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基于内置MEMS传感器的单元火工品原位压力监测方法
1
作者 陈絮 吴瑞德 +4 位作者 杨莉 郭晓荣 陈小松 丁茂元 张欣 《火工品》 北大核心 2026年第1期8-13,共6页
为破解单元火工品全寿命周期“不可检、不可修”导致的可靠性评价盲区,本文提出一种“零接口改动”的内置MEMS原位监测技术。以双桥四针电起爆器为载体,在电极塞对称双凹槽内同步贴装SOI压阻压力微传感器与半导体桥发火芯片。标定结果显... 为破解单元火工品全寿命周期“不可检、不可修”导致的可靠性评价盲区,本文提出一种“零接口改动”的内置MEMS原位监测技术。以双桥四针电起爆器为载体,在电极塞对称双凹槽内同步贴装SOI压阻压力微传感器与半导体桥发火芯片。标定结果显示:0~5 MPa范围内传感器平均灵敏度1.636 mV·MPa^(-1),线性度R2≥0.999;1A安全电流下首次捕捉到1.3 MPa热-固体膨胀瞬态峰,揭示桥-药剂界面约束应力机制;5A发火状态下微传感器测得21.7MPa,较侧壁标准传感器高6 MPa,响应滞后<0.3 ms。该方案将传统“桥丝电阻”间接判据升级为“温度-压力”直接物理量,具备通用接口、可扩展、可批量制造等优势,为火工品健康监测与数据驱动设计提供了通用、便携的新途径。 展开更多
关键词 单元火工品 原位监测 memS微传感器 热-固体膨胀 压力监测
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单片集成三轴石英MEMS陀螺敏感芯片设计与仿真
2
作者 李贵龙 白顺风 +7 位作者 胡爽 谢佳维 张挺 林丙涛 曾庆海 王枥 赵建华 王博 《压电与声光》 北大核心 2026年第1期120-129,共10页
目前国内分立式的单轴石英微机械(MEMS)陀螺技术已相对成熟且已推广至工程应用,为进一步满足市场对惯导系统小型化与集成化的要求,提出了一种新型的单片集成三轴石英MEMS陀螺敏感芯片设计方案及仿真分析方法。通过有限元仿真分析(FEM)... 目前国内分立式的单轴石英微机械(MEMS)陀螺技术已相对成熟且已推广至工程应用,为进一步满足市场对惯导系统小型化与集成化的要求,提出了一种新型的单片集成三轴石英MEMS陀螺敏感芯片设计方案及仿真分析方法。通过有限元仿真分析(FEM)验证了该单片集成三轴石英MEMS陀螺具备显著的陀螺效应。此外,通过仿真验证了该陀螺可满足大多数工程应用场景的力学环境适应性需求。本文提出的单片集成三轴石英MEMS陀螺在品质因数(Q)值、机械灵敏度等关键指标方面均与传统单轴石英MEMS陀螺接近,相比于由传统分立式单轴MEMS陀螺装配组合而成的三轴陀螺组合,该产品体积缩小了88.4%,具备较高的工程化应用潜力和价值。 展开更多
关键词 石英memS陀螺 单片集成 敏感芯片 结构设计 仿真分析
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新型微杠杆增强MEMS加速度计的设计与制作
3
作者 耿志鹏 苗斌 +3 位作者 冯昌坤 陶金燕 李淑娴 李加东 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第1期106-110,共5页
为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,... 为提升MEMS加速度计的灵敏度,提出并设计了一种新型微杠杆增强MEMS加速度计。利用有限元分析工具对有、无微杠杆结构的双摆式加速度计进行了仿真计算。结果显示增加杠杆结构后扭转梁的等效应力集中只有无杠杆结构时等效应力水平的47%,并且检验质量块位移为无杠杆结构时的3.5倍。进一步对杠杆结构辅助双摆式加速度计进行了工艺路线设计和制作,并将敏感结构与信号检测电路进行了集成。测试结果表明:新型加速度计的灵敏度达到179.13 mV/g,通过零偏稳定性计算,Allan方差为2.15 mg/h。研究结果可以为MEMS加速度计提升灵敏度的研究提供参考。 展开更多
