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Monte Carlo method in optical atomic force microscopy
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作者 Ahemd ElMelegy Sarwat Zahwi 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2021年第3期267-271,共5页
Scanning probe microscopy(SPM)is a branch of microscopy that forms images of surfaces using a physical probe that scans the specimen.Atomic force microscopy is one of the SPM family which is considered as a very versa... Scanning probe microscopy(SPM)is a branch of microscopy that forms images of surfaces using a physical probe that scans the specimen.Atomic force microscopy is one of the SPM family which is considered as a very versatile tool for surface imaging and measurements.A wide range of various samples can be measured regardless of being conductive,no-conductive,in vacuum,in air or in a fluid as a unique feature.One of the most challenges in atomic force microscopes(AFMs)is to evaluate the associated uncertainty during the surface measurements by AFMs.Here,an optical AFM is calibrated through the calibration of XYZ stage.The approach is to overcome difficulties experienced when trying to evaluate some uncertainty components which cannot be experimentally determined i.e.tip surface interaction forces and tip geometry.The Monte Carlo method is then used to determine the associated uncertainties due to such factors by randomly drawing the parameters according to their associated tolerances and their probability density functions(PDFs).The whole process follows supplement 2 to“the guide to the expression of the uncertainty in measurement”(GUM).The approach validated in the paper shows that the evaluated uncertainty in AFM is about 10 nm. 展开更多
关键词 MEASUREMENT Monte Carlo method atomic force microscope(AFM) NANOMETROLOGY
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参数自适应的NC-AFM悬臂控制系统设计
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作者 曾德超 姚志飞 +2 位作者 孙秋园 赵波慧 马宗敏 《电子测量技术》 北大核心 2025年第16期12-18,共7页
由于非接触原子力显微镜的成像精度在很大程度上依赖于用于保持悬臂梁恒幅振荡的谐振频率解调与反馈回路的性能。为提升谐振频率的解调和反馈环路的性能,本文设计了一种参数自适应悬臂控制系统,对传统锁相环和幅度比例积分控制器的结构... 由于非接触原子力显微镜的成像精度在很大程度上依赖于用于保持悬臂梁恒幅振荡的谐振频率解调与反馈回路的性能。为提升谐振频率的解调和反馈环路的性能,本文设计了一种参数自适应悬臂控制系统,对传统锁相环和幅度比例积分控制器的结构进行了改进,分别引入最小均方算法和单神经元PID算法,实现了系统关键参数的自适应调节。通过系统测试与实验验证,该方法成功实现了对微悬臂梁的稳定控制,将锁相环的频率锁定时间从41 ms缩短至32μs,频率分辨率提升至0.04 Hz。同时,该系统有效抑制了悬臂梁振荡状态的发生,显著改善了成像实验中的非线性失真现象。最后进行了镀层表面应用测试,有效的测量出镀层厚度为50 nm。 展开更多
关键词 非接触原子力显微镜 参数自适应控制 锁相环 悬臂
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细胞刚度测试的技术与应用
3
作者 薛转转 胡欢 Oleksiy Penkov 《物理学进展》 北大核心 2025年第2期55-70,共16页
