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Chaos in a fractional-order micro-electro-mechanical resonator and its suppression 被引量:3
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作者 Mohammad Pourmahmood Aghababa 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第10期159-167,共9页
The present paper investigates the existence of chaos in a non-autonomous fractional-order micro-electromechanical resonator system(FOMEMRS).Using the maximal Lyapunov exponent criterion,we show that the FOMEMRS exh... The present paper investigates the existence of chaos in a non-autonomous fractional-order micro-electromechanical resonator system(FOMEMRS).Using the maximal Lyapunov exponent criterion,we show that the FOMEMRS exhibits chaos.Strange attractors of the system are plotted to validate its chaotic behavior.Afterward,a novel fractional finite-time controller is introduced to suppress the chaos of the FOMEMRS with model uncertainties and external disturbances in a given finite time.Using the latest version of the fractional Lyapunov theory,the finite time stability and robustness of the proposed scheme are proved.Finally,we present some computer simulations to illustrate the usefulness and applicability of the proposed method. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical resonator chaotic behavior fractional calculus fractional finite-time controller
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Photoacoustic Imaging by Use of Micro-Electro-Mechanical System Scanner 被引量:1
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作者 陈松良 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2018年第1期1-10,共10页
Photoacoustic imaging acquires the absorption contrast of biological tissue with ultrasound resolution. It has been broadly investigated in biomedicine for animal and clinical studies. Recently, a micro-electromechani... Photoacoustic imaging acquires the absorption contrast of biological tissue with ultrasound resolution. It has been broadly investigated in biomedicine for animal and clinical studies. Recently, a micro-electromechanical system(MEMS) scanner has been utilized in photoacoustic imaging systems to enhance their performance and extend the realm of applications. The review provides a recap of recent developments in photoacoustic imaging using MEMS scanner, from instrumentation to applications. The topics include the design of MEMS scanner, its use in photoacoustic microscopy, miniature imaging probes, development of dual-modality systems,as well as cutting-edge bio-imaging studies. 展开更多
