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硅离子注入对Ge2Sb2Te5结构和电阻的影响 被引量:3
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作者 刘波 宋志棠 +2 位作者 封松林 Chen Bomy 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期158-160,共3页
采用磁控射频溅射法制备了Ge2Sb2Te5薄膜,利用离子注入法研究了硅掺杂对薄膜结构和电阻性能的影响.研究发现,由于硅的掺杂,Ge2Sb2Te5薄膜的结构不仅保留了原有的面心立方低温晶相和六方高温晶相,而且出现了菱形六面体的Sb2Te3晶相;掺杂... 采用磁控射频溅射法制备了Ge2Sb2Te5薄膜,利用离子注入法研究了硅掺杂对薄膜结构和电阻性能的影响.研究发现,由于硅的掺杂,Ge2Sb2Te5薄膜的结构不仅保留了原有的面心立方低温晶相和六方高温晶相,而且出现了菱形六面体的Sb2Te3晶相;掺杂硅后,Ge2Sb2Te5薄膜的电阻有较大变化,晶态电阻的提高有利于降低非晶化相变过程的操作电流,薄膜电阻-温度稳定性的改善可保证有较宽的操作电流波动范围. 展开更多
关键词 Ge2Sb2te5 硅离子注入掺杂 方块电阻
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熔体过热处理对SnAg3Te5合金凝固组织的影响
2
作者 吕雪 李先芬 +1 位作者 祖方遒 赵振兴 《金属功能材料》 CAS 2012年第2期12-17,共6页
本文以直流四电极法、热分析法分别测量了SnAg3Te5合金熔体的电阻率-温度曲线及热分析曲线。结果表明:在连续两轮的升降温过程中,合金熔体的电阻率在远高于液相线几百度的温区内发生了不可逆转变,不同热历史下相同成分合金的热分析曲线... 本文以直流四电极法、热分析法分别测量了SnAg3Te5合金熔体的电阻率-温度曲线及热分析曲线。结果表明:在连续两轮的升降温过程中,合金熔体的电阻率在远高于液相线几百度的温区内发生了不可逆转变,不同热历史下相同成分合金的热分析曲线也存在明显差异。同时,在不同冷却方式下转变前后的合金凝固组织都发生了显著变化,这些差别充分表明,SnAg3Te5合金熔体在升降温过程中的某个特定温度区间内,由于熔体内部化学短程序的打破或重组而发生了温度诱导的液态结构转变。 展开更多
关键词 液态结构转变 电阻率 热分析法 凝固组织 SnAg3te5合金
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Ge2Sb2Te5相变薄膜的结构及结晶温度研究
3
作者 刘巧丽 刘军伟 +2 位作者 孟繁强 王璐 李廷取 《吉林化工学院学报》 CAS 2016年第9期41-44,共4页
利用射频磁控溅射法在室温下沉积了GST相变薄膜,利用XRD、AFM对其结构进行表征,原位XRD及DSC测试确定其结晶温度.(原位)XRD测试表明,室温下沉积的GST薄膜为非晶态,且在室温-375℃温度范围内,样品经历了非晶态→立方晶态→六方晶态相转... 利用射频磁控溅射法在室温下沉积了GST相变薄膜,利用XRD、AFM对其结构进行表征,原位XRD及DSC测试确定其结晶温度.(原位)XRD测试表明,室温下沉积的GST薄膜为非晶态,且在室温-375℃温度范围内,样品经历了非晶态→立方晶态→六方晶态相转变;通过原位XRD和DSC测试确定的GST薄膜的结晶温度一致,为-150℃. 展开更多
关键词 相变材料 Ge2Sb2te5 结构 DSC 结晶温度
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制备条件对Ge2Sb2Te5薄膜电学性能的影响 被引量:2
4
作者 夏吉林 刘波 +1 位作者 宋志棠 封松林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期155-157,共3页
研究了磁控溅射制备Ge2Sb2Te5薄膜时,制备条件诸如功率、气压等对薄膜性能的影响.主要通过测量薄膜方块电阻随退火温度的变化情况,探索Ge2Sb2Te5薄膜的成长机理.实验结果表明,不同溅射功率下制备的薄膜经不同温度退火后方块电阻没有明... 研究了磁控溅射制备Ge2Sb2Te5薄膜时,制备条件诸如功率、气压等对薄膜性能的影响.主要通过测量薄膜方块电阻随退火温度的变化情况,探索Ge2Sb2Te5薄膜的成长机理.实验结果表明,不同溅射功率下制备的薄膜经不同温度退火后方块电阻没有明显的区别,而随着溅射气压的上升,薄膜方块电阻随退火温度的增加,下降的速率增加,意味着由面心立方结构转变为六方结构所需的结晶温度降低. 展开更多
关键词 Ge2Sb2te5 电学性能 制备条件 相变
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压印技术制备超高密度Si2Sb2Te5基相变存储阵列 被引量:2
5