细胞刚度的测量在生物学、医学和材料科学等多个领域具有重要意义。为理解细胞的生物力学性质及其功能,本文首先探讨了测量细胞刚度的重要应用领域,包括组织工程、软骨病诊断、癌症诊断以及药物的开发,其次详细介绍了五种主要的测量技术... 细胞刚度的测量在生物学、医学和材料科学等多个领域具有重要意义。为理解细胞的生物力学性质及其功能,本文首先探讨了测量细胞刚度的重要应用领域,包括组织工程、软骨病诊断、癌症诊断以及药物的开发,其次详细介绍了五种主要的测量技术:微柱阵列(MTFM)法、光镊(OT)法、磁镊(MT)法、原子力显微镜(AFM)测量法、生物膜力探针(BFP)测量法,并展望了这五种技术在现实应用中的潜力及挑战。AFM以其纳米级的空间分辨率和皮牛顿级别的力分辨率,已成为细胞力学测量领域中一个强大和独特的工具。因此,本综述重点介绍了AFM技术及其相关计算模型–微球–细胞接触的赫兹模型在此领域的应用及其重要性,并进一步详细阐述了各类现有AFM仪器的种类与特点,以及它们在细胞力学测量中的应用性能。 展开更多
关键词 细胞刚度测量 疾病诊断 微柱阵列法 光镊法 磁镊法 原子力显微镜测量法 生物膜力探针测量法
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Fabrication and Characterization of Au Nanoparticle-aggregated Nanowires by Using Nanomeniscus-induced Colloidal Stacking Method
4
作者 Sangmin An Wonho Jhe 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2015年第1期27-34,共8页
We fabricate and characterize Au nanoparticle-aggregated nanowires by using the nano meniscus-induced colloidal stacking method. The Au nanoparticle solution ejects with guidance of nanopipette/quartz tuning fork-base... We fabricate and characterize Au nanoparticle-aggregated nanowires by using the nano meniscus-induced colloidal stacking method. The Au nanoparticle solution ejects with guidance of nanopipette/quartz tuning fork-based atomic force microscope in ambient conditions, and the stacking particles form Au nanoparticle-aggregated nanowire while the nozzle retracts from the surface. Their mechanical properties with relatively low elastic modulus are in situ investigated by using the same apparatus. 展开更多
关键词 Au nanoparticle-aggregated nanowire Nanomeniscus-induced colloidal stacking method atomic force microscope Liquid–solid coexistence phase
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Film-Forming Properties of Fullerene Derivatives in Electrospray Deposition Method
5
作者 Kazumasa Takeshi Kenji Takagi +2 位作者 Takeshi Fukuda Teiji Chihara Yusuke Tajima 《Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology》 2013年第1期84-88,共5页
Thin films of three types of fullerene derivatives were prepared through the electrospray deposition (ESD) method. The optimized conditions for the fabrication of the thin films were investigated for different types o... Thin films of three types of fullerene derivatives were prepared through the electrospray deposition (ESD) method. The optimized conditions for the fabrication of the thin films were investigated for different types of fullerene derivatives: [6,6]-phenyl-C61-butyric acid methyl ester, [6,6]-phenyl-C71-butyric acid methyl ester, and indene-C60-monoadduct. The spray diameter during the ESD process was observed as a function of the supply rate achieved by changing the applied voltage. In all cases, the spray diameter