关键词 photoacoustic imaging micro-electro-mechanical system(MEMS) photoacoustic microscopy high-speed imaging photoacoustic endoscopy
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A Micro-Electro-Mechanical System-Based Bulk Acoustic Wave Piezoelectric Disk Resonator for Detecting z-axis Rotation Rate
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作者 许仲兴 张卫平 +4 位作者 唐健 张弓 成宇翔 陈文元 关冉 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2015年第3期286-292,共7页
This paper presents a bulk acoustic wave piezoelectric disk resonator based on a special pair of degenerative modes, to detect z-axis angular velocity. A single piezoelectric disk is operated in its appropriate modes ... This paper presents a bulk acoustic wave piezoelectric disk resonator based on a special pair of degenerative modes, to detect z-axis angular velocity. A single piezoelectric disk is operated in its appropriate modes in the k Hz frequency range to achieve this function. This design combines the bulk acoustic wave drive/sense mode with lead zirconate titanate resonator which improves device's performance and simplifies its structural complexity. The operation principle of piezoelectric disk resonator is given and validated by finite element method,and the scale factor of piezoelectric disk resonator is 0.977 μV/[(°) · s-1] without any amplification section.The results of impedance analysis for the prototype in the air, which is fabricated on lead zirconate titanate wafer by Micro-Electro-Mechanical System process, show that the resonant frequency of the piezoelectric disk resonator is about 190 k Hz. Moreover, the measured frequency split between drive and sense mode is about290 Hz without any tuning methods. At last, a closed-loop driving and detecting circuit system is designed and its modulation/demodulation method is studied, preliminary experiments show that this device is not sensitive to acceleration, but is sensitive to angular velocity, its performance parameters need follow-up experiments. 展开更多
关键词 micro-electro-Mechanical System angular velocity bulk acoustic wave piezoelectric resonator mode matching
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微型光学光谱仪及成像光谱仪研究进展