关键词 memS加速度计 微杠杆 灵敏度 零偏稳定性
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MEMS磁通门传感器有限元仿真方法
4
作者 马朝祥 吕阳 +2 位作者 陆玲霞 于淼 朱格民 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期48-54,共7页
针对MEMS场景下磁通门仿真建模过于简化的问题,提出考虑各向异性磁芯耦合特性的系统性仿真方法。通过采用非线性Jiles-Atherton(J-A)模型和基于张量能量运算的磁滞回线建模方法,得到耦合了磁材料复杂特性的磁芯模型。并探究不同参数对... 针对MEMS场景下磁通门仿真建模过于简化的问题,提出考虑各向异性磁芯耦合特性的系统性仿真方法。通过采用非线性Jiles-Atherton(J-A)模型和基于张量能量运算的磁滞回线建模方法,得到耦合了磁材料复杂特性的磁芯模型。并探究不同参数对传感器性能的影响。结果显示:该仿真方法可有效反映各向异性磁芯材料对磁通门工作特性的影响,验证了激励电流、磁芯厚度和线圈截面积与传感器性能的关系,可为MEMS场景下的磁通门传感器有限元仿真研究及实物制作提供有效参考。 展开更多
关键词 磁通门 有限元仿真 memS Jiles-Atherton模型
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富氧空位Pt/ZnO基MEMS芯片制备及乙醇传感性能研究
5
作者 杨佳璇 严勇 +2 位作者 梁梅华 李志礼 黄垒 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第3期31-35,共5页
以氧化锌(ZnO)为基材,采用浸渍—光沉积方法制备了富氧空位且铂(Pt)纳米颗粒高度分散的Pt/ZnO复合材料,以此为基础,制备了MEMS乙醇气体传感器。结果表明:Pt的负载显著提高了ZnO/MEMS传感器的灵敏度。220℃下,1.0%Pt/ZnO对体积分数为20&#... 以氧化锌(ZnO)为基材,采用浸渍—光沉积方法制备了富氧空位且铂(Pt)纳米颗粒高度分散的Pt/ZnO复合材料,以此为基础,制备了MEMS乙醇气体传感器。结果表明:Pt的负载显著提高了ZnO/MEMS传感器的灵敏度。220℃下,1.0%Pt/ZnO对体积分数为20×10^(-6)的乙醇气体的响应时间仅为1.6 s,响应值可达到21.4,是未负载Pt纳米颗粒的ZnO传感器的15倍。同时,Pt的负载使传感器的最佳工作温度降低了60℃,从而降低了传感器的功耗。此外,该1.0%Pt/ZnO传感器对乙醇具有良好的选择性与稳定性,对不同体积分数的乙醇气体表现出良好的线性响应关系。 展开更多
关键词 memS气体传感器 铂纳米颗粒 光沉积 氧化锌
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基于MEMS矢量水听器的双基地水下探测系统
6
作者 尹晨阳 张国军 +2 位作者 耿亚囡 王梦凡 耿立婷 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第3期89-94,共6页