increased with increasing applied voltage, reaching the maximum diameter (Dmax) in the voltage range 4 to 6 kV. It was clear that Dmax was influenced by the dipole moments of the fullerene derivatives (as calculated by density functional theory methods). Scanning electron microscopy observation of the?fabricated thin films showed that imbricated structures were formed through the stacking of the fullerene-derivative sheets. Atomic force microscopy images revealed that the density of the imbricated structure was dependent on the spray diameter during the ESD process, and the root-mean-square roughness of the film surface decreased with increasing applied voltage. These findings suggest that the ESD method will be effective for the preparation of fullerene-derivative thin films for the production of organic devices. 展开更多
关键词 ELECTROSPRAY Deposition method FULLERENE Derivative Thin FILM Scanning Electron microscope Imbricated Structure atomic force microscope Root-Mean-Square ROUGHNESS
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低浓度聚丙烯酰胺含量的检测及溶液离子的影响 被引量:3
6
作者 饶博 邹文杰 +1 位作者 赵伟 余可馨 《工程科学学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期1012-1023,共12页
处理后选矿废水中残余的聚丙烯酰胺(PAM)影响回水水质及其回用,本文为建立一种低检出限的低浓度PAM快速检测方法,在190~300 nm波长范围内建立了4种类型及分子量不同PAM的紫外吸收光谱,研究了不同浓度K^(+)和Ca^(2+)对PAM浓度检测的影响... 处理后选矿废水中残余的聚丙烯酰胺(PAM)影响回水水质及其回用,本文为建立一种低检出限的低浓度PAM快速检测方法,在190~300 nm波长范围内建立了4种类型及分子量不同PAM的紫外吸收光谱,研究了不同浓度K^(+)和Ca^(2+)对PAM浓度检测的影响,并通过原子力显微镜(AFM)分析了PAM分子构象的变化.结果表明,4种类型的PAM峰值吸光度均在波长194 nm处测得,PAM浓度与吸光度之间具有强线性关系(R^(2)>0.98),检出限均低于0.1 mg·L^(-1),但PAM类型影响其浓度与吸光度的线性关系.随着K^(+)和Ca^(2+)浓度的增加,PAM溶液吸光度特征峰的强度逐渐降低并降速减缓,最大吸收波长不断红移,分别沉积在二氧化硅和金基底的APAM-3与CPAM-12的表面形貌粗糙度分别随K^(+)和Ca^(2+)浓度的增加而增大,说明PAM分子链在溶液中的构象逐渐变卷曲,使紫外光谱特征吸收峰的峰值降低,10、100 mmol·L^(-1) K^(+)与1、10 mmol·L^(-1) Ca^(2+)对PAM构象变化的影响程度基本相同.本研究实现聚丙烯酰胺的快速定量检测,对开展选矿水处理中聚丙烯酰胺的迁移规律研究具有重要意义. 展开更多
关键词 紫外分光光度法 聚丙烯酰胺 浓度检测 溶液离子 原子力显微镜(AFM)
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Nanoscale imaging with an integrated system combining stimulated emission depletion microscope and atomic force microscope 被引量:11
7
作者 YU JianQiang YUAN JingHe +2 位作者 ZHANG XueJie LIU JianLi FANG XiaoHong 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2013年第33期4045-4050,共6页
We have built an integrated imaging system by combining stimulated emission depletion(STED)microscope and atomic force microscope(AFM).The STED microscope was constructed based on the supercontinuum fiber laser and a ... We have built an integrated imaging system by combining stimulated emission depletion(STED)microscope and atomic force microscope(AFM).The STED microscope was constructed based on the supercontinuum