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作者 吕金光 梁静秋 +8 位作者 赵百轩 陈宇鹏 聂海涛 赵莹泽 郑凯丰 王维彪 秦余欣 吴娜 刘钰 《微纳电子技术》 2026年第4期1-21,共21页
光学光谱仪是科学研究与工业过程中广泛使用的分析与表征仪器。尽管实验室台式光谱仪可以提供更宽光谱范围和更高光谱分辨率的光谱分析能力,但微型光学光谱仪对于复杂环境及受限空间的便携式现场原位测量至关重要。自二十一世纪以来,微... 光学光谱仪是科学研究与工业过程中广泛使用的分析与表征仪器。尽管实验室台式光谱仪可以提供更宽光谱范围和更高光谱分辨率的光谱分析能力,但微型光学光谱仪对于复杂环境及受限空间的便携式现场原位测量至关重要。自二十一世纪以来,微型光学光谱仪得到了迅猛的发展,新原理、新技术、新方法、新器件、新工艺及新材料的不断涌现与突破,尤其是微型计算光谱仪的出现,推动了光学光谱仪体积、质量的突破式微缩与性能指标的跨域式提升。并进一步通过微型光谱仪的像素级空间阵列化分布,将光谱与成像功能进行集成,实现系统探测功能维度的提升。 展开更多
关键词 微型光谱仪 微型成像光谱仪 微光机电器件 微光机电系统 微型计算光谱仪
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Fe-C填料作电芬顿阴极体系降解苯酚机理研究
5
作者 王忠华 邹玉龙 +3 位作者 黄云騂 樊一博 周杰 赵海谦 《化工学报》 北大核心 2026年第2期859-868,F0003,共11页
本研究采用Fe-C填料作电芬顿阴极的方式降解废水中的苯酚,利用电芬顿促进Fe-C阴极表面的铁还原,从而改善微电解氧化活性物质生成条件,大幅提高苯酚降解率。Fe-C填料阴极可将电子转移给O_(2)原位生成H_(2)O_(2),同时直流电流可促进微电... 本研究采用Fe-C填料作电芬顿阴极的方式降解废水中的苯酚,利用电芬顿促进Fe-C阴极表面的铁还原,从而改善微电解氧化活性物质生成条件,大幅提高苯酚降解率。Fe-C填料阴极可将电子转移给O_(2)原位生成H_(2)O_(2),同时直流电流可促进微电解反应,增强Fe-C填料中Fe0腐蚀,O_(2)在填料的碳阴极得电子通过·O_(2)^(-)途径生成H_(2)O_(2)。Fe-C阴极还可还原Fe^(3+),维持体系Fe^(2+)浓度稳定。活性物质猝灭结果表明·OH是该体系降解苯酚主要活性物质。Fe-C填料反应前后表征结果表明,Fe-C填料阴极可有效还原表面铁氧化物,减少钝化层形成。Fe-C填料作电芬顿阴极体系苯酚和COD去除率分别为77.26%和69.25%,较单独Fe-C微电解及电芬顿体系大幅提升。此外,Fe-C填料阴极具有电能消耗低和循环稳定性好的优势。 展开更多
关键词 苯酚 微电解 活性物质 Fe-C填料 电芬顿
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冲击载荷下MEMS弹簧的失效分析与评估
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作者 钱康申 曹云 +2 位作者 王佳立 王鹤 席占稳 《西北工业大学学报》 北大核心 2026年第1期169-176,共8页
针对引信用MEMS弹簧高过载环境应用需求,开展了冲击载荷下MEMS弹簧的失效分析与评估。基于Johnson-Cook本构模型,建立了考虑塑性形变的MEMS弹簧动力学仿真模型,获得了弹簧质量块系统的冲击载荷脉宽-幅值失效临界曲线,将载荷区域划分为... 针对引信用MEMS弹簧高过载环境应用需求,开展了冲击载荷下MEMS弹簧的失效分析与评估。基于Johnson-Cook本构模型,建立了考虑塑性形变的MEMS弹簧动力学仿真模型,获得了弹簧质量块系统的冲击载荷脉宽-幅值失效临界曲线,将载荷区域划分为安全载荷与失效载荷区。利用马希特锤冲击系统,对5种不同线宽的MEMS弹簧样机进行了冲击失效测试,得到不同载荷下MEMS弹簧的失效特性,测试结果与仿真结果基本吻合。基于逻辑回归方法,建立了MEMS弹簧失效特性的逻辑回归模型,采用十折交叉验证对该模型进行了评估与分析,该模型的准确率达到0.9,表明该模型能够良好地分析MEMS弹簧的失效特性,为不同冲击环境下MEMS弹簧的失效分析与评估提供参考依据。 展开更多
关键词 微机电系统 MEMS弹簧 失效 有限元分析
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基于智能手机加速度传感器的中小桥梁结构振动频率检测方法
7
作者 刘买得 练强 +2 位作者 袁辉辉 卓卫东 蓝志宇 《振动与冲击》 北大核心 2026年第6期257-267,共11页
为满足数量庞大的中小桥梁群低成本、便捷化的检测需求,开发了一种基于智能手机传感器的桥梁结构振动频率检测方法。首先,调研了市面上常见的几款手机加速度传感器性能参数,并以一座简支板桥为例,探究了手机在不同天气、固定方式、采样... 为满足数量庞大的中小桥梁群低成本、便捷化的检测需求,开发了一种基于智能手机传感器的桥梁结构振动频率检测方法。首先,调研了市面上常见的几款手机加速度传感器性能参数,并以一座简支板桥为例,探究了手机在不同天气、固定方式、采样频率以及采样时长对采集效果的影响;其次,以一座已安装结构健康监测系统的大跨连续刚构桥为例进行验证,并提出了智能时长采集算法。研究结果表明:手机加速度传感器性能参数基本满足结构检测需求;手机自由放置方式和固定方式均可用于数据采集,固定放置相对更稳定;100.000 Hz及以上的采样频率可较为准确地捕捉桥梁振动特征;当外界振动激励显著时,5 min以内的采集时长即可获得高信噪比数据;手机采集数据与监测系统数据分析的各阶频率基本一致,提出的智能时长采集算法在保证检测准确度的基础上可有效缩短检测时间。该方法无需专业检测设备,提供了低成本、易操作的桥梁检测新路径,为桥梁日常巡检提供技术支持。 展开更多