提出了一种基于MEMS矢量水听器和微型爆炸声源结合的双基地水下探测系统。与传统双基地配置系统不同,该系统由接收标和声源标组成,采取收发分置的布放方式,以微型爆炸声源代替传统声呐,解决传统声呐声源级低,探测距离受限等问题。声源... 提出了一种基于MEMS矢量水听器和微型爆炸声源结合的双基地水下探测系统。与传统双基地配置系统不同,该系统由接收标和声源标组成,采取收发分置的布放方式,以微型爆炸声源代替传统声呐,解决传统声呐声源级低,探测距离受限等问题。声源标通过无线远程引爆爆炸声源,接收标对爆炸声信号进行采集存储,并通过无线模块将采集数据实时回传至上位机。除此之外,为方便数据的长期保存与读取,声源标、接收标分别将采集数据信息、浮标姿态信息等存储在SD卡中。室内与外场试验表明,该双基地探水下探测系统整体功能完整,微型爆炸声源声源级平均可达220 dB,对目标的定向误差在3°以内。该设计为现有装备体系实现中远程距离探测提供了新的技术手段。 展开更多
关键词 声呐浮标 双基地 主动探测 memS矢量水听器 微型爆炸声源
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基于压电式微机械换能器的MEMS柔性听诊器
7
作者 赵凯敏 张明洋 +1 位作者 王红亮 刘涛 《压电与声光》 北大核心 2026年第1期60-66,共7页
为解决传统听诊器准确性不足,现有电子听诊器普及受限的问题,提出将压电微机械超声换能器(PMUT)应用于心音检测,研制了高集成度、高灵敏度的无线可穿戴电子听诊器。设计六边形振膜蜂窝状PMUT阵列,采用氮化铝钪(ScAlN)材料制备传感器并... 为解决传统听诊器准确性不足,现有电子听诊器普及受限的问题,提出将压电微机械超声换能器(PMUT)应用于心音检测,研制了高集成度、高灵敏度的无线可穿戴电子听诊器。设计六边形振膜蜂窝状PMUT阵列,采用氮化铝钪(ScAlN)材料制备传感器并完成性能表征。硬件端设计前级低噪声信号调理电路及模数转换、主控、电源管理电路,软件端开发数据处理与无线传输程序以及上位机系统。通过柔性声学封装实现器件与体表紧密贴合。实验结果表明,该听诊器能采集高质量心肺音信号,信噪比达到40.9 dB,优于常用3M电子听诊器。该设计充分发挥了ScAlN材料与微机电系统(MEMS)工艺优势,为远程医疗和可穿戴保健提供了新型传感方案,对于数字化听诊技术的发展具有重要意义。 展开更多
关键词 微机电系统(memS) 压电式微机械换能器 可穿戴 听诊器
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引信MEMS安全系统远距离解除保险机构研究现状
8
作者 李志鹏 何博 +1 位作者 冯恒振 娄文忠 《探测与控制学报》 北大核心 2026年第1期31-37,共7页
MEMS安全系统具有微型化、集成化、可大批量生产的优势,是推动未来引信技术发展,实现引信整体效能提升的重要途径。远距离解除保险机构作为MEMS安全系统的核心模块之一,在国内外得到了深入的研究。针对MEMS安全系统远距离解除保险机构... MEMS安全系统具有微型化、集成化、可大批量生产的优势,是推动未来引信技术发展,实现引信整体效能提升的重要途径。远距离解除保险机构作为MEMS安全系统的核心模块之一,在国内外得到了深入的研究。针对MEMS安全系统远距离解除保险机构研究进展,在收集、分析国内外文献资料的基础上,总结了远距离解除保险机构发展现状;按照延期形式,将MEMS安全系统远距离解除保险机构划分并对各自的典型结构进行分析,展望了MEMS安全系统远距离解除保险机构的未来发展趋势。 展开更多
关键词 安全系统 微机电系统 远距离解除保险机构 钟表机构 微小型作动器
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NiO修饰梯度对金红石相TiO2基MEMS氢敏传感器性能的优化研究
9
作者 刘锦涛 鲍钰文 李晓博 《材料科学》 2026年第1期129-136,共8页
