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Application in prestiction friction compensation for angular velocity loop of inertially stabilized platforms 被引量:7
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作者 Zhang Zhiyong Li Zhiqiang +2 位作者 Zhou Qingkun Zhang Lianchao Fan Dapeng 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第3期655-662,共8页
To overcome the influence of the nonlinear friction on the gimbaled servo-system of an inertial stabilized platforms(ISPs)with DC motor direct-drive,the methods of modeling and compensation of the nonlinear friction a... To overcome the influence of the nonlinear friction on the gimbaled servo-system of an inertial stabilized platforms(ISPs)with DC motor direct-drive,the methods of modeling and compensation of the nonlinear friction are proposed.Firstly,the inapplicability of LuGre model when trying to interpret the backward angular displacement in the prestiction regime is observed experimentally and the reason is deduced theoretically.Then,based on the dynamic model of direct-drive ISPs,a modified LuGre model is proposed to describe the characteristic of the friction in the prestiction regime.Furthermore,the state switch condition of the three friction regimes including presliding,gross sliding and prestiction is presented.Finally,a composite compensation controller including a nonlinear friction observer and a feedforward compensator based on the novel LuGre model is designed to restrain the nonlinear friction and to improve the control precision.Experimental results indicate that compared with those of the conventional proportion-integrationdifferentiation(PID)control method and the PID plus LuGre model-based friction compensation method,the dwell-time has decreased from 0.2 s to almost 0 s,the position error decreased to 86.7%and the peak-to-peak value of position error decreased to 80%after the novel compensation controller is added.It concludes that the composite compensation controller can greatly improve the control precision of the dynamic sealed ISPs. 展开更多
关键词 Closed loop control systems Friction compensation Inertially stabilized platforms Prestiction stiction
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STATIC STUDY OF CANTILEVER BEAM STICTION UNDER ELECTROSTATIC FORCE INFLUENCE 被引量:6
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作者 ZhangYin ZhaoYa-pu 《Acta Mechanica Solida Sinica》 SCIE EI 2004年第2期104-112,共9页
The model and analysis of the cantilever beam adhesion problem under the action of electrostatic force are given. Owing to the nonlinearity of electrostatic force, the analytical solution for this kind of problem is... The model and analysis of the cantilever beam adhesion problem under the action of electrostatic force are given. Owing to the nonlinearity of electrostatic force, the analytical solution for this kind of problem is not available. In this paper, a systematic method of generating polynomials which are