关键词 智能手机 微机电系统传感器 中小桥梁 频率检测 低成本
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残余应力对微膜动力学性能的影响研究
8
作者 吴化勇 刘文平 《机械强度》 北大核心 2026年第1期88-92,共5页
【目的】针对微机电薄膜中的残余应力问题,开展了具有残余应力微膜的动力学性能研究。【方法】首先,建立具有残余应力微薄板的数学模型,研究了残余应力对微膜固有频率和振型的影响规律,讨论了残余应力对板、膜行为特性转变的影响。然后... 【目的】针对微机电薄膜中的残余应力问题,开展了具有残余应力微膜的动力学性能研究。【方法】首先,建立具有残余应力微薄板的数学模型,研究了残余应力对微膜固有频率和振型的影响规律,讨论了残余应力对板、膜行为特性转变的影响。然后,基于最小势能原理研究了具有残余应力微膜的稳定性,提出了防止微膜压曲的措施,分析了微膜在简谐激励下的振动响应。【结果】结果表明,残余应力会引起板、膜行为的转变,残余应力对固有频率影响显著,但对振型的影响较小;通过改变薄膜的结构参数和制备工艺,可有效防止薄膜失稳;残余应力对微膜固有频率和振动位移的影响呈相反的变化趋势。研究结果对微膜结构的微机电系统发展具有重要的参考意义和应用价值。 展开更多
关键词 微膜 残余应力 微机电系统 动力学 稳定性
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Chaos and Nonlinear Feedback Control of the Arch Micro-Electro-Mechanical System 被引量:3
9
作者 LUO Shaohua LI Shaobo TAJADDODIANFAR Farid 《Journal of Systems Science & Complexity》 SCIE EI CSCD 2018年第6期1510-1524,共15页
This paper addresses a nonlinear feedback control problem for the chaotic arch micro- electro-mechanical system with unknown parameters,immeasurable states and partial state-constraint subjected to the distributed ele... This paper addresses a nonlinear feedback control problem for the chaotic arch micro- electro-mechanical system with unknown parameters,immeasurable states and partial state-constraint subjected to the distributed electrostatic actuation.To reflect inherent properties and design controller, the phase diagrams,bifurcation diagram and Poincare section are presented to investigate the nonlinear dynamics.The authors employ a symmetric barrier Lyapunov function to prevent violation of constraint when the arch micro-electro-mechanical system faces some limits.An RBF neural network system integrating with an update law is adopted to estimate unknown function with arbitrarily small error. To eliminate chaotic oscillation,a neuro-adaptive backstepping control scheme fused with an extended state tracking differentiator and an observer is constructed to lower requirements on measured states and precise system model.Besides,introducing an extended state tracking differentiator avoids repeated derivative for the virtual control signal associated with conventional backstepping.Finally,simulation results are presented to illustrate feasibility of the proposed scheme. 展开更多