作者 刘彦伯 闵国全 +6 位作者 宋志棠 周伟民 张静 张挺 万永中 李小丽 张剑平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第1期45-49,共5页
采用低成本、高效率的压印技术实现了高密度相变存储器(PCRAM)存储阵列的制备,开发出Si2Sb2Te5(SST)新材料的4Gbit/inch2存储阵列,存储单元面积为0.04μm2;利用SEM观测压印获得的光刻胶图形阵列以及刻蚀后的SST存储阵列,其单元外形均具... 采用低成本、高效率的压印技术实现了高密度相变存储器(PCRAM)存储阵列的制备,开发出Si2Sb2Te5(SST)新材料的4Gbit/inch2存储阵列,存储单元面积为0.04μm2;利用SEM观测压印获得的光刻胶图形阵列以及刻蚀后的SST存储阵列,其单元外形均具有高度的一致性,且单元特征尺寸的3倍标准差均小于6nm;利用AFM研究了SST存储单元的I-V特性,阈值电压为1.56V,高、低电阻态阻值变化超过两个数量级。实验结果表明了SST新材料及压印技术在PCRAM芯片中的应用价值。 展开更多
关键词 紫外压印 高密度相变存储器阵列 Si2Sb2te5 存储单元 标准差(σ) 相变
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Acupuncture at Waiguan (TE5) influences activation/deactivation of functional brain areas in ischemic stroke patients and healthy people A functional MRI study 被引量:10
6
作者 Junqi Chen Yong Huang +6 位作者 Xinsheng Lai Chunzhi Tang Junjun Yang Hua Chen Tongjun Zeng Junxian Wu Shanshan Qu 《Neural Regeneration Research》 SCIE CAS CSCD 2013年第3期226-232,共7页
In the present study, 10 patients with ischemic stroke in the left hemisphere and six healthy controls were subjected to acupuncture at right Waiguan (TE5). In ischemic stroke subjects, functional MRI showed enhance... In the present study, 10 patients with ischemic stroke in the left hemisphere and six healthy controls were subjected to acupuncture at right Waiguan (TE5). In ischemic stroke subjects, functional MRI showed enhanced activation in Broadmann areas 5, 6, 7, 18, 19, 24, 32, the hypothalamic inferior lobe, the mamiilary body, and the ventral posterolateral nucleus of the left hemisphere, and Broadmann areas 4, 6, 7, 18, 19 and 32 of the right hemisphere, but attenuated activation of Broadmann area 13, the hypothalamic inferior lobe, the posterior lobe of the tonsil of cerebellum, and the culmen of the anterior lobe of hypophysis, in the left hemisphere and Broadmann area 13 in the right hemisphere. In ischemic stroke subjects, a number of deactivated brain areas were enhanced, including Broadmann areas 6, 11,20, 22, 37, and 47, the culmen of the anterior lobe of hypophysis, alae lingulae cerebella, and the posterior lobe of the tonsil of cerebellum of the left hemisphere, and Broadmann areas 8, 37, 45 and 47, the culmen of the