the exact beam solutions of the loads with di?erent distributions is provided. The polynomials are used to approximate the beam displacement due to electrostatic force. The equilibrium equation o?ers an answer to how the beam deforms but no information about the unstuck length. The derivative of the functional with respect to the unstuck length o?ers such information. But to compute the functional it is necessary to know the beam deformation. So the problem is iteratively solved until the results are converged. Galerkin and Newton-Raphson methods are used to solve this nonlinear problem. The e?ects of dielectric layer thickness and electrostatic voltage on the cantilever beam stiction are studied. The method provided in this paper exhibits good convergence. For the adhesion problem of cantilever beam without electrostatic voltage, the analytical solution is available and is also exactly matched by the computational results given by the method presented in this paper. 展开更多
关键词 micro-cantilever beam adhesion/stiction electrostatic force Galerkin method CONSTRAINT STATIONARY peel number
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A NEW NON-INVASIVE METHOD FOR VALVE STICTION DECTION USING WAVELET TECHNOLOGY
3
作者 Xu Zhanyang Charles Zhan Zhang Shunyi 《Journal of Electronics(China)》 2009年第5期673-680,共8页
In this letter, we present a novel approach of valve stiction detection using wavelet technology. A new non-invasive method is developed with the closed-loop normal operating data. The redundant dyadic discrete wavele... In this letter, we present a novel approach of valve stiction detection using wavelet technology. A new non-invasive method is developed with the closed-loop normal operating data. The redundant dyadic discrete wavelet transform is used to decompose the data at different resolution scales. Based on the Lipschitz regularity theory, wavelet coefficients analysis across scales is performed to detect the jumps in the controlled variables. Adaptive wavelet de-noising is then applied to the data. Features of the valve stiction patterns are extracted from the de-noised data and the valve stiction probability is calculated. 展开更多
关键词 Valve stiction Wavelet de-noising JUMP Features extraction
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The Rolling Wheel Equations without Magic: A Combined Slip-Stiction Approach by the Udwadia-Kalaba Formulation with Constraints Relaxation for a Smooth Simulation
4
作者 Bukoko Ikoki 《Journal of Transportation Technologies》 2021年第3期378-389,共12页
