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XeF_2光解离波时空特性研究 被引量:5
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作者 于力 易爱平 +2 位作者 刘晶儒 马连英 张永生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期177-180,共4页
利用分幅相机拍摄了不同实验条件下的 XeF2 光解离波图像,反映了解离波的形成过程,获得了不同XeF2 初始浓度下光解离波半径、解离层厚度、发展速度随时间的变化曲线,分析了光解离波参数的时间、空间特性。结果表明,光解离波在目前实验... 利用分幅相机拍摄了不同实验条件下的 XeF2 光解离波图像,反映了解离波的形成过程,获得了不同XeF2 初始浓度下光解离波半径、解离层厚度、发展速度随时间的变化曲线,分析了光解离波参数的时间、空间特性。结果表明,光解离波在目前实验条件下所达到的最大距离约 3 cm,解离波发展速度最大达 28km/s;XeF2 初始浓度越低解离波半径越大,发展速度越快,解离层厚度越厚。 展开更多
关键词 光解离 光解离波 xef2 初始xef2浓度
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重频XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF_2浓度的监测与控制 被引量:1
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作者 黄超 于力 +5 位作者 马莲英 易爱平 安晓霞 李辉 陈广宇 刘晶儒 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期785-788,共4页
介绍了采用光谱吸收法实时监测重复频率XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF2气体浓度的原理和控制XeF2气体浓度的方法;给出了监测窗中XeF2气体浓度与激光器气室中的XeF2气体浓度之间的关系,获得了在不同主/载气路气流量条件下激光器气室中XeF2气... 介绍了采用光谱吸收法实时监测重复频率XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF2气体浓度的原理和控制XeF2气体浓度的方法;给出了监测窗中XeF2气体浓度与激光器气室中的XeF2气体浓度之间的关系,获得了在不同主/载气路气流量条件下激光器气室中XeF2气体浓度值,通过调节主/载气路的气流量实现了对激光器腔室内XeF2气体浓度的控制,保证了XeF(C-A)蓝绿激光器1 Hz重频运行。 展开更多
关键词 浓度监控 光谱吸收 xef(C-A)蓝绿激光器 xef2
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XeF_2光解离波的空间传输对形成XeF(C—A)激光的影响 被引量:1
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作者 于力 刘晶儒 +3 位作者 马连英 易爱平 黄超 安晓霞 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期78-79,共2页
利用XeF2光解离波图像,测量了现有激光实验条件下的解离波半径及传输速度,解离波厚度为5~8mm,传输速度随泵浦时间的增加而减慢,平均速度约13km/s。选择四种不同的腔轴位置,腔轴距泵浦源表面的距离d分别为10、13、16、20mm,激光... 利用XeF2光解离波图像,测量了现有激光实验条件下的解离波半径及传输速度,解离波厚度为5~8mm,传输速度随泵浦时间的增加而减慢,平均速度约13km/s。选择四种不同的腔轴位置,腔轴距泵浦源表面的距离d分别为10、13、16、20mm,激光实验结果表明,XeF2光解离波的空间传输对XeF(C—A)激光的形成有影响,激光形成时间、脉宽均随腔轴远离泵浦源而增加;输出能量在腔轴取13mm处最大。 展开更多
关键词 光解离波 空间传输 xef(C—A)激光 xef2
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重频XeF蓝绿激光技术 被引量:4
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作者 于力 马连英 +9 位作者 易爱平 黄超 朱峰 安晓霞 沈炎龙 钱航 黄欣 黄珂 叶锡生 刘晶儒 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1839-1842,共4页