针对金红石相TiO2氢敏传感器存在的响应不足及选择性差的问题,本研究通过构建p-n异质结,开发了一种高性能的氢敏材料。采用水热法制备了不同NiO修饰量(1%~8%)的TiO2复合粉末,借助XPS、SEM等表征手段分析其结构形貌,并结合MEMS微热板器... 针对金红石相TiO2氢敏传感器存在的响应不足及选择性差的问题,本研究通过构建p-n异质结,开发了一种高性能的氢敏材料。采用水热法制备了不同NiO修饰量(1%~8%)的TiO2复合粉末,借助XPS、SEM等表征手段分析其结构形貌,并结合MEMS微热板器件测试气敏性能。结果表明,2% NiO修饰样品在391˚C下对1000 ppm氢气的响应值为金红石相TiO2的1.5倍,且对乙醇、CO等干扰气体具有优异选择性。本研究为高性能氢敏传感器的开发提供了有效的材料优化策略。 展开更多
关键词 金红石TiO2 NiO修饰梯度 P-N异质结 氢气传感 memS传感器 气敏机理
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嵌套式双质量MEMS陀螺共模刚度匹配与误差抑制
10
作者 王致远 葛啸 +3 位作者 丁安澜 俞伟 丁徐锴 李宏生 《压电与声光》 北大核心 2026年第1期130-136,共7页
针对嵌套式双质量MEMS陀螺仪共模刚度失配引发的误差耦合问题,本文提出了一种共模平动与正交刚度匹配机制。通过建立四自由度动力学模型,理论揭示了共模平动刚度失配导致的共模-差模运动耦合,以及共模正交刚度失配引起的检测轴残余误差... 针对嵌套式双质量MEMS陀螺仪共模刚度失配引发的误差耦合问题,本文提出了一种共模平动与正交刚度匹配机制。通过建立四自由度动力学模型,理论揭示了共模平动刚度失配导致的共模-差模运动耦合,以及共模正交刚度失配引起的检测轴残余误差的机理。仿真实验表明,共模刚度失配会导致冲击响应下绝对位移差异,以及正交刚度失配使检测轴产生残余正交误差。实验验证显示,刚度匹配后,陀螺零偏与零偏稳定性平均降低23%和27%;动态冲击实验中,共模刚度匹配使哥氏检测通道的冲击响应等效角速度幅值衰减达到99.99%,噪声抑制能力提升80 dB,显著增强了系统抗冲击鲁棒性。研究证实,刚度匹配可有效解耦共模-差模运动,提升陀螺抗冲击性能。这为高精度MEMS陀螺设计提供了理论支持。 展开更多
关键词 嵌套式双质量memS陀螺仪 刚度匹配 共模误差抑制 微机电系统 性能优化
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MEMS传感器在土体位移监测中的应用
11
作者 黄沙路 徐友才 +1 位作者 杨水生 陆莹 《安全与环境学报》 北大核心 2026年第3期1004-1013,共10页
为了验证MEMS传感器在土体位移监测中的应用,采用基于偏置估计及自适应卡尔曼滤波优化的方法,对MEMS加速度信号进行处理。定距试验表明,经处理的位移计算结果较直接积分法更符合实际位移规律。设计室内模型试验,包括水平基坑开挖监测试... 为了验证MEMS传感器在土体位移监测中的应用,采用基于偏置估计及自适应卡尔曼滤波优化的方法,对MEMS加速度信号进行处理。定距试验表明,经处理的位移计算结果较直接积分法更符合实际位移规律。设计室内模型试验,包括水平基坑开挖监测试验与竖向沉降监测试验。在水平试验中设置四个开挖深度,布置MEMS传感器、激光位移计监测位移;竖向试验设置无桩和群桩两种工况,采用万能试验机模拟竖向荷载,布置MEMS传感器、应变式位移传感器监测位移。结果表明,经过处理的MEMS监测的最终位移数据在水平位移试验中与传统位移计的平均相对误差为1.92%,在竖向无桩试验中与试验机的平均相对误差为1.3%,群桩下的监测精度为3.8%。 展开更多
关键词 安全工程 memS传感器 模型试验 位移监测 偏置估计 自适应卡尔曼滤波
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MEMS陀螺仪耦合网络的加速自适应控制
12
作者 申林雪 张生海 魏家沛 《电光与控制》 北大核心 2026年第3期24-31,共8页