The Udwadia-Kalaba formulation is proposed to model the dynamics of the rolling wheel. A unified approach that addresses both the slip and the stiction in the contact section is considered. Purely rolling constraints ... The Udwadia-Kalaba formulation is proposed to model the dynamics of the rolling wheel. A unified approach that addresses both the slip and the stiction in the contact section is considered. Purely rolling constraints are associated with stiction and are suitably lifted as slip occurs. An extended formulation for the Uwadia-Kalaba equations of motion is introduced for that matter. It resorts to the weighted minimum norm and the weighted semi-least-squares solutions of the constraints equations. This not only allows a bias on constraints, by an appropriate description of weight functions based on friction, it also leads to a smooth activation or deactivation of selected constraints without rewriting the equations of motion or upsetting their numerical integration. 展开更多
关键词 Rolling Wheel Friction stiction Slip Constraints Relaxation
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基于Volterra级数模型和核熵成分分析的控制阀粘滞故障检测
5
作者 王俊伟 赵众 《过程工程学报》 北大核心 2025年第11期1168-1182,共15页
控制阀粘滞现象是导致工业过程控制回路振荡和阀门非线性行为的主要原因之一,这不仅会降低控制回路性能和缩短阀门使用寿命,还可能增加产品质量波动及能耗,因此,控制阀门粘滞的实时检测对保证过程平稳运行意义重大。基于时域的传统粘滞... 控制阀粘滞现象是导致工业过程控制回路振荡和阀门非线性行为的主要原因之一,这不仅会降低控制回路性能和缩短阀门使用寿命,还可能增加产品质量波动及能耗,因此,控制阀门粘滞的实时检测对保证过程平稳运行意义重大。基于时域的传统粘滞检测方法通过分析控制阀输入信号OP(Output Position)和过程变量PV(Process Variables)波形并计算粘滞指数判断粘滞是否存在。然而,在实际工业实践中,过程PV信号呈现非线性和非高斯的随机波动特征,基于时域波形分析的控制阀粘滞故障检测方法在准确率和泛化能力上存在局限性。针对实际过程的检测信号的随机波动特性,本工作提出了一种基于Volterra级数模型和角度方差指标(Angular Variance Index,AVI)的核熵成分分析(Kernel Entropy Component Analysis,KECA)故障检测方法。基于AVI的KECA定义为改进核熵成分分析(Improved Kernel Entropy Component Analysis,IKECA)。首先,基于二阶Volterra级数模型对非线性粘滞控制阀进行建模。其次,基于谱分析理论和二阶Volterra级数提取用于表征粘滞的OP-PV相位特征。然后针对故障和正常数据,利用KECA方法对多维特征进行降维、特征提取和分类,以差分向量角度方差指标作为统计量,通过核密度估计(Kernel Density Estimation,KDE)来确定识别控制限AVI_(Lim),从而实现对控制阀粘滞故障的实时检测。基于所提方法开发了工业应用软件,工业应用结果证实了所提方法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 粘滞检测 谱分析 二阶Volterra级数 角度方差指标 核熵成分分析
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Casimir效应对微纳机械开关稳定性的影响 被引量:1
6
作者 童梓洋 秦苏梅 郭明 《科技信息》 2008年第8期72-73,共2页
在微/纳机械系统中的一个重要问题就是粘附效应(stiction)。在亚微米尺寸下,Casimir力对于粘附效应的影响是最为严重的。本文分析了Casimir效应对于微纳机械开关中与粘附效应相关的两个参数临界初始距离Lmin和临界电压(pull-involtage)... 在微/纳机械系统中的一个重要问题就是粘附效应(stiction)。在亚微米尺寸下,Casimir力对于粘附效应的影响是最为严重的。本文分析了Casimir效应对于微纳机械开关中与粘附效应相关的两个参数临界初始距离Lmin和临界电压(pull-involtage)的影响。在临界电压的分析计算过程中重点讨论了材料性质所产生的作用。随着微纳构件之间距离的减小,材料的导电性和表面粗糙程度对器件的稳定性的影响也越来越大。在微/纳机械系统的制造中,通过选择不同的材料可以极大地改善系统的稳定性。 展开更多
关键词 CASIMIR效应 微纳机械开关(MEMs/NEMs swkches) 粘附效应(stiction)
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硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究 被引量:41
7
作者 王阳元 武国英 +5 位作者 郝一龙 张大成 肖志雄 李婷 张国炳 张锦文 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1577-1584,共8页
本文论述了硅基MEMS标准工艺 ,其中包括三套体硅标准工艺和一套表面牺牲层标准工艺 .深入地研究了体硅工艺和表面牺牲层工艺中的关键技术 .体硅工艺主要进行了以下研究 :硅 /硅键合、硅 /镍 /硅键合、硅 /玻璃键合工艺及其优化 ;研究了... 本文论述了硅基MEMS标准工艺 ,其中包括三套体硅标准工艺和一套表面牺牲层标准工艺 .深入地研究了体硅工艺和表面牺牲层工艺中的关键技术 .体硅工艺主要进行了以下研究 :硅 /硅键合、硅 /镍 /硅键合、硅 /玻璃键合工艺及其优化 ;研究了高深宽比刻蚀工艺、优化了工艺条件 ;解决了高深宽比刻蚀中的Lag效应 ;开发了复合掩膜高深宽比多层硅台阶刻蚀和单一材料掩膜高深宽比多层硅台阶刻蚀工艺研究 .表面牺牲层工艺主要进行了下列研究 :多晶硅薄膜应力控制工艺 ; 展开更多
关键词 硅基 MEMS标准工艺 高深宽比刻蚀 键合 多晶硅 应力 防粘附 微机电系统 半导体
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微机电系统中的微观黏滑、黏附与控制 被引量:8
8