anterior lobe of hypophysis, pars tuberalis adenohypophyseos, inferior border of lentiform nucleus, lateral globus pallidus, inferior temporal gyrus, and the parahippocampal gyrus of the right hemisphere. These subjects also exhibited attenuation of a number of deactivated brain areas, including Broadmann area 7. These data suggest that acupuncture at Waiguan specifically alters brain function in regions associated with sensation, vision, and motion in ischemic stroke patients. By contrast, in normal individuals, acupuncture at Waiguan generally activates brain areas associated with insomnia and other functions. 展开更多
关键词 neural regeneration acupuncture and moxibustion Waiguan te5 ischemic stroke specificity ofacupoints functional MRI cerebral function imaging ACUPUNCTURE motion brain areas grants-supported paper photographs-containing paper neuroregeneration
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Ge2Sb2Te5的电化学特性及化学机械抛光
7
作者 刘奇斌 张楷亮 +2 位作者 王良咏 宋志棠 封松林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期161-164,共4页
从电化学角度研究了Ge2Sb2Te5薄膜在化学机械抛光液中的作用,以及不同的pH值和H2O2浓度下的电化学特性.采用Solartron SI1287电化学设备测试了Ge2Sb2Te5薄膜在溶液中的开路电位和动电位扫描.开路电位结果表明:Ge2Sb2Te5在pH值为10的抛... 从电化学角度研究了Ge2Sb2Te5薄膜在化学机械抛光液中的作用,以及不同的pH值和H2O2浓度下的电化学特性.采用Solartron SI1287电化学设备测试了Ge2Sb2Te5薄膜在溶液中的开路电位和动电位扫描.开路电位结果表明:Ge2Sb2Te5在pH值为10的抛光液中表现出钝化行为;而抛光液的pH值为11时,开始向活化转变;当pH值为12时,薄膜处于活化状态.在动电位扫描过程中,不同的pH值和H2O2浓度下,薄膜的扫描曲线形状相似,表明薄膜腐蚀具有相同的反应机理.自制碱性抛光液,对Ge2Sb2Te5薄膜进行化学机械抛光,用SEM和EDS对抛光后的结构进行分析.结果表明,通过CMP实现了Ge2Sb2Te5填充结构. 展开更多
关键词 Ge2Sb2te5 相变存储器 化学机械抛光 电化学
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相变材料Ge2Sb2Te5的性质及其面向新型数据存储的应用(续)
8
作者 杨冲 韩伟华 +3 位作者 陈俊东 张晓迪 郭仰岩 杨富华 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第6期421-429,共9页
3相变材料GST的介电性质及其应用GST的介电性质主要体现在其对光的调控作用,在GST相变过程中伴随的折射率变化可以使其应用于光学存储。不仅是多媒体光盘,GST材料与波导材料结合还可以形成非易失性的光子存储单元。3.1相变材料GST介电... 3相变材料GST的介电性质及其应用GST的介电性质主要体现在其对光的调控作用,在GST相变过程中伴随的折射率变化可以使其应用于光学存储。不仅是多媒体光盘,GST材料与波导材料结合还可以形成非易失性的光子存储单元。3.1相变材料GST介电性质的机理以正、负电荷中心不重合的电极化方式来传递或记录(存储)电场的作用和影响是材料介电性质的体现。对于应用于光学存储的GST来说,其相变过程中的性质状态,尤其是介电性质会对存储性能产生重要的影响。 展开更多
关键词 光学存储 Ge2Sb2te5 多媒体光盘 存储单元 非易失性 介电性质 存储性能 数据存储