针对微机电系统(MEMS)陀螺仪耦合网络内存在的有害高频混沌振荡,提出一种基于二型模糊神经网络(T2FNN)的加速自适应反演控制方案。首先,根据串并联耦合机制建立了具有四个等效质量块的MEMS陀螺仪耦合网络模型;其次,利用相图、时间历程... 针对微机电系统(MEMS)陀螺仪耦合网络内存在的有害高频混沌振荡,提出一种基于二型模糊神经网络(T2FNN)的加速自适应反演控制方案。首先,根据串并联耦合机制建立了具有四个等效质量块的MEMS陀螺仪耦合网络模型;其次,利用相图、时间历程图和李雅普诺夫指数图对该耦合网络系统的动态演化规律进行了揭示;为了有效解决MEMS陀螺仪耦合网络固有的混沌运动,设计了融合速度函数、T2FNN以及双曲正切跟踪微分器(HTTD)的控制方案;最后,大量仿真实验结果验证了控制方案的可行性和有效性。 展开更多
关键词 memS 陀螺仪耦合网络 混沌振荡 二型模糊神经网络 加速自适应控制
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基于KNN薄膜压电MEMS声学传感器仿真方法研究
13
作者 田辰 胡胜 +3 位作者 何强 聂京凯 陈斌杰 尹航 《传感器与微系统》 北大核心 2026年第2期37-41,共5页
为解决传统含铅传感器的环保问题,设计基于铌酸钾钠(KNN)无铅压电薄膜的MEMS声学传感器,采用COMSOL Multiphysics有限元分析法分析并优化其发射性能。研究构建复合压电板与含实际衬底支撑的两种传感器有限元模型,借复合压电板等效模型... 为解决传统含铅传感器的环保问题,设计基于铌酸钾钠(KNN)无铅压电薄膜的MEMS声学传感器,采用COMSOL Multiphysics有限元分析法分析并优化其发射性能。研究构建复合压电板与含实际衬底支撑的两种传感器有限元模型,借复合压电板等效模型优化器件半径、压电层/中性层厚度、上电极板半径等关键几何参数。分析发现,谐振频率与器件半径负相关,与压电层、振动层厚度正相关;当上电极板半径与器件半径比为1..2、KNN层与Si层厚度比为2..1时,器件位移响应最佳。仿真结果显示,优化后传感器发射性能显著提升,适用于超声波发射场景,为无铅压电MEMS声学传感器的制备与性能调控提供可靠数值依据。 展开更多
关键词 压电memS声学传感器 铌酸钾钠 有限元法分析
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基于AR模型的MEMS传感器误差建模及分析
14
作者 程果 《船电技术》 2026年第1期23-28,共6页
基于微机电系统(MEMS)的惯性传感器以其低成本、低能耗、体积小等优势被广泛应用,低成本的惯性传感器使得MEMS/GNSS组合导航系统具有很大的发展空间。相比GNSS,MEMS在面对信号干扰时具有更好的抑制性能,但是,MEMS陀螺仪和加速度计的精... 基于微机电系统(MEMS)的惯性传感器以其低成本、低能耗、体积小等优势被广泛应用,低成本的惯性传感器使得MEMS/GNSS组合导航系统具有很大的发展空间。相比GNSS,MEMS在面对信号干扰时具有更好的抑制性能,但是,MEMS陀螺仪和加速度计的精度常受到陀螺、加速度计测量误差的影响。为了减少测量误差对导航精度造成的影响,提高组合导航的精度,通过建立自回归过程(AR)模型来减小MEMS传感器随机误差,并通过扩展卡尔曼滤波提高MEMS/GNSS组合系统精度,最后利用试验数据验证了理论模型,得到了较好的效果。 展开更多
关键词 组合导航 memS 随机误差 AR模型
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基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法研究
15