利用表面放电光泵浦技术,研制了重频XeF(C-A)激光器,运行频率达到10 Hz。研究了运行频率、气体流量对激光输出能量稳定性的影响,分析了影响输出稳定性的主要因素,实验结果表明,提高气流量可有效改善重频输出能量的稳定性。同时,还给出... 利用表面放电光泵浦技术,研制了重频XeF(C-A)激光器,运行频率达到10 Hz。研究了运行频率、气体流量对激光输出能量稳定性的影响,分析了影响输出稳定性的主要因素,实验结果表明,提高气流量可有效改善重频输出能量的稳定性。同时,还给出了优化实验条件下不同运行频率连续20个脉冲较为理想的输出结果。运行频率分别为1,2,5 Hz时,输出能量稳定性较好,输出能量大于4.0 J;气流量大于53 L/s时,10Hz重频运行的输出稳定性已显著提高,平均输出能量也达到1.8 J。 展开更多
关键词 xef(C-A)激光 重复频率 光泵浦 蓝绿激光
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双向光泵浦XeF(C-A)激光 被引量:4
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作者 于力 刘晶儒 +3 位作者 马连英 易爱平 黄超 安晓霞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1765-1768,共4页
讨论了双向光泵浦XeF(C-A)激光技术,给出了双向泵浦情况下的XeF2光解离波图像。在双向泵浦条件下XeF(C-A)激光输出能量提高了近3倍,最大输出达到3.3 J,激光脉宽增加到1 100 ns。激光输出特性受XeF2初始浓度的显著影响,激光形成时间随XeF... 讨论了双向光泵浦XeF(C-A)激光技术,给出了双向泵浦情况下的XeF2光解离波图像。在双向泵浦条件下XeF(C-A)激光输出能量提高了近3倍,最大输出达到3.3 J,激光脉宽增加到1 100 ns。激光输出特性受XeF2初始浓度的显著影响,激光形成时间随XeF2初始浓度增大而加长,激光脉宽先增大后减小,激光近场光斑呈现出不同的形状,由方形变化为“X”形状。 展开更多
关键词 双向光泵浦 xef(C-A)激光 输出特性 光解离
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XeF(C-A)蓝绿激光线宽压缩技术 被引量:3
6
作者 朱峰 于力 +3 位作者 安晓霞 易爱平 马连英 黄超 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2588-2592,共5页
利用表面放电光泵浦XeF(C-A)蓝绿激光器开展了激光线宽压缩技术研究,分别采用谐振腔腔镜谱带重叠法和光栅谐振腔法实现了线宽小于10 nm的窄线宽激光输出。采用谐振腔腔镜谱带重叠法,激光输出线宽约7 nm,采用光栅谐振腔法可以将激光线... 利用表面放电光泵浦XeF(C-A)蓝绿激光器开展了激光线宽压缩技术研究,分别采用谐振腔腔镜谱带重叠法和光栅谐振腔法实现了线宽小于10 nm的窄线宽激光输出。采用谐振腔腔镜谱带重叠法,激光输出线宽约7 nm,采用光栅谐振腔法可以将激光线宽压缩到约1 nm,并实现XeF(C-A)激光的可调谐输出,调谐范围为470~495 nm。 展开更多
关键词 xef(C-A)激光 线宽压缩 可调谐 谐振腔
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光泵浦XeF(C-A)激光技术研究进展 被引量:4
7
作者 于力 刘晶儒 +7 位作者 易爱平 马连英 李辉 黄超 安晓霞 陈广宇 朱峰 叶锡生 《中国工程科学》 2009年第9期38-43,共6页
综述了西北核技术研究所在光泵浦XeF(C-A)激光技术研究方面取得的成果,研制的10 J级激光器最大输出能量为18.7 J,总转换效率达到0.25%,在国际上首次实现了XeF(C-A)激光重频运行,运行频率0.1-1 Hz;描述了光泵浦源的结构和供气装置的... 综述了西北核技术研究所在光泵浦XeF(C-A)激光技术研究方面取得的成果,研制的10 J级激光器最大输出能量为18.7 J,总转换效率达到0.25%,在国际上首次实现了XeF(C-A)激光重频运行,运行频率0.1-1 Hz;描述了光泵浦源的结构和供气装置的研制;介绍了在高重频光泵浦源和激光线宽压缩研究方面的最新进展,光泵浦源最高运行频率达90 Hz,XeF(C-A)激光线宽已被压缩到1 nm。 展开更多
关键词 xef(C-A)激光 光泵浦 蓝绿激光 重频运行 线宽压缩
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内置标准具光栅腔XeF(C-A)准分子激光器的线宽压缩 被引量:2
8
作者 朱峰 于力 +2 位作者 易爱平 沈炎龙 黄超 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期2888-2893,共6页