fiber laser and a super lateral resolution of42 nm was achieved.With this integrated imaging system,morphological features,mechanical parameters and fluorescence super resolution imaging were obtained simultaneously for both nanobeads and fixed cell samples.This new integrated imaging system is expected to obtain comprehensive information at the nanoscale for studies in nanobiology and nanomedicine. 展开更多
关键词 原子力显微镜 成像系统 集成系统 受激发射 纳米级 损耗 光纤激光器 横向分辨率
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原子力显微镜及其应用 被引量:27
8
作者 刘小虹 颜肖慈 +1 位作者 罗明道 李伟 《自然杂志》 北大核心 2002年第1期36-40,共5页
本文简要介绍了原子力显微镜的发展史 ,评述了原子力显微镜的工作原理、工作模式及技术 。
关键词 原子力显微镜 针尖 微悬臂 扫描探针显微镜
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一种高精度多功能双用原子力显微镜技术及应用 被引量:5
9
作者 彭光含 杨学恒 +2 位作者 刘济春 李旭 辛洪政 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期179-184,共6页
主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜(STM)的新型高精度多功能双用原子力显微镜(AFM)技术及其应用。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法。该AFM采... 主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜(STM)的新型高精度多功能双用原子力显微镜(AFM)技术及其应用。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法。该AFM采用简单适用的新型微悬臂。并利用STM检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围。该机型集AFM和STM功能为一体,其中STM可以单独使用。该机型检测精度可达:横向0.1 nm,纵向0.01 nm。并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究。 展开更多
关键词 原子力显微镜 镜体 微悬臂 隧道谱
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纳米云纹法实验研究 被引量:10
10
作者 谢惠民 赵兵 +2 位作者 戴福隆 岸本哲 张维 《光学技术》 EI CAS CSCD 2000年第3期192-195,共4页
结合原子力显微镜技术提出了一种新型纳米云纹方法 ,并应用该方法进行纳米范围的变形。实验中选用原子力显微镜显示屏的扫描线做为参考栅 ,云母和高纯定向石墨的晶格结构做为试件。对纳米云纹形成原理及测量方法进行了详尽讨论。运用该... 结合原子力显微镜技术提出了一种新型纳米云纹方法 ,并应用该方法进行纳米范围的变形。实验中选用原子力显微镜显示屏的扫描线做为参考栅 ,云母和高纯定向石墨的晶格结构做为试件。对纳米云纹形成原理及测量方法进行了详尽讨论。运用该方法对强脉冲激光辐照激光照射之后云母试样的剩余变形进行测量研究。成功的实验结果表明这种方法是可行性的 ,可望在纳米力学行为研究中获得广泛应用。 展开更多
关键词 原子力显微镜 云纹法 纳米测量 光栅 剩余变形
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动态AFM悬臂的高阶谐振特性研究及实验 被引量:7
11
作者 黄强先 袁丹 +2 位作者 尤焕杰 赵阳 程真英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2647-2652,共6页
为了提高动态原子力显微镜(AFM)的灵敏度、分辨率、扫描速度等,基于硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出一种利用硅悬臂高阶谐振而进行扫描测量的高阶谐振表面测量方法,并对相应动态AFM悬臂的高阶谐振特性进行了理论和实验研究。分... 为了提高动态原子力显微镜(AFM)的灵敏度、分辨率、扫描速度等,基于硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出一种利用硅悬臂高阶谐振而进行扫描测量的高阶谐振表面测量方法,并对相应动态AFM悬臂的高阶谐振特性进行了理论和实验研究。分析了高阶谐振悬臂的工作原理,给出了悬臂的振动方程和振型函数,从理论上证明了高阶谐振悬臂较其初级谐振模式具有更高灵敏度和更高空间分辨率;由于频率的提高,悬臂的动态测量性能明显改善。基于自制的轻敲式AFM,通过实验证实了高阶谐振现象的存在;实验测得的一阶二阶谐振悬臂的灵敏度,空间分辨率和最小可探测力梯度分别为8 V/μm,17 V/μm;1.33 nm,0.47 nm;1.80×10-7N/m,0.54×10-7N/m,实验结果与理论分析结论一致;通过二阶谐振扫描获得了光栅试样表面轮廓图,证明了该高阶谐振特性研究的正确性及利用高阶谐振特性进行扫描测量的可行性。 展开更多
关键词 硅悬臂 高阶谐振 动态AFM 最小可探测力梯度