作者 张向军 孟永钢 温诗铸 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2005年第2期97-100,共4页
微观黏滑和黏附失效是微机电系统中的常见现象,该现象主要是由于受包括静电力、范德华力及毛细力等各种表面力所起的主导作用而产生的.采用黏着接触理论和运动分析方法,得到了微观摩擦试验中黏滑出现的无量纲黏滑数,表微观黏滑是接触表... 微观黏滑和黏附失效是微机电系统中的常见现象,该现象主要是由于受包括静电力、范德华力及毛细力等各种表面力所起的主导作用而产生的.采用黏着接触理论和运动分析方法,得到了微观摩擦试验中黏滑出现的无量纲黏滑数,表微观黏滑是接触表面特性、形貌参数、接触载荷及滑动速度等综合作用的结果,进而获得黏滑现象的各种临界参数,提出了黏滑行为控制的表面修饰与形貌设计依据;针对微构件的黏附失效,采用Laplace公式并结合微构件的变形分析,探究了毛细力作用下微构件的变形特征与失稳行为,发现其变形过程中存在着不稳定的临界点,对应黏附行为的发生,进而提出了微构件防黏附的结构设计. 展开更多
关键词 微机电系统 黏附 微观 LAPLACE 微构件 运动分析 接触理论 主导作用 范德华力 摩擦试验 表面特性 综合作用 滑动速度 接触载荷 临界参数 设计依据 表面修饰 行为控制 变形分析 变形特征 变形过程 结构设计 静电力 表面力
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基于数据驱动的控制阀粘滞特性量化研究 被引量:8
9
作者 宋运忠 刘向龙 《控制工程》 CSCD 北大核心 2016年第8期1254-1260,共7页
控制阀非线性的存在,粘滞、回滞、死区等都会不同程度的降低控制回路的性能,而其中尤以控制阀粘滞特性最为常见。现在,已经有许多控制阀粘滞特性的检测方法,其中也涉及到控制阀粘滞特性的量化。提出了一种通过拟合椭圆为控制器输出(OP)... 控制阀非线性的存在,粘滞、回滞、死区等都会不同程度的降低控制回路的性能,而其中尤以控制阀粘滞特性最为常见。现在,已经有许多控制阀粘滞特性的检测方法,其中也涉及到控制阀粘滞特性的量化。提出了一种通过拟合椭圆为控制器输出(OP)和过程输出(PV)间的关系,来对控制阀粘滞特性量化的方法,并且椭圆的最大宽度就是粘滞的大小。以Choudhury的阀门粘滞模型为主要对象,提出了一种基于数据驱动的控制阀粘滞特性检测和量化方法,并在Matlab Simulink仿真平台下编制了能够描述阀门粘滞特性现象的S-Function模块,经仿真,验证了所提出方法的有效性。最后,通过实际工业现场的运行数据,进一步验证了所提出方法的有效性。 展开更多
关键词 阀门粘滞 气动控制阀 椭圆拟合 粘滞量化
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气动阀门粘滞模型仿真及控制系统振荡分析 被引量:6
10
作者 李士哲 王印松 +1 位作者 田靖雨 张涛 《计算机仿真》 CSCD 北大核心 2016年第1期239-244,共6页
气动调节阀在复杂的流程工业现场环境中有着广泛的应用,但阀杆与密封装置之间的静摩擦现象很普遍,由此引起的调节阀粘滞特性容易导致控制回路振荡,降低控制系统性能。针对气动调节阀的粘滞特性建立了双参数模型,并对典型的流量过程对象... 气动调节阀在复杂的流程工业现场环境中有着广泛的应用,但阀杆与密封装置之间的静摩擦现象很普遍,由此引起的调节阀粘滞特性容易导致控制回路振荡,降低控制系统性能。针对气动调节阀的粘滞特性建立了双参数模型,并对典型的流量过程对象进行了仿真,基于仿真产生的调节阀输入输出时间序列,建立了调节阀的MV-0P图。仿真结果表明,MV-0P图所拟合的椭圆直径大小与系统的振荡强度有关。在不同参数下,对系统的振荡强度进行了量化,提出了有针对性的改进措施,并提高了系统的稳定性。 展开更多
关键词 气动调节阀 粘滞特性 振荡 双参数模型
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控制回路中的阀门迟滞补偿方法 被引量:10
11
作者 付川 丁维明 《自动化仪表》 CAS 北大核心 2010年第10期8-11,共4页
迟滞是阀门最常见的问题之一,它会引起控制回路的振荡,造成能量的损失和产品质量的下降。目前解决阀门迟滞问题的方法主要有Knocker迟滞补偿、减弱或去除控制器的积分作用等方式。但Knocker迟滞补偿方法会导致阀门的频繁动作,增加阀门... 迟滞是阀门最常见的问题之一,它会引起控制回路的振荡,造成能量的损失和产品质量的下降。目前解决阀门迟滞问题的方法主要有Knocker迟滞补偿、减弱或去除控制器的积分作用等方式。但Knocker迟滞补偿方法会导致阀门的频繁动作,增加阀门的磨损;而减弱或去除控制器的积分作用方式会导致稳态误差。通过对这两种方法的优劣比较,提出了一种改进的迟滞补偿方法。该方法可有效减少阀门动作的次数,延长阀门的使用寿命。 展开更多
关键词 阀门迟滞 补偿 建模 控制回路 PID控制 主汽温
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微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法 被引量:3
12
作者 郭鑫 张海岩 +1 位作者 彭春荣 夏善红 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期328-329,352,共3页
研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO_2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘... 研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO_2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生,提高微型电场传感器的成品率。 展开更多
关键词 微型电场传感器 粘连现象 临界点干燥 自组装膜
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气动控制阀静摩擦的Kano模型与检测方法的进一步研究 被引量:5
13
作者 何熊熊 邹涛 +1 位作者 杨悦 李信 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1691-1697,共7页