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Multiple-State Storage Capability of Stacked Chalcogenide Films (Si16Sb33Te51/Si4Sb45Te51/Si11Sb39Te50) for Phase Change Memory 被引量:1
9
作者 赖云锋 冯洁 +6 位作者 乔保卫 黄晓刚 蔡燕飞 林殷茵 汤庭鳌 蔡炳初 陈邦明 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第9期2516-2518,共3页
The multiple-state storage capability of phase change memory (PCM) is confirmed by using stacked chalcogenide films as the storage medium. The current-voltage characteristics and the resistance-current characteristi... The multiple-state storage capability of phase change memory (PCM) is confirmed by using stacked chalcogenide films as the storage medium. The current-voltage characteristics and the resistance-current characteristics of the PCM clearly indicate that four states can be stored in this stacked film structure. Qualitative analysis indicates that the multiple-state storage capability of this stacked film structure is due to successive crystallizations in different Si-Sb-Te layers triggered by different amplitude currents. 展开更多
关键词 RANDOM-ACCESS MEMORY DOPED GE2SB2te5 FILMS OPTICAL DISK CRYSTALLIZATION
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Anion-site-modulated thermoelectric properties in Ge2Sb2Te5-based compounds
10
作者 Ping Hu Tian-Ran Wei +5 位作者 Shao-Ji Huang Xu-Gui Xia Peng-Fei Qiu Jiong Yang Li-Dong Chen Xun Shi 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第10期1127-1133,共7页
The amalgamation of multi-subjects often elicits novel materials,new concepts and unexpected applications.Recently,Ge2 Sb2 Te5,as the most established phasechange material,has been found to exhibit decent thermoelectr... The amalgamation of multi-subjects often elicits novel materials,new concepts and unexpected applications.Recently,Ge2 Sb2 Te5,as the most established phasechange material,has been found to exhibit decent thermoelectric performance in its stable,hexagonal phase.The challenge for higher figure of merit(zT) values lies in reducing the hole carrier concentration and enhancing the Seebeck coefficient,which,however,can be hardly realized by conventional doping.Here in this work,we report that the electrical properties of Ge2 Sb2 Te5 can be readily optimized by anion-site modulation.Specifically,Se/S substitution