关键词 ARCH micro-electro-mechanical system CHAOS SUPPRESSION Neuro-adaptive BACKSTEPPING nonlinear FEEDBACK control uncertainty.
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陶瓷基耐高温光纤传感器技术研究进展
10
作者 王舒心 雷梓钊 蒋永刚 《功能材料与器件学报》 2026年第2期22-30,共9页
耐高温传感器技术是保障航空航天、石油化工、金属冶炼等相关领域装备在极端高温、高压、强腐蚀等严苛工况下稳定运行的关键技术,对实现设备状态实时监测、故障预警与性能优化等具有重要作用。碳化硅(silicon carbide, SiC)、蓝宝石等... 耐高温传感器技术是保障航空航天、石油化工、金属冶炼等相关领域装备在极端高温、高压、强腐蚀等严苛工况下稳定运行的关键技术,对实现设备状态实时监测、故障预警与性能优化等具有重要作用。碳化硅(silicon carbide, SiC)、蓝宝石等陶瓷基光纤传感器具有优异的高温力学性能、化学稳定性与抗电磁干扰能力。基于光学传感原理的器件,能够在超高温、强振动等恶劣条件下实现温度、压力、应变等关键参数的稳定、高精度与长期可靠监测,有效弥补了传统电子传感器在极端环境下易失效、精度漂移的不足。本文从耐高温光纤传感器的基本架构、陶瓷敏感结构的微纳加工、封装原理与方法以及光纤端部陶瓷微结构的增材制造等4个方面,深入分析国内外研究进展,并探讨陶瓷基耐高温光纤传感器技术现存的问题及未来发展路径。 展开更多
关键词 光纤传感器 陶瓷材料加工 微机电系统 耐高温
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微纳米三坐标测量机的技术进展 被引量:1
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作者 何亚雄 李瑞君 +2 位作者 黄强先 程真英 范光照 《光学精密工程》 北大核心 2025年第23期3672-3690,共19页
超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinat... 超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine,CMM)的研究进展,从整机结构设计、误差补偿技术、纳米测头研制、测量环境控制及整机应用测试等方面进行了系统性归纳。其次,详细介绍了团队历经四代样机的研究成果与最新进展。进而,阐述了一种基于阿贝与布莱恩原则的空间误差建模与补偿创新方法,在此基础上,实现了对尺度小于100μm且具有高深宽比的内尺寸特征的纳米级精度测量。最后,对微纳米三坐标测量机未来的研究方向与应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 精密测量 微机电系统(MEMS) 三坐标测量机(CMM) 高深宽比结构 纳米探头 阿贝误差 空间误差补偿
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爆炸箔桥区微缺陷对发火能量转换效率的影响机制
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作者 周密 张川 +4 位作者 李蛟 王蒋旭 李明 郭瑶 雷杰 《火工品》 北大核心 2025年第5期70-77,共8页
为量化爆炸箔桥区微缺陷对其发火性能的影响,本文基于COMSOL Multiphysics构建了电热耦合三维有限元模型,系统对比了理想桥箔与含盲孔、通孔缺陷桥箔在0.22μF/1500 V放电回路中的瞬态温升及能量转换规律。结果表明:无缺陷桥箔通电后四... 为量化爆炸箔桥区微缺陷对其发火性能的影响,本文基于COMSOL Multiphysics构建了电热耦合三维有限元模型,系统对比了理想桥箔与含盲孔、通孔缺陷桥箔在0.22μF/1500 V放电回路中的瞬态温升及能量转换规律。结果表明:无缺陷桥箔通电后四角因电流密度集中率先升温,100 ns内桥区中心温度达1400 K,桥区整体均匀熔化;含缺陷桥箔中,盲孔或通孔导致局部电流密度畸变,形成低温电流盲区,未熔金属碎片随射流飞散,能量转换效率显著降低(极端情况下相对降幅>21.7%);缺陷尺寸效应呈现临界尺寸阈值,通孔直径>50μm或盲孔深度>3μm时,临界效应显著。当通孔直径>50μm时,桥区平均温升起点提前3 ns,爆发时间缩短33 ns;盲孔深度>3μm时,电流盲区范围扩大,能量转换效率相对降幅大于8%。本研究首次建立了爆炸箔微缺陷容限的定量判据,为高可靠性火工品制造工艺优化提供理论支撑。 展开更多
关键词 爆炸箔 微缺陷 电热耦合 有限元法 能量转换效率
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双向高过载硅基差压敏感元件的研制
13
作者 杜立群 李奥奇 +3 位作者 李蒙 杨晓臣 孟祥悦 邱汇烽 《光学精密工程》 北大核心 2025年第2期209-219,共11页