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几种测量纳米粒子粒径方法的比较研究 被引量:14
12
作者 顾彩香 李庆柱 +1 位作者 李磊 朱光耀 《机械设计》 CSCD 北大核心 2008年第5期12-14,共3页
以纳米碳酸钙粒子作为测量对象,分别采用X射线衍射法(XRD)、透射电子显微镜法(TEM)及原子力显微镜法(AFM)测量其粒径。结果表明:X射线衍射法测量的纳米粒子粒径可能小于纳米粒子实际平均粒径,透射电子显微镜法和原子力显微镜法测量的纳... 以纳米碳酸钙粒子作为测量对象,分别采用X射线衍射法(XRD)、透射电子显微镜法(TEM)及原子力显微镜法(AFM)测量其粒径。结果表明:X射线衍射法测量的纳米粒子粒径可能小于纳米粒子实际平均粒径,透射电子显微镜法和原子力显微镜法测量的纳米粒子粒径可能大于纳米粒子实际平均粒径。分析探讨了3种方法的应用领域、测量范围、优缺点等。 展开更多
关键词 纳米粒子 X射线衍射法 透射电子显微镜法 原子力显微镜法 粒径
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AFM微悬臂梁探针弹性常数各种标定方法的比较与分析 被引量:5
13
作者 宋云鹏 吴森 +1 位作者 傅星 徐临燕 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1161-1168,共8页
微悬臂梁探针是基于原子力显微镜(AFM)的微纳尺度力学测试中重要的力传感元件,其弹性常数的准确程度直接影响力学测量结果的可靠性。但是,目前已有的众多标定微悬臂梁探针弹性常数的方法都有各自的局限性,且准确性各异,因此需要对各种... 微悬臂梁探针是基于原子力显微镜(AFM)的微纳尺度力学测试中重要的力传感元件,其弹性常数的准确程度直接影响力学测量结果的可靠性。但是,目前已有的众多标定微悬臂梁探针弹性常数的方法都有各自的局限性,且准确性各异,因此需要对各种方法进行对比来选择出最佳方法。选取三种商用悬臂梁探针利用本实验室搭建的基于天平法的可溯源微悬臂梁探针弹性常数标定仪对其法向弹性常数进行标定,之后再将相同悬臂梁用三种常用标定方法(尺寸参数法,Sader法,热噪声法)进行再次标定。对不同方法测量结果进行比较,分析并详细讨论每种方法的优缺点与适用范围。结果表明相比于其他方法,微悬臂梁探针弹性常数标定仪(天平法)可测范围广,精度高,可溯源,可成为精确标定各种悬臂梁探针弹性常数的最佳方法之一。 展开更多
关键词 微悬臂梁 原子力显微镜 法向弹性常数 标定
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具有溯源性的原子力显微镜探针法向弹性常数标定系统 被引量:4
14
作者 宋云鹏 吴森 +1 位作者 耿新宇 傅星 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第4期249-257,共9页
原子力显微镜(AFM)悬臂梁探针的弹性常数在微纳米尺度力学测试中十分重要,其准确程度直接影响力学测量结果的可靠性,故需对其进行精确标定.因天平法的测量结果可溯源,本文在已有天平法的基础上,研制了一套新型标定系统.该系统将AFM测头... 原子力显微镜(AFM)悬臂梁探针的弹性常数在微纳米尺度力学测试中十分重要,其准确程度直接影响力学测量结果的可靠性,故需对其进行精确标定.因天平法的测量结果可溯源,本文在已有天平法的基础上,研制了一套新型标定系统.该系统将AFM测头与超精密电磁天平相结合.微悬臂梁在精密位移台的带动下接触天平并产生弯曲,接触力由天平测得,微悬臂梁的弯曲量由光杠杆检测,并通过反馈系统进行精确控制,最后根据胡克定律计算出弹性常数.利用本系统对4种不同型号商用微悬臂梁探针的法向弹性常数进行了标定,标定结果表明本系统具有良好的测量重复性.通过进行不确定度分析,得到测量结果的相对标准不确定度优于2%. 展开更多
关键词 悬臂梁 原子力显微镜 法向弹性常数 标定
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基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描 被引量:3
15
作者 黄强先 尤焕杰 +2 位作者 袁丹 赵阳 胡小娟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期656-663,共8页
利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM。介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理,从理论上证明了利用... 利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM。介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理,从理论上证明了利用硅悬臂梁高阶谐振特性实现快速扫描的可行性。以自制的AFM为研究对象,分析了影响动态AFM扫描速度的主要因素,对系统各模块的响应时间进行了分析、测试,并通过实验证明了AFM在二阶谐振模态下的稳定时间明显小于一阶谐振模态下的稳定时间。最后,分别用一阶、二阶谐振模态对光栅试样在同一区域的表面形貌进行了扫描测试,测试数据表明:在相同条件下,AFM的扫描速度在二阶谐振模态下约是一阶模态下的3.3倍。理论分析和实验结果证明了利用高阶谐振探针提高AFM扫描速度的可行性和有效性。 展开更多
关键词 原子力显微镜(AFM) 硅悬臂梁 高阶谐振 扫描速度
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原子力显微镜中等容液桥的毛细力分析 被引量:6
16
作者 魏征 陈少勇 +1 位作者 赵爽 孙岩 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2014年第4期364-376,共13页
