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TiN多弧离子镀过渡层的组成及其对涂层结合力的影响 被引量:8
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作者 宫秀敏 孙伟 叶卫平 《新技术新工艺》 北大核心 2000年第9期35-37,共3页
论述了 Ti N多弧离子镀涂层过渡层的组成及其形成机制和影响因素。实验结果及分析表明 ,Ti N涂层过渡层由混合层及扩散层组成 ,扩散层包括 Ti原子扩散层及 N原子扩散层 ;影响扩散层的主要因素是基体材料的成分和沉积温度 ;具有 N原子扩... 论述了 Ti N多弧离子镀涂层过渡层的组成及其形成机制和影响因素。实验结果及分析表明 ,Ti N涂层过渡层由混合层及扩散层组成 ,扩散层包括 Ti原子扩散层及 N原子扩散层 ;影响扩散层的主要因素是基体材料的成分和沉积温度 ;具有 N原子扩散层的过渡层将使涂层的结合力明显提高。 展开更多
关键词 tin涂层 过渡层 n原子扩散层 结合力 离子镀
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