作者 薛永霞 曾建华 +5 位作者 高文俊 郭瑞欣 李丹丹 苟建萍 刘美辰 冒文静 《价值工程》 2026年第2期103-105,共3页
本研究聚焦于基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法。深入探究实验系统构成,包括MEMS传感器选型与特性、数据采集硬件与软件设计。详尽阐述数据处理流程,涵盖16进制到十进制转换、归一化处理、多种特征提取方法及其数学原理与物理意义。深... 本研究聚焦于基于MEMS仿生电子鼻的气味识别算法。深入探究实验系统构成,包括MEMS传感器选型与特性、数据采集硬件与软件设计。详尽阐述数据处理流程,涵盖16进制到十进制转换、归一化处理、多种特征提取方法及其数学原理与物理意义。深入剖析SVM模型构建,从原理到核函数选择、参数优化方法,以及训练与测试策略。通过大量实验对空气和香水气味进行识别分析,探讨模型性能影响因素,包括数据采集环境、特征提取与模型参数,并与其他算法对比,提出改进方向与应用前景展望,为气味识别技术发展提供全面理论与实践参考。 展开更多
关键词 memS 气味识别算法 SVM模型 特征提取
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基于MEMS传感器的矿井罐笼姿态监测系统设计
16
作者 王斌 《科技创新与应用》 2026年第6期114-118,共5页
该文介绍一种基于MEMS传感器的煤矿竖井提升机罐笼姿态实时测量系统。该系统通过集成MPU9250惯性测量单元(IMU)、TMS320F28069微控制器、蓝牙5.0通信模块和MATLAB上位机软件,实现罐笼在井下复杂环境中的姿态实时监测。系统设计注重抗干... 该文介绍一种基于MEMS传感器的煤矿竖井提升机罐笼姿态实时测量系统。该系统通过集成MPU9250惯性测量单元(IMU)、TMS320F28069微控制器、蓝牙5.0通信模块和MATLAB上位机软件,实现罐笼在井下复杂环境中的姿态实时监测。系统设计注重抗干扰性能和数据传输的稳定性,能够有效应对井下强振动和电磁干扰等问题。结果表明,该系统能够提供高精度、低延迟的姿态测量数据,为煤矿安全生产提供可靠的技术支持。 展开更多
关键词 煤矿竖井 罐笼姿态测量 memS传感器 TMS320F28069 实时监测
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MEMS陀螺精度保持性的焊装工艺
17
作者 徐静 李航 师兰芳 《电子工艺技术》 2026年第1期20-24,共5页
基于硅微结构和陶瓷载板制造的MEMS陀螺仪作为一种以固态敏感质量微量波动进行载体位姿测量的微型惯性器件,其城堡式焊装结构在工艺上因焊装后支撑结构差异会直接影响陀螺仪零偏稳定性,特别是随低成本和环境工况的应用扩展,不断挤压陀... 基于硅微结构和陶瓷载板制造的MEMS陀螺仪作为一种以固态敏感质量微量波动进行载体位姿测量的微型惯性器件,其城堡式焊装结构在工艺上因焊装后支撑结构差异会直接影响陀螺仪零偏稳定性,特别是随低成本和环境工况的应用扩展,不断挤压陀螺仪精度余量。针对MEMS惯性组合焊装结构随复杂力热环境影响出现焊点疲劳变形以及焊装应力不平衡等因素对陀螺仪精度的有害影响开展分析,结合MEMS-IMU(微机电系统—惯性测量单元)焊装材料和设计结构特点,通过工艺仿真和相关验证给出利于焊装应力控制的精度保持工艺方案。 展开更多
关键词 memS陀螺 LCCC封装 焊接
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MEMS传感器在航空器中的应用综述
18
作者 段建瑞 《微纳电子技术》 2026年第2期41-51,共11页