for Te induces stronger and more ionic bonding,lowering the hole density.Furthermore,an increase in electronic density of state is introduced by Se substitution,contributing to a large increase in Seebeck coefficient.Combined with the reduced thermal conductivity,maximum zT values above 0.7 at 800 K have been achieved in Se/S-alloyed materials,which is ~30% higher than that in the pristine Ge2Sb2 Te5. 展开更多
关键词 THERMOELECTRIC Ge2Sb2te5 Anion-site modulation Chemical bond Electronic density of states
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通过衬板加热控制Ge2Sb2Te5热电薄膜的结构
11
《金属功能材料》 CAS 2018年第5期62-62,共1页
Athorn Vora-ud等人采用脉冲直流磁控管溅射法,以最佳等离子条件(脉冲频率和脉冲反向时间)制备Ge2Sb2Te5薄膜,系统地研究250-450℃温度范围内衬板温度对沉积薄膜微结构、形貌、原子组成、载流子浓度和移动性及塞贝克系数的影响。研... Athorn Vora-ud等人采用脉冲直流磁控管溅射法,以最佳等离子条件(脉冲频率和脉冲反向时间)制备Ge2Sb2Te5薄膜,系统地研究250-450℃温度范围内衬板温度对沉积薄膜微结构、形貌、原子组成、载流子浓度和移动性及塞贝克系数的影响。研究结果表明,要得到立方结构薄膜,就必须对衬板进行加热。 展开更多
关键词 GE2SB2te5薄膜 热电薄膜 加热控制 内衬板 微结构 磁控管溅射法 脉冲直流 温度范围
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内关透刺外关与艾司洛尔对麻醉诱导期血流动力学及术后恶心呕吐影响的比较
12
作者 许际平 季加富 +2 位作者 赵兰 赵媛媛 苏帆 《中国针灸》 北大核心 2025年第9期1265-1270,共6页
目的:比较内关透刺外关与艾司洛尔对全身麻醉诱导期血流动力学和术后恶心呕吐的临床疗效。方法:将100例择期在全身麻醉下行腹腔镜下疝修补术或妇科手术患者随机分为针刺组(50例,剔除3例)和艾司洛尔组(50例,剔除2例)。针刺组在麻醉诱导... 目的:比较内关透刺外关与艾司洛尔对全身麻醉诱导期血流动力学和术后恶心呕吐的临床疗效。方法:将100例择期在全身麻醉下行腹腔镜下疝修补术或妇科手术患者随机分为针刺组(50例,剔除3例)和艾司洛尔组(50例,剔除2例)。针刺组在麻醉诱导前行内关透刺外关,右侧留针15 min,左侧留针30 min。艾司洛尔组在麻醉诱导前5 min静脉注射盐酸艾司洛尔注射液20 mg。记录两组患者进入手术室平躺5 min后(T_(0))、麻醉诱导前(T_(1))、麻醉诱导后(T_(2))、气管插管前(T_(3))、气管插管后1 min(T_(4))的收缩压(SBP)、心率(HR),观察两组患者入麻醉恢复室(PACU)时(T_(5))、出PACU时(T_(6))、术后6 h(T_(7))、术后24 h(T_(8))疼痛视觉模拟量表(VAS)评分及恶心呕吐并发症发生情况,统计两组患者相关麻醉药物用量。结果:两组患者T_(2)、T_(3)、T_(4)时SBP、HR均较T_(1)时降低(P<0.05);针刺组患者T_(3)时SBP、HR高于艾司洛尔组(P<0.05)。与艾司洛尔组比较,针刺组患者T_(6)、T_(7)时疼痛VAS评分降低(P<0.05),T_(7)、T_(8)时恶心呕吐发生率及恶心呕吐视觉模拟量表(NVAS)评分降低(P<0.05)。与艾司洛尔组比较,针刺组患者丙泊酚用量减少(P<0.05)。结论:内关透刺外关可以减轻麻醉诱导期血流动力学波动,减少术后疼痛和恶心呕吐发生,降低丙泊酚用量,疗效优于艾司洛尔。 展开更多
关键词 术后恶心呕吐 全身麻醉 内关透刺外关 艾司洛尔 血流动力学
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基于红外热成像技术探索“相对穴”内关穴透灸外关穴温度特征 被引量:3
13
作者 马镓钰 杨志新 +2 位作者 陈建华 王星杰 王丽伟 《针灸临床杂志》 2024年第6期37-42,共6页