为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅... 为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅膜结构和玻璃基底的方形凹槽形成的错位结构进一步降低了最大应力。首先,通过有限元软件分析了双向高过载硅基差压敏感元件的应力分布、敏感元件的满量程输出及最大应力。其次,分析了结构尺寸与爆破压力的关系,采用尺寸优化求解出最大爆破压力下的结构尺寸。最后,通过MEMS硅工艺制作了具有双向高过载的硅基差压敏感元件。压力测试结果表明:制得的双向高过载硅基差压敏感元件的爆破压力为8.5倍量程,与传统C型膜结构差压敏感元件(爆破压力6.5倍量程)相比,过载能力提高了30.7%。实验结果证明梁-群岛错位膜结构可以有效提高差压敏感元件的双向过载能力。 展开更多
关键词 MEMS 差压敏感元件 有限元 尺寸优化 过载能力
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基于BOA‑VMD‑SVD的MEMS陀螺仪信号降噪方法研究
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作者 马星河 闫崇威 《武汉大学学报(工学版)》 北大核心 2025年第7期1130-1138,共9页
针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计输出信号中随机噪声较大的问题,提出一种基于蝴蝶优化算法(butterfly optimization algorithm,BOA)的变分模态分解(variational mode decomposition,VMD)联合奇异值分解(s... 针对微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计输出信号中随机噪声较大的问题,提出一种基于蝴蝶优化算法(butterfly optimization algorithm,BOA)的变分模态分解(variational mode decomposition,VMD)联合奇异值分解(singular value decomposition,SVD)的随机噪声降噪方法。首先应用BOA-VMD算法将加速度计信号分解为K个最优的IMF(intrinsic mode function)分量;其次计算分解后的各IMF分量的排列熵值,并将其划分为加速度计信号主导的IMF分量、噪声主导的IMF分量以及噪声信号3种类型;再对噪声主导的IMF分量进行SVD分解降噪,舍弃噪声分量;最后将加速度计信号主导分量与降噪后的噪声主导分量进行重构,得到最终信号。仿真与实验数据表明:相较于VMD联合小波阈值方法,BOA-VMD-SVD算法的信噪比提高了19.8%,均方根误差下降了44.5%;相较于VMD-SVD算法,BOA-VMD-SVD算法的信噪比提高了15.6%,均方根误差下降了19.5%。这表明所提算法在处理MEMS加速度计信号中的随机噪声时具有更好的去噪效果,进而证明了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 微机电系统 蝴蝶优化算法 奇异值分解 随机噪声 去噪
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微机电系统在电声传感器中的应用研究
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作者 曹美霞 《电声技术》 2025年第9期100-102,共3页
微机电系统在电声传感器领域的应用正逐步扩展,但在实际应用中仍面临封装可靠性、声学性能稳定性、抗干扰能力以及成本控制方面的挑战。为有效提升微机电系统电声传感器的综合性能,深入剖析新材料与新结构的应用、信号处理技术的改进、... 微机电系统在电声传感器领域的应用正逐步扩展,但在实际应用中仍面临封装可靠性、声学性能稳定性、抗干扰能力以及成本控制方面的挑战。为有效提升微机电系统电声传感器的综合性能,深入剖析新材料与新结构的应用、信号处理技术的改进、封装技术的创新以及测试校准方法的优化等关键策略,旨在促进微机电系统电声传感器在消费电子、医疗、工业等领域的进一步应用。 展开更多
关键词 微机电系统 电声传感器 封装技术
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MEMS悬空结构上纳米材料的EHD打印工艺优化研究 被引量:1
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作者 林鑫烨 刘亚东 +3 位作者 姚冠宇 吴昊 唐祯安 余隽 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第1期14-19,共6页
电流体动力学(EHD)打印具有非接触、精度高和材料选择灵活等优点,可应用于MEMS悬空结构上沉积各种纳米材料从而实现传感器微型化。以悬空微热板上打印气敏薄膜为研究对象,采用高速摄像机对EHD打印进行实验观测,结合有限元仿真进行墨水... 电流体动力学(EHD)打印具有非接触、精度高和材料选择灵活等优点,可应用于MEMS悬空结构上沉积各种纳米材料从而实现传感器微型化。以悬空微热板上打印气敏薄膜为研究对象,采用高速摄像机对EHD打印进行实验观测,结合有限元仿真进行墨水受力分析,研究了微滴和锥射流2种稳定的EHD打印模式的形成过程,通过将悬空的MEMS桥式结构纳入EHD打印仿真模型中,分析了MEMS悬空结构对EHD打印效果的影响。根据研究结果优化打印工艺参数,实现了SnO 2纳米气敏材料在微热板阵列上的批量化EHD打印,打印稳定性好,纳米材料分布均匀。 展开更多
关键词 电流体动力学打印 纳米材料 微机电系统 悬空结构 有限元仿真