为了避免阳光背景干扰,针对XeF(C-A)蓝绿激光水下应用需求开展了激光线宽压缩实验以提高信噪比。采用内置标准具的光栅谐振腔开展相关实验。利用光栅腔实现亚纳米级的激光线宽输出,然后在此基础上,通过插入标准具进行更精细的激光线宽... 为了避免阳光背景干扰,针对XeF(C-A)蓝绿激光水下应用需求开展了激光线宽压缩实验以提高信噪比。采用内置标准具的光栅谐振腔开展相关实验。利用光栅腔实现亚纳米级的激光线宽输出,然后在此基础上,通过插入标准具进行更精细的激光线宽压缩实验。利用光栅腔,采用1 200线/mm光栅并提高光栅辐照面积可以实现0.14nm的激光线宽输出。腔内插入反射率为50%的标准具,可以进一步将激光线宽压缩至39pm,激光单脉冲能量约为65mJ,脉冲宽度为1μs。实验结果表明:尽管XeF(C-A)蓝绿激光器的增益系数较低,但是通过优化光栅和标准具的工作参数,对谐振腔光学损耗进行合理的控制,激光器可以实现10pm量级的激光线宽输出。 展开更多
关键词 激光技术 xef激光 低增益系数 线宽压缩
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XeF激光与YAG倍频激光对CCD软破坏效应对比实验研究 被引量:2
9
作者 马连英 于力 +5 位作者 刘晶儒 安晓霞 钱航 黄超 易爱平 朱峰 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期510-513,共4页
为了对比研究XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD的软破坏效应,分别建立了XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD辐照效应实验研究平台和CCD图像同步采集系统,在此基础上开展了上述两种激光对CCD的辐照效应实验,获得了CCD出... 为了对比研究XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD的软破坏效应,分别建立了XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD辐照效应实验研究平台和CCD图像同步采集系统,在此基础上开展了上述两种激光对CCD的辐照效应实验,获得了CCD出现局部饱和、全饱和、串音以及全屏饱和时的激光能量密度阈值和CCD图像,并对实验数据进行了总结分析,采用激光能量密度阈值法和饱和面积法对CCD图像进行了分析处理。结果表明,两种激光对SONY SUPER HAD型CCD具有相同的软破坏效应。 展开更多
关键词 激光技术 xef(C—A)激光 YAG倍频激光 可见光面阵CCD 软破坏
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XeF_2对SiO_2/Si的干法刻蚀 被引量:2
10
作者 尉伟 吴晓伟 +4 位作者 吕凡 肖云峰 付绍军 裴元吉 韩正甫 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期603-607,共5页
XeF2是一种可以在常温下与硅发生反应的气体,可用作对硅进行干法刻蚀的工作气体,其对硅刻蚀特性呈现各向同性.研制了一个使用脉冲法对二氧化硅/硅体系进行XeF2刻蚀的系统,刻蚀系统简单且操作容易.利用该系统成功地刻蚀出"蘑菇状&qu... XeF2是一种可以在常温下与硅发生反应的气体,可用作对硅进行干法刻蚀的工作气体,其对硅刻蚀特性呈现各向同性.研制了一个使用脉冲法对二氧化硅/硅体系进行XeF2刻蚀的系统,刻蚀系统简单且操作容易.利用该系统成功地刻蚀出"蘑菇状"的SiO2/Si结构,得到的刻蚀选择比大于1000. 展开更多
关键词 xef2 硅刻蚀 各向同性干法刻蚀 光学微腔
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用于XeF蓝绿激光器的表面放电光泵浦源 被引量:1
11
作者 黄超 刘晶儒 +4 位作者 于力 易爱平 安晓霞 朱峰 沈炎龙 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期51-55,共5页
基于Al2O3陶瓷、BN陶瓷和聚四氟乙烯三种基底建立了分段表面放电光泵浦源,对比研究了这三种表面放电光泵浦源的电学特性、辐射特性和烧蚀特性。利用放电波形计算了表面放电光泵浦源的等效电感、等效电阻和沉积效率,应用光谱法比较了它... 基于Al2O3陶瓷、BN陶瓷和聚四氟乙烯三种基底建立了分段表面放电光泵浦源,对比研究了这三种表面放电光泵浦源的电学特性、辐射特性和烧蚀特性。利用放电波形计算了表面放电光泵浦源的等效电感、等效电阻和沉积效率,应用光谱法比较了它们的紫外辐射强度,并采用平均线烧蚀率评估了三种泵浦源的耐烧蚀性能。通过比较研究发现,在充电电压为13.5-26.8kV、间隙长度为8cm、放电室内混合气体气压为100kPa条件下,三种泵浦源中Al2O3陶瓷表面放电光泵浦源的沉积效率最高,大于82%;辐射光谱具有紫外增强效应,紫外辐射最强;平均线烧蚀率最小(小于0.15μm/shot),耐烧蚀性能最好。研究结果表明采用Al2O3陶瓷表面放电光泵浦源作为大功率重频XeF蓝绿激光器的泵浦源,可提高XeF蓝绿激光器的寿命。 展开更多
关键词 xef蓝绿激光 光泵浦源 表面放电 紫外辐射 沉积效率 平均线烧蚀率
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一种XeF_2对硅的脉冲自发刻蚀 被引量:1