目的:通过红外热成像技术,对“相对穴”内关穴透灸外关穴前后温度进行测定,总结“相对穴”内关穴透灸外关穴干预后温度特征。方法:选取60例健康志愿者随机分为试验组和对照组,各30例,分别予内关透灸外关30 min和常规艾灸内关30 min,比... 目的:通过红外热成像技术,对“相对穴”内关穴透灸外关穴前后温度进行测定,总结“相对穴”内关穴透灸外关穴干预后温度特征。方法:选取60例健康志愿者随机分为试验组和对照组,各30例,分别予内关透灸外关30 min和常规艾灸内关30 min,比较干预前后大陵穴、内关穴、间使穴、郄门穴、阳池穴、外关穴、支沟穴与三阳络穴8穴温度及红外热图变化。结果:干预前,两组受试者相同穴位温度比较,差异无统计学意义(P>0.05);对照组和试验组干预前后各穴位温度变化均存在差异性,差异比较有统计学意义(P<0.05);试验组大陵穴、内关穴和外关穴干预前后温度差值相较于对照组大陵穴、内关穴和外关穴干预前后温度差值存在差异性,差异比较有统计学意义(P<0.05);试验组中内关穴与外关穴温度差值较对照组中内关穴与外关穴温度差值具有差异性,差异比较有统计学意义(P<0.05)。结论:“相对穴”内关穴透灸外关穴虽与常规艾灸内关穴一样可以促进艾灸腧穴本经与表里经气血的运行,沟通表里两经,产生循经热效应。但“相对穴”内关穴透灸外关穴相比于普通艾灸方式具有更强渗透作用及传导作用,其平衡表里两经气血的作用更强,能更好地起到阴阳相济的作用。 展开更多
关键词 内关 外关 相对穴 红外热成像 透灸
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Ge_2Sb_2Te_5晶体结构的第一性原理模拟 被引量:3
14
作者 刘富荣 韩欣欣 +2 位作者 白楠 范振坤 朱赞 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期137-141,148,共6页
基于密度泛函理论,采用CASTEP软件对Ge2Sb2Te5亚稳态晶体进行结构优化,并比较了局部密度泛函LDA CA-PZ和广义梯度近似GGA PBE两种不同电子交换关联函数对模型晶体结构、能带、态密度、分波态密度、布居数等相关性质的影响,获得Ge2Sb2Te... 基于密度泛函理论,采用CASTEP软件对Ge2Sb2Te5亚稳态晶体进行结构优化,并比较了局部密度泛函LDA CA-PZ和广义梯度近似GGA PBE两种不同电子交换关联函数对模型晶体结构、能带、态密度、分波态密度、布居数等相关性质的影响,获得Ge2Sb2Te5亚稳态晶体结构的性质.研究发现,电子交互关联函数采用局部密度泛函LDA CA-PZ时计算体系的总能量更低,具有更好的稳定性,但该优化使晶格常数缩小,而采用广义梯度近似GGA PBE方法对GST材料的晶胞结构进行模拟获得的结果与实验结果较为吻合.亚稳态Ge2Sb2Te5的能带没有带隙,呈现典型的金属性,而对材料性质影响最大的是Te原子. 展开更多
关键词 相变 Ge2 Sb2 te5 第一性原理 密度泛函
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硫系化合物随机存储器研究进展 被引量:16
15
作者 封松林 宋志棠 +1 位作者 刘波 刘卫丽 《微纳电子技术》 CAS 2004年第4期1-7,39,共8页
系统地介绍了硫系化合物随机存储器(C-RAM)的原理、相关材料、研究现状、特点及今后的发展趋势以及中科院上海微系统与信息技术研究所在C-RAM方面的研究进展。C-RAM由于具有高速读取、高可擦写次数、非易失性、元件尺寸小、功耗低和成... 系统地介绍了硫系化合物随机存储器(C-RAM)的原理、相关材料、研究现状、特点及今后的发展趋势以及中科院上海微系统与信息技术研究所在C-RAM方面的研究进展。C-RAM由于具有高速读取、高可擦写次数、非易失性、元件尺寸小、功耗低和成本低等优点,被认为是最有可能取代目前的FLASH、DRAM和SRAM而成为未来半导体存储器的主流产品。 展开更多
关键词 硫系化合物随机存储器 Ge2Sb2te5 纳电子器件 C—RAM 工作原理
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β-catenin及其通路相关基因在大肠腺瘤癌变中的意义 被引量:8
16
作者 吴文新 张祥宏 《癌症》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1005-1007,共3页
关键词 大肠腺瘤 癌变 Β-CATENIN APC-β-catenin/te5/te5通路
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溅射功率对Ge_2Sb_2Te_5薄膜光学常数的影响 被引量:2
17
作者 谢泉 侯立松 +3 位作者 干福熹 阮昊 李晶 李进延 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期501-504,共4页
