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题名基于PIC-MCC方法的溅射离子泵抽速计算方法
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作者
王耀之
刘奕新
张华鹏
张志军
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机构
东北大学机械工程与自动化学院
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出处
《真空与低温》
2025年第3期405-411,共7页
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基金
国家自然科学基金(U20A20292)
中国航空工业空气动力研究院高超声速气动力与热技术重点实验室基金
中国科学院环境光学与技术重点实验室开放基金(2005DP173065-2022-02)。
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文摘
基于溅射离子泵潘宁放电单元的实际工作条件,采用PIC-MCC方法建立了相应的仿真模型,并利用开源代码picFoam对单个潘宁放电单元进行了模拟分析。结合仿真结果与现有理论,通过计算离子入射参数,得到了溅射出的钛原子数量,并进一步结合阳极筒参数计算单个潘宁放电单元的抽速和溅射离子泵的整体抽速。分析了不同工作压力下离子的入射位置、入射能量及入射角度的分布规律,计算了单个潘宁放电单元的抽速。最终,基于阳极筒的排列方式得出溅射离子泵的整体抽速,计算结果与理论值对比显示出良好的一致性。
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关键词
溅射离子泵
PIC-MCC方法
潘宁放电
入射参数
抽速计算
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Keywords
sputter-ion pump
PIC-MCC method
Penning discharge
incident parameters
pumping speed calculation
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分类号
TB752
[一般工业技术—真空技术]
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题名同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向
被引量:3
- 2
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作者
蒋迪奎
殷立新
赵飞云
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机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第4期312-320,共9页
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文摘
根据真空系统运行条件,参考国内外SIP,拟订了同步辐射储存环用国产SIP的性能指标。结合SIP的机理和国际测试标准,对指标作了分析说明,以期加深国内真空泵厂对改进SIP必要性的认识,统一厂方和用户对指标的理解,在真空界推行公正的竞争,促进国产SIP质量的提高和走向国际市场。
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关键词
溅射离子泵
性能指标
同步辐射
储存环
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Keywords
sputtering ion pump, performance parameter, explanation
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分类号
TL594
[核科学技术—核技术及应用]
TB752.27
[一般工业技术—真空技术]
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题名国产溅射离子泵主要性能测试及现状
被引量:5
- 3
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作者
赵飞云
殷立新
殷明
周洪军
王勇
王秋平
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机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
国家上海同步辐射中心(筹)
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第6期24-27,共4页
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文摘
在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965—92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要。
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关键词
溅射离子泵
性能测试
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Keywords
sputter ion pump(SIP)
performance testing
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分类号
TB752.52
[一般工业技术—真空技术]
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题名关于溅射离子泵电源性能指标的几点建议
被引量:2
- 4
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作者
刘汉林
刘立宁
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机构
沈阳市和平区四达真空技术应用研究所
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2000年第2期42-44,共3页
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文摘
对中国科技大学国家同步实验室蒋迪奎等三位作者提出的关于国产 SIP电源的性能指标提供几点补充和建议 :电源功率 ,起动电压和分挡 ,短路电流和起动特性 ,以及噪声等 。
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关键词
溅射离子泵
起动特性
电源
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Keywords
sputtering ion pump
start performance
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分类号
TB752.52
[一般工业技术—真空技术]
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题名全自动溅射离子泵电源及其性能检测
被引量:1
- 5
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作者
朱家俊
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机构
上海真空泵厂
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第4期121-125,共5页
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文摘
介绍了一种全自动溅射离子泵电源。有关性能检测及技术应用都作了论述。对采用电子技术解决各种问题的关键要点也进行了评论 。
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关键词
全自动溅射离子泵电源
性能检测
电压调整率
真空溅射离子泵
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Keywords
full automatic
sputtering ion pump(SIP)
power supply
voltage regulation
performance test
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分类号
TB752.52
[一般工业技术—真空技术]
TB77
[一般工业技术—真空技术]
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