12
作者 尉伟 王勇 +3 位作者 吴晓伟 范乐 付绍军 王建平 《真空》 CAS 北大核心 2008年第4期93-95,共3页
XeF2不需要任何电离作用,与硅可发生自发反应,可用作对硅各向同性干法刻蚀。研制了一个使用脉冲法对二氧化硅/硅体系进行XeF2刻蚀的系统,利用该系统实现了高SiO2/Si、光刻胶/Si刻蚀选择比之硅刻蚀,并对刻蚀速率与刻蚀压强、刻蚀表面粗... XeF2不需要任何电离作用,与硅可发生自发反应,可用作对硅各向同性干法刻蚀。研制了一个使用脉冲法对二氧化硅/硅体系进行XeF2刻蚀的系统,利用该系统实现了高SiO2/Si、光刻胶/Si刻蚀选择比之硅刻蚀,并对刻蚀速率与刻蚀压强、刻蚀表面粗糙度与刻蚀深度之间的关系进行实验研究。 展开更多
关键词 xef2 各向同性干法刻蚀 自发硅刻蚀 脉冲刻蚀
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实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器
13
作者 王庆胜 余吟山 +4 位作者 王效顺 游利兵 梁勖 李会 方晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1143-1146,共4页
研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光... 研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1~80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm。激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中。 展开更多
关键词 准分子激光器 xef 开关电源 i线 印刷电路板
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XeF(C-A)蓝绿激光对可见光面阵CCD软损伤的实验研究
14
作者 马连英 于力 +3 位作者 安晓霞 钱航 易爱平 黄超 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期15-16,共2页
建立了脉冲激光辐照CCD器件实验平台,采用XeF(C-A)蓝绿激光辐照可见光CCD,获得CCD出现软损伤(局部饱和、全饱和、串扰及致眩)的激光能量密度阈值或量级及对应的CCD图像,用饱和面积法分析了蓝绿激光对CCD的软损伤效应。
关键词 xef 蓝绿激光 CCD 软损伤
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基于滤光片XeF(C-A)激光器窄线宽输出实验研究
15
作者 沈炎龙 朱峰 +8 位作者 于力 栾昆鹏 陶蒙蒙 赵柳 周松青 黄超 安晓霞 易爱平 李高鹏 《现代应用物理》 2016年第1期7-11,共5页
通过在谐振腔内插入窄带滤光片,开展了XeF(C-A)蓝绿激光窄线宽输出实验研究。研究结果表明,采用该方法,可以获得焦耳量级能量、线宽小于2nm、波长稳定的激光输出,激光最窄线宽为1.3nm。增大滤光片与谐振腔光轴的入射角,激光器输出能量... 通过在谐振腔内插入窄带滤光片,开展了XeF(C-A)蓝绿激光窄线宽输出实验研究。研究结果表明,采用该方法,可以获得焦耳量级能量、线宽小于2nm、波长稳定的激光输出,激光最窄线宽为1.3nm。增大滤光片与谐振腔光轴的入射角,激光器输出能量降低。 展开更多
关键词 xef激光 滤光片 窄线宽 谐振腔
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XeF激光器中XeF_2气体的监测 被引量:1
16
作者 赖富相 张永生 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期469-472,共4页
给出了一种用吸收光谱法实时监测XeF激光器中XeF2 气体压强的方法 ,标定了XeF2气体在波长为 2 5 3.7nm处的吸收截面的大小σXeF22 53 .7=(1.5 5± 0 .0 5 )× 10 - 19cm2 。用该监测系统测量了XeF2 气体与 3种作为激光器气室材... 给出了一种用吸收光谱法实时监测XeF激光器中XeF2 气体压强的方法 ,标定了XeF2气体在波长为 2 5 3.7nm处的吸收截面的大小σXeF22 53 .7=(1.5 5± 0 .0 5 )× 10 - 19cm2 。用该监测系统测量了XeF2 气体与 3种作为激光器气室材料的反应速率 ,同时研究了XeF蓝绿激光器中输出激光能量与XeF2 气体压强的关系。 展开更多
关键词 xef2 吸收截面 准分子激光 氟化氙激光器 气体监测 压强监测 反应速度
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表面放电光泵浦XeF(C-A)激光数值模拟 被引量:2
17
