圈。组装成功的样机A和样机B的区别在于线圈的尺寸不同。样机B中线圈面积为样机A中线圈面积的28%。测试表明,样机A和B的固有频率分别为222 Hz和247 Hz。在加速度为1 g的振动激励下,样机A在共振状态下产生的最大感应电压和最大负载功率分别为51 mV和5.89μW。但是,在相同的振动激励下,样机B产生的最大感应电压和最大负载功率分别为62 mV和6.4μW,相对于样机A,分别提高了21.6%和8.7%。文中最后对线圈尺寸不同引起的输出性能不同给予了解释。 展开更多
关键词 微机电系统 振动发电机 永磁 微加工技术 铜线圈 镍弹簧
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低g值微惯性开关单向敏感性设计与分析 被引量:1
17
作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期79-83,共5页
选用典型的"弹簧-质量"系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影... 选用典型的"弹簧-质量"系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影响较小。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备。经离心试验测试,微惯性开关的闭合阈值约为12.26g,具有约±0.2g的闭合精度。当横向惯性加速度小于15g时,对其闭合阈值的影响小于0.5g。测试结果表明,微惯性开关具有较好的单向敏感性,多次测试重复性好,具有体积小、结构简单、加工容易实现、环境适应性好等特点。 展开更多
关键词 单向敏感性 平面矩形螺旋梁 低g值微惯性开关 微机电系统
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一种自动卷线机构的设计 被引量:2
18
作者 乐爱兵 黄琳 颜巧燕 《机电产品开发与创新》 2014年第4期29-31,共3页
针对部分探测设备预留较长的线缆造成操作不便的问题,设计一种基于平面涡卷弹簧的自动卷线机构。阐述了自动卷线机构的原理,并对其进行理论分析和涡卷弹簧的设计计算。通过实际应用表明,自动卷线机构结构紧凑,占用空间小,重量轻,安装方... 针对部分探测设备预留较长的线缆造成操作不便的问题,设计一种基于平面涡卷弹簧的自动卷线机构。阐述了自动卷线机构的原理,并对其进行理论分析和涡卷弹簧的设计计算。通过实际应用表明,自动卷线机构结构紧凑,占用空间小,重量轻,安装方便,卷线顺畅,较好地解决了某些探测设备线缆外露过长和走线凌乱的问题。对于其它有卷线需求的设备,它同样有着较高的参考价值。 展开更多
关键词 探测设备 自动卷线机构 平面涡卷弹簧
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基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关的研制 被引量:1
19
作者 王超 陈光焱 吴嘉丽 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期679-686,共8页
以弹性材料单晶硅为结构材料,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1 g~30 g)微惯性开关.根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了惯性开关闭合阈值的计算公式,其计数结果与ANSYS有限元分析结果的相对误差小于3%.为提高低g... 以弹性材料单晶硅为结构材料,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1 g~30 g)微惯性开关.根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了惯性开关闭合阈值的计算公式,其计数结果与ANSYS有限元分析结果的相对误差小于3%.为提高低g值微惯性开关的环境适应能力,提出双触点和低频弹簧-质量的结构设计方案.为提高结构尺寸的加工精度,提出基于双埋层SOI的低g值微惯性开关加工工艺方案.采用KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7mm×7mm×1.3mm.经离心试验测试,微惯性开关的闭合阈值为6.45 g,具有优于±0.5 g的闭合精度.通过随机振动和高温等环境试验后,2只微惯性开关样品闭合阈值的变化量小于0.5 g,表明微惯性开关具有较好的环境适应能力和机械性能. 展开更多
关键词 低g值微惯性开关 平面矩形螺旋梁 卡氏定理 双埋层SOI 微机电系统
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基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法
20
作者 吴健 刘同冈 +1 位作者 刘帅 商金玮 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第5期346-350,共5页
本文提出一种微小载荷测量方法,搭建了基于MEMS平面弹簧的测量装置,主要由支撑臂、MEMS平面弹簧和激光位移探测器组成.通过激光位移探测器测量MEMS平面弹簧的微小变形,换算得到所施加的微小载荷.采用深反应离子刻蚀(DRIE)等微加工工艺... 本文提出一种微小载荷测量方法,搭建了基于MEMS平面弹簧的测量装置,主要由支撑臂、MEMS平面弹簧和激光位移探测器组成.通过激光位移探测器测量MEMS平面弹簧的微小变形,换算得到所施加的微小载荷.采用深反应离子刻蚀(DRIE)等微加工工艺制作了平面微弹簧,并对其进行理论计算和仿真模拟,给出了刚度范围,最后通过实际测量的方式进行了实验标定.结果显示:MEMS平面弹簧的标定刚度为7.88 mN/μm,其结果与理论及仿真结果较接近,测量精度可达0.08 mN.使用该装置和精密电子天平分别对10组微小质量试块进行测量,其平均误差率为5.75%. 展开更多
关键词 MEMS 平面弹簧 微小载荷 刚度标定 测量精度
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