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一种高品质因子模态局域化MEMS电场传感器 被引量:1
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作者 王贵杰 储昭志 +5 位作者 杨鹏飞 冉莉芳 彭春荣 李建华 张波 闻小龙 《电子与信息学报》 北大核心 2025年第6期2015-2022,共8页
高性能微机电系统电场传感器是大气电场及非接触电压测量的核心部件,模态局域化效应可显著提升传感器的分辨力等性能,是电场传感器的重要发展方向。然而,基于弱耦合的谐振系统在品质因子较低时会出现模态混叠现象,难以读取有效振幅信息... 高性能微机电系统电场传感器是大气电场及非接触电压测量的核心部件,模态局域化效应可显著提升传感器的分辨力等性能,是电场传感器的重要发展方向。然而,基于弱耦合的谐振系统在品质因子较低时会出现模态混叠现象,难以读取有效振幅信息。该文提出一种高品质因子的新型模态局域化MEMS电场传感结构,采用双端音叉设计和T形系绳固定锚点的结构以减少能量损耗,实现了高品质因子和高分辨力,有效避免了模态混叠现象。对该结构进行了理论分析和数值模拟,制备了传感器原理样机,在10-3Pa气压下对传感器进行了性能测试。测试结果表明,在0~90 kV/m电场强度范围内,电场传感器分辨力达32(V/m)/√Hz,品质因子达42423。 展开更多
关键词 模态局域化 微机电系统 电场传感器 高品质因子 T形系绳 双端音叉
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卡尔曼滤波参数自适应寻优算法研究 被引量:2
18
作者 徐郁盛 李虎 +2 位作者 姜旭 郭子龙 王伟 《自动化仪表》 2025年第8期52-57,共6页
无驱动微机电系统(MEMS)陀螺仪姿态解算时,受工作环境噪声影响,难以准确评估系统噪声和测量噪声的统计特性,导致滤波效果差。为此,设计了一种可以在复杂系统环境中应用的卡尔曼滤波参数自适应寻优算法。依据陀螺仪姿态解算对滤波算法实... 无驱动微机电系统(MEMS)陀螺仪姿态解算时,受工作环境噪声影响,难以准确评估系统噪声和测量噪声的统计特性,导致滤波效果差。为此,设计了一种可以在复杂系统环境中应用的卡尔曼滤波参数自适应寻优算法。依据陀螺仪姿态解算对滤波算法实时性和曲线平滑度的需求,采用滤波实时性和曲线曲率作为评价函数,并使用逼近迭代方法获取最优的系统噪声和测量噪声。通过数学仿真和半实物仿真试验证明了该算法的优越性。该算法实现了卡尔曼滤波器关键参数的自主获取,提升了滤波的实时性以及滤波曲线的平滑度。 展开更多
关键词 卡尔曼滤波器 微机电系统 曲率 自适应 平滑度 实时性
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用于矢量水听器的应力集中MEMS敏感单元仿真研究 被引量:1
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作者 肖邦 赵荣荣 殷忆昕 《声学技术》 北大核心 2025年第2期302-308,共7页
敏感单元作为同振式矢量水听器的核心元件,其小型化将有助于水听器整体体积和质量的减小。采用微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,MEMS)结构是实现敏感单元小型化的有效途径。文章针对一种应力集中的MEMS敏感单元进行仿真研究... 敏感单元作为同振式矢量水听器的核心元件,其小型化将有助于水听器整体体积和质量的减小。采用微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,MEMS)结构是实现敏感单元小型化的有效途径。文章针对一种应力集中的MEMS敏感单元进行仿真研究。在质量块-梯形悬臂梁结构基础上,将单梯形悬臂梁改进为双梯形悬臂梁。同时,在悬臂梁近固定端处厚度方向刻蚀凹槽,进一步提高梁上压电层的局部应力。通过有限元仿真,对比三种不同结构敏感单元对应矢量水听器模型的灵敏度频域响应性能,并从梁上应力分布角度对性能差异进行分析。研究发现,相较于单梯形梁,双梯形悬臂梁结构水听器灵敏度提升7.7 dB。此外,增加悬臂梁厚度且在悬臂梁根部刻蚀凹槽,使得对应水听器灵敏度和带宽均得到改善。悬臂梁厚度为80μm、根部凹槽深度为40μm、宽度为100μm的双梯形悬臂梁对应矢量水听器的谐振频率为1496.8 Hz,在频率为630 Hz、参考值为1 V·(μPa)-1时,灵敏度为-210.8 dB。 展开更多
关键词 矢量水听器 敏感单元 悬臂梁 应力集中 仿真分析 微机电系统
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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究 被引量:1
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作者 张鹏程 汪洋 +7 位作者 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期120-130,共11页
MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。 展开更多
关键词 压电微镜 微机电系统技术 激光跟踪瞄准 扩角镜头 伽利略光路
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