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题名大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量
被引量：1
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作者
陈中
丁振良
袁峰
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机构
哈尔滨工业大学惯导测试设备研究中心
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出处
《激光杂志》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第2期26-27,共2页
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文摘
本文研究了大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量方法。指出在长干涉光路中 ,空程误差是一个主要误差因素 ,同时分析了空程误差与环境状况的关系。本文研究中设计了一种真空管 ,有效地克服了空程误差的影响 ,在通常的环境条件下 ,对于大型构件的尺寸微小变化的测量 ,获得了高于 3× 10 -8的相对精度。
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关键词
大型构件
激光干涉测量
真空管
空程误差
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Keywords
large size component,laser interferometric measurement,vacuum pipe,deadpath error
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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题名基于激光回馈效应的全程准共路测量技术
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作者
钟浩男
吴鹏
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机构
贵州大学机械工程学院
贵州大学公共大数据国家重点实验室
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出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2024年第6期144-150,共7页
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基金
贵州省教育厅自然科学项目(黔教合KY字[2021]095)。
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文摘
在精密测量和传感技术领域中,激光回馈技术依靠独特的优势被广泛应用。为减小死程误差对系统的影响,提出基于激光回馈效应的测量方法,构建全程准共路测量系统,分析系统工作原理和光学结构,并对系统的稳定性、分辨率进行实验。实验结果表明,利用全程准共路方法能将系统分辨率提高至2 nm,在不同距离和时间的情况下拥有良好的稳定性,有效抑制环境变化带来的影响,死程误差补偿效果显著,可应用于精密加工机械的位移、振动等测量。
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关键词
激光回馈
死程误差
全程准共路
误差补偿
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Keywords
laser feedback
deadpath error
full quasi-common-path
error compensation
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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