研究了溅射功率对 Ge2Sb2Te5 薄膜的光学常数与波长关系的影响,结果表明,在波长小于 500nm的情况下,随溅射功率的增加非晶态薄膜的折射率n先增加然后减小,消光系数K则逐渐减小; 在波长大于 500nm的情况下,... 研究了溅射功率对 Ge2Sb2Te5 薄膜的光学常数与波长关系的影响,结果表明,在波长小于 500nm的情况下,随溅射功率的增加非晶态薄膜的折射率n先增加然后减小,消光系数K则逐渐减小; 在波长大于 500nm的情况下,随溅射功率的增加折射率 n逐渐减少,消光系数k先减小后增加.对于晶 态薄膜样品,在整个波长范围折射率n随溅射功率的增加先减小后增加,消光系数k则逐渐减少.薄膜样 品的光学常数,在长波长范围随波长变化较大,在短波长范围变化较小.讨论了溅射功率对 Ge2Sb2Te5 薄膜的光学常数影响的机理. 展开更多
关键词 溅射功率 GE2SB2te5薄膜 光学常数 波长
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生长温度对Ge_2Sb_2Te_5薄膜的相变行为以及微观结构的影响 被引量:2
18
作者 都健 潘石 +1 位作者 吴世法 张庆瑜 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第4期328-332,共5页
采用射频磁控溅射方法,分别在玻璃和具有本征氧化层的Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5相变薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计等对薄膜进行了表征,研究了不同生长温度(室温~300℃)的Ge2... 采用射频磁控溅射方法,分别在玻璃和具有本征氧化层的Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5相变薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计等对薄膜进行了表征,研究了不同生长温度(室温~300℃)的Ge2Sb2Te5薄膜的表面形貌和结晶特性。分析结果表明:室温沉积的薄膜为非晶态;沉积温度为100℃~250℃时,薄膜转变为晶粒尺度约14nm的面心立方结构;300℃~350℃沉积的薄膜有少量的六方相出现。薄膜表面粗糙度随着沉积温度的升高逐渐递增,且薄膜的反射率变化与表面粗糙度有直接的关系。 展开更多
关键词 GE2SB2te5薄膜 射频磁控溅射 表面形貌 薄膜反射率
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Ge_2Sb_2Te_5相变薄膜光学及擦除性能研究 被引量:3
19
作者 张广军 顾冬红 干福熹 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期577-581,共5页
利用蓝绿激光对非晶态Ge2Sb2Te5相变薄膜进行擦除性能的研究,分别用1000ns, 500ns,100ns, 60ns脉宽的蓝绿激光进行实验.结果表明,一定脉宽下,反射率对比度随擦除功率的增加而增大 并且,在1000ns, 500ns, 100ns, 60ns的激光作用时间范围... 利用蓝绿激光对非晶态Ge2Sb2Te5相变薄膜进行擦除性能的研究,分别用1000ns, 500ns,100ns, 60ns脉宽的蓝绿激光进行实验.结果表明,一定脉宽下,反射率对比度随擦除功率的增加而增大 并且,在1000ns, 500ns, 100ns, 60ns的激光作用时间范围内,非晶态薄膜均可转变成晶态 对于脉宽为60ns的蓝绿激光,擦除功率大于4. 49mW以后,薄膜的反射率对比度高于15%,这表明Ge2Sb2Te5 相变薄膜在短脉宽、低擦除功率条件下,可具有较高的晶化速度 同时,分析了非晶态和晶态Ge2Sb2Te5 相变薄膜的光谱特性,对比研究了780nm, 650nm, 514nm和405nm波长处的反射率和反射率对比度。 展开更多
关键词 相变薄膜 蓝绿激光 Ge2Sb2te5 擦除 反射率对比度 光盘
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基于相变存储器的相变存储材料的研究进展 被引量:3
20
作者 汪昌州 翟继卫 姚熹 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第15期96-102,共7页
相变存储器具有非易失性、循环寿命长、元件尺寸小、功耗低、多级存储、与现有集成电路工艺相兼容等诸多优点,被认为是最具潜力的下一代存储器。简要介绍了相变存储材料的工作原理和对相变存储材料的性能要求,综述了近年来国内外在相变... 相变存储器具有非易失性、循环寿命长、元件尺寸小、功耗低、多级存储、与现有集成电路工艺相兼容等诸多优点,被认为是最具潜力的下一代存储器。简要介绍了相变存储材料的工作原理和对相变存储材料的性能要求,综述了近年来国内外在相变材料存储性能的优化、存储机理以及面临的关键问题等方面的最新研究成果,最后展望了相变存储材料的研究和发展趋势。 展开更多
关键词 相变存储器 相变存储材料 Ge2Sb2te5
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