用表界面热力学方法和力学方法研究了原子力显微镜中等容液桥的毛细力和液桥的断裂能,对这两种方法进行了对比分析.对液桥分析中圆弧近似的适用性进行了讨论,对轻敲模式下的能量耗散进行了分析,指出液桥断裂引起的能量耗散是引起相位变... 用表界面热力学方法和力学方法研究了原子力显微镜中等容液桥的毛细力和液桥的断裂能,对这两种方法进行了对比分析.对液桥分析中圆弧近似的适用性进行了讨论,对轻敲模式下的能量耗散进行了分析,指出液桥断裂引起的能量耗散是引起相位变化的主要因素,另外还指出了接触角滞后效应对毛细力和断裂能的影响.模型分析对原子力显微镜轻敲模式下成像机理的理解以及力曲线测量分析有一定的参考价值. 展开更多
关键词 液桥 毛细力 热力学方法 原子力显微镜 能量耗散 圆弧近似 接触角滞后
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用于减小控制对测量影响的AFM新工作模式 被引量:3
17
作者 王岳宇 赵学增 褚巍 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第6期442-449,共8页
原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)是纳米尺度线宽成像和测量的重要工具.但系统的非线性和控制器参数选择的多样性导致AFM控制的不确定性,影响了AFM测量结果的精确性和重复性.为克服这个缺点,分析了AFM的测量原理和工作模式的... 原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)是纳米尺度线宽成像和测量的重要工具.但系统的非线性和控制器参数选择的多样性导致AFM控制的不确定性,影响了AFM测量结果的精确性和重复性.为克服这个缺点,分析了AFM的测量原理和工作模式的特点,在此基础上提出了一种新的工作模式——补偿模式.在这种工作模式中,结合了扫描器和悬臂梁的位置信息而得到被测试样表面的形貌图像.与恒力接触模式相比,在补偿模式下,AFM能够在高速度下以更好的精确性和重复性进行成像和测量.仿真和实验结果证明了这种新工作模式的可行性和适用性.实验结果说明该工作模式可以提高扫描速度16倍或减小均方根误差到约1/5. 展开更多
关键词 原子力显微镜 补偿模式 扫描器 悬臂梁
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一种消除AFM中悬臂梁横向扭转串扰误差的修正技术 被引量:2
18
作者 赵学增 周法权 +1 位作者 李宁 王飞 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第2期121-126,共6页
串扰效应始终存在于原子力显微镜(AFM)的测量过程中,并影响其测量精度.在对串扰效应的产生机理进行分析,并建立了悬臂梁形变与光斑位置检测器(PSPD)输出信号之间的数学关系的基础上,提出了一种可消除横向扭转串扰影响的修正方法.在该方... 串扰效应始终存在于原子力显微镜(AFM)的测量过程中,并影响其测量精度.在对串扰效应的产生机理进行分析,并建立了悬臂梁形变与光斑位置检测器(PSPD)输出信号之间的数学关系的基础上,提出了一种可消除横向扭转串扰影响的修正方法.在该方法中AFM系统可由输出信号直接获得悬臂梁的实际形变量,进而获得原子间作用力的实际值,并通过保持作用力的恒定对样品进行测量.该方法可有效地将悬臂梁扭转导致的纵向信号的变化从系统测得的纵向信号中剔除出去.仿真结果表明,在恒力接触模式下,串扰效应严重影响测量结果,导致测量误差,且针尖-样品夹角导致的串扰效应比摩擦力导致的串扰效应更严重.为验证本文方法消除串扰效应的效果,在应用该修正方法前后分别对标准梯形样品进行测量.实验对比结果表明,在普通恒力接触模式下的样品表面最大测量误差范围为21.2 nm~32.0 nm;对串扰效应进行修正后,最大测量误差范围降低至5.5 nm~10.2 nm.这表明该方法可有效降低AFM中串扰效应导致的测量误差,提高其测量精度. 展开更多
关键词 串扰效应 原子力显微镜(AFM) 横向扫描 测量误差 悬臂梁
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新型AFM探针的制备及应用 被引量:8
19
作者 温芳 祝生祥 李锐 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第5期398-400,共3页
采用熔拉 -腐蚀复合方法 ,将普通单模石英光纤制成直锥形光纤探针。利用自制工具将探针打弯 ,制成悬臂式光纤探针 ,在AFM上取得了较理想的测试结果。将自制光纤探针和商用硅材料探针获得的两种扫描图像进行了对比 。
关键词 原子力显微镜 悬臂光纤探针 光学偏转法
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计量型原子力测头模型研究及性能分析 被引量:4
20
作者 卢明臻 高思田 +1 位作者 杜华 崔建军 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第1期33-37,共5页
建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说明光斑运动轨迹与规律.以此为基础完成了一个用于纳米计量的原子力测头,测头读数可溯源.测头的重复... 建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说明光斑运动轨迹与规律.以此为基础完成了一个用于纳米计量的原子力测头,测头读数可溯源.测头的重复性通过实验验证,测头信号实验标准差为0.318nm.该测头应用在“2.5维大范围纳米结构测量系统”中,对台阶高度样板进行测量,取得了良好结果. 展开更多
关键词 纳米计量学 原子力显微镜(AFM) 光束偏转法 溯源 台阶高度样板
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