作者 胡志云 刘晶儒 +2 位作者 张永生 于力 袁孝 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期529-532,共4页
采用数值方法模拟表面放电光泵浦 Xe F( C-A)激光形成过程 ,分析反应粒子、气体温度、腔内损失、耦合透过率、Xe F2 压力对激光输出的影响 ,数值计算结果与自行研制的表面放电光泵浦 Xe F( C-A)激光器的实验结果吻合较好。
关键词 表面放电 光泵浦 激光 数值模拟 激光器
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低气压掺氪混合气放电XeF(C-A)激光 被引量:1
18
作者 程永康 杨少鹏 +1 位作者 王敏孝 马祖光 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第1期37-41,共5页
于0.22MPa气压和2.76MW/cm^3泵浦速率下,在商品准分子激光器上实现放电激励XeF(C-A)宽带自由振荡。使用峰值净益为1.24%/cm的掺氪四元混合气,获得兰绿激光输出1.17mJ,比能量输出9mJ/L,增本征效率0.016%,中心波长477nm,带宽32nm(FWHM)。
关键词 放电 氟化氙 准分子激光 激光器
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基于XeF(C-A)放大器的混合(固态/气态)超高功率飞秒激光系统(英文) 被引量:2
19
作者 LOSEV V ALEKSEEV S +7 位作者 IVANOV N KOVALCHUK B MIKHEEVL MESYATS G PANCHENKO Yu PUCHIKIN A RATAKHIN N YASTREMSKY A 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期252-259,共8页
提出了基于前端发生器和终端放大器,使用光泵浦XeF(C-A)激活介质的太瓦级混合激光器(THL-100)系统。前端发生器由长532 nm的连续激光泵浦的钛宝石飞秒脉冲振荡器,脉冲展宽机构,532 nm的脉冲激光泵浦的再生多通道放大器,衍射光栅压... 提出了基于前端发生器和终端放大器,使用光泵浦XeF(C-A)激活介质的太瓦级混合激光器(THL-100)系统。前端发生器由长532 nm的连续激光泵浦的钛宝石飞秒脉冲振荡器,脉冲展宽机构,532 nm的脉冲激光泵浦的再生多通道放大器,衍射光栅压缩器和二次谐波发生器(KDP)组成。其光束输出参数为:脉冲持续时间50 fs,二次谐波(475 nm)辐射能量5 mJ。前端发生器以10 Hz的单脉冲模式工作。XeF(C-A)放大器由双高压脉冲发生器(线性变压器),爆炸式阴极发射真空二极管,电子束注入系统,充满Xe的气室转换器和激光单元组成。高压发生器包括12个变压器,每个变压器有8个电容(40 nF)和火花隙,电容可以充电至100 kV。真空二极管中的电子束参数为:总电流300 kA,峰值电压550kV,脉冲持续时间约150 ns。穿透金属箔片到达Xe转换器的6个100 cm×12 cm电子束的总能量为67 kJ。激光系统通过泵浦能量的级联处理导致Xe2*的快速形成,并在(172±5)nm连续辐射。真空紫外辐射通过CaF2窗口辐射到含有XeF2蒸汽和氮气缓冲气体的激光单元中,使XeF2光解,形成XeF*准分子。由真空紫外辐射泵浦的放大器激活介质长110 cm,直径为24 cm。文中通过数值模拟给出了输出参数和第一实验结果,根据XeF(C-A)放大器参数模型和增益测量结果,得到的输出能量高达23 J,这意味着50 fs脉冲的峰值功率高达4060 TW。 展开更多
关键词 混合激光器 xef(C—A)放大器 飞秒脉冲宽度 电子束 紫外转换器
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STS与XACTIX合推新型大批量生产XeF2蚀刻设备
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《电子工业专用设备》 2008年第8期63-64,共2页
Surface Technology Systems公司与XACTIX公司推出新的基于二氟化氙(XeF2)气体的Chemical Vapor Etch(CVE)设备。XACTIX与STS合作开发的突破性工艺腔体设计和改进的晶圆传递机制可保证高吞吐量、均匀性、效率及运行时间,从而使XeF... Surface Technology Systems公司与XACTIX公司推出新的基于二氟化氙(XeF2)气体的Chemical Vapor Etch(CVE)设备。XACTIX与STS合作开发的突破性工艺腔体设计和改进的晶圆传递机制可保证高吞吐量、均匀性、效率及运行时间,从而使XeF2蚀刻成为可行的大批量生产工艺。 展开更多
关键词 大批量生产 xef2 STS 设备 蚀刻 SURFACE TECHNOLOGY Systems公司 生产工艺
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