微机电系统(MEMS)传感器技术正驱动航空电子系统向小型化、智能化与高可靠性方向深刻变革。系统综述了MEMS传感器在航空器中的应用现状、技术原理、挑战及未来趋势。首先梳理了其从辅助参数监测到核心飞控系统集成的技术演进路径;继而... 微机电系统(MEMS)传感器技术正驱动航空电子系统向小型化、智能化与高可靠性方向深刻变革。系统综述了MEMS传感器在航空器中的应用现状、技术原理、挑战及未来趋势。首先梳理了其从辅助参数监测到核心飞控系统集成的技术演进路径;继而详细阐述了加速度计、陀螺仪、压力传感器及惯性测量单元(IMU)等核心器件的工作原理;并重点剖析了其在导航与飞行控制、发动机健康管理、客舱环境控制等关键系统中的具体应用与效能。针对当前应用瓶颈,深入分析了其在测量精度、极端环境适应性及适航认证方面面临的挑战。最后,展望了未来新材料应用、智能化升级、多传感器深度融合及先进封装工艺等主要发展方向,以期为MEMS传感器在航空领域的持续创新与深度应用提供理论参考与实践指引。 展开更多
关键词 微机电系统(memS)传感器 航空器 导航与飞行控制系统 发动机监测与控制 惯性测量单元(IMU)
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煤矿井下MEMS地震仪与常规数字地震仪的对比研究
19
作者 赵朋朋 《科技视界》 2026年第4期45-48,共4页
在煤矿井下地震勘探领域,由于常规数字地震仪受限于体积庞大、抗干扰能力弱等缺陷,其工程应用场景与效果均受到极大地制约。以微机电系统(MEMS)地震仪与YTZ3(B)矿用地震仪为对比对象,系统分析2类地震仪采集信号的波形特征、频谱分布规... 在煤矿井下地震勘探领域,由于常规数字地震仪受限于体积庞大、抗干扰能力弱等缺陷,其工程应用场景与效果均受到极大地制约。以微机电系统(MEMS)地震仪与YTZ3(B)矿用地震仪为对比对象,系统分析2类地震仪采集信号的波形特征、频谱分布规律及信噪比指标。结果表明:MEMS地震仪的频谱高频段能量分布更趋均匀,高频信号捕获与分辨能力表现出显著优势,而且加速度域的平均信噪比相较于动圈检波器提升了5.84dB,这对提升地震勘探数据分辨率及地下地质结构成像精度具有重要作用。此外,MEMS地震仪具备体积小、质量轻、功耗低的特性,可满足煤矿井下狭小作业空间的搬运与安装需求,有效降低了现场施工难度及工程成本投入。综上,MEMS地震仪综合性能优异,应用前景广阔,不仅能显著提升煤矿井下地震信号采集的准确性与可靠性,还可为煤矿地震勘探技术的创新提供支撑。 展开更多
关键词 微机电系统(memS) 地震仪 带宽 信噪比
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基于压阻式MEMS传感器的变频电机振动在线监测
20
作者 吴京昊 池雪祺 《今日制造与升级》 2026年第1期113-115,共3页
在工业自动化中,变频电机运行状态至关重要,其振动监测意义重大,而传统监测方法存在不足。文章基于压阻效应设计压阻式MEMS传感器,选用硼扩散硅、铂金属薄膜和镍铬合金薄膜为材料,设置不同配合比试验组,经清洗硅片、光刻、蚀刻、沉积薄... 在工业自动化中,变频电机运行状态至关重要,其振动监测意义重大,而传统监测方法存在不足。文章基于压阻效应设计压阻式MEMS传感器,选用硼扩散硅、铂金属薄膜和镍铬合金薄膜为材料,设置不同配合比试验组,经清洗硅片、光刻、蚀刻、沉积薄膜等工艺制备传感器,通过振动测试平台模拟电机工况试验。结果表明,试验组3配比的传感器振动加速度测量误差为2.1%±0.2%、频率测量误差为(0.4±0.08)Hz,故障特征频率响应幅值为(61.8±2.5)mV,信噪比为10.13±0.45,性能最优,为变频电机振动在线监测提供可靠方案。 展开更多
关键词 压阻式memS传感器 变频电机 振动在线监测 材料配比
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