气动阀门的静摩擦现象在工业过程的控制中非常普遍,易引起控制系统的波动,从而影响生产的正常进行。在众多的研究成果中,Kano提出的气动阀门静摩擦模型与检测方法是简单有效的。但是,Kano气动控制阀静摩擦模型存在着不足,本文指出了该... 气动阀门的静摩擦现象在工业过程的控制中非常普遍,易引起控制系统的波动,从而影响生产的正常进行。在众多的研究成果中,Kano提出的气动阀门静摩擦模型与检测方法是简单有效的。但是,Kano气动控制阀静摩擦模型存在着不足,本文指出了该模型的缺陷所在,并给出了改进方案,使得模型的输入输出与物理过程完全一致;针对控制阀静摩擦的统计检测方法参数较多的特点,系统分析了影响检测结果的因素,总结了检测参数的指导原则。最后,在Matlab Simulink平台下编制了能够描述阀门静摩擦现象的S-Function模块,并进行了模拟仿真,在扰动存在的条件下讨论了统计检测方法的有效性。 展开更多
关键词 气动控制阀 静摩擦力 控制器性能评估
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机器人装配过程动力学分析 被引量:1
14
作者 胡建元 杜克林 黄心汉 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1998年第2期28-32,共5页
基于操作手的开环动力学和拉格朗日方法,建立了一个考虑粘滑现象的装配过程的通用动力学模型。该模型简化了装配过程的数值仿真。
关键词 机器人 装配过程 动力学
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气动调节阀粘滞特性的参数辨识 被引量:1
15
作者 陈凯 尚群立 余善恩 《杭州电子科技大学学报(自然科学版)》 2012年第6期133-136,共4页
气动调节阀通常会因为粘滞故障而导致回路中出现振荡现象,并会降低系统的控制性能,因此有效的辨识出粘滞特性的参数是消除其不利影响的关键。该文通过对调节阀双参数粘滞模型进行描述函数分析,提出一种简单有效的数值解析方法得出粘滞... 气动调节阀通常会因为粘滞故障而导致回路中出现振荡现象,并会降低系统的控制性能,因此有效的辨识出粘滞特性的参数是消除其不利影响的关键。该文通过对调节阀双参数粘滞模型进行描述函数分析,提出一种简单有效的数值解析方法得出粘滞特性的双参数的估计值。最后通过仿真实例验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 气动调节阀 粘滞特性 描述函数法 参数辨识
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影响微电子机械系统成品率和可靠性的粘合力和摩擦力 被引量:5
16
作者 王渭源 《中国工程科学》 2000年第3期36-41,共6页
文章评述了影响微电子机械系统 (MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸(HF)腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时 ,由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来 ,称为“释放有关粘合”。... 文章评述了影响微电子机械系统 (MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸(HF)腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时 ,由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来 ,称为“释放有关粘合”。粘合也发生在封装后器件中 ,当输入信号过冲时 ,由于Si片表面的化学状态将Si片粘合起来 ,称为“使用中粘合”。解决粘合的最好办法是 :在MEMS微结构的表面涂以抗粘合薄膜 ,将成品器件在干燥气氛下封装。介绍了抗粘合薄膜的制备工艺和目前存在的问题。相比之下 ,具有高速运动的MEMS ,其摩擦力问题更为复杂。应用抗粘合薄膜 ,解决了粘合 ,也降低了摩擦力 ,但摩擦依然存在。摩擦带来磨损 ,降低器件可靠性和寿命。寻找既抗粘合、又耐磨的薄膜 。 展开更多
关键词 微电子机构系统 粘合力 摩擦力 抗粘合薄膜 耐磨损薄膜 成品率 可靠性 微电子器件 微机械器件
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超小型泵浦激光器铟组件静摩擦力影响研究 被引量:1
17
作者 林绍义 陈贵清 《福建工程学院学报》 CAS 2013年第3期283-287,306,共6页
通过试制样品的"预压力的影响实验"和"泵浦热和冲击力的影响实验",测试了预压力和泵浦热对超小型泵浦激光器铟组件影响。结果表明,在预压力作用下,结构组件的粗糙峰嵌入铟组件表面增大其静摩擦力,进行功率-电流-温... 通过试制样品的"预压力的影响实验"和"泵浦热和冲击力的影响实验",测试了预压力和泵浦热对超小型泵浦激光器铟组件影响。结果表明,在预压力作用下,结构组件的粗糙峰嵌入铟组件表面增大其静摩擦力,进行功率-电流-温度性能测试的样品该现象更明显;泵浦热作用引起铟组件与泵浦晶体之间发生了部分粘着现象增大其静摩擦力;2.5 m冲击实验后的功率-电流-温度性能测试的泵浦热引起铟组件发生动态再回复,对受冲击力而引起的粗糙峰嵌入铟组件表面行为起固化作用,增大其静摩擦力,提升泵浦晶体抗冲击性能,提升铟组件超小型泵浦固体连续激光器的抗冲击性能。 展开更多
关键词 铟组件 泵浦激光器 静摩擦力 抗冲击性能
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基于规则的阀门非线性特性离散时间仿真模型 被引量:2
18
作者 卢绍文 《系统仿真技术》 2013年第4期299-305,共7页
在控制阀非线性特性研究中,Choudhury模型得到了广泛应用。但在输入信号突变较大时,模型输出的阀位与实际阀位之间存在一定的偏差。此外,Choudhury模型只考虑了阀门非线性特性中的黏滞特性,而没有考虑间隙特性。在详细分析产生偏差原因... 在控制阀非线性特性研究中,Choudhury模型得到了广泛应用。但在输入信号突变较大时,模型输出的阀位与实际阀位之间存在一定的偏差。此外,Choudhury模型只考虑了阀门非线性特性中的黏滞特性,而没有考虑间隙特性。在详细分析产生偏差原因的基础上,通过总结阀门输出特性的规律,增设多个描述阀门状态的变量,提出了一种新的基于规则的阀门非线性特性离散时间仿真模型。该模型对Choudhury模型进行了改进,同时包括了间隙特性。仿真表明在各种输入信号情况下,阀门非线性模型能够详细描述阀门的物理实际。同时,该模型能够用于计算机控制系统中阀门非线性特性的模拟。 展开更多
关键词 阀门 非线性特性 黏滞 间隙
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宽温域下三位四通电磁液动换向阀的几何尺寸链与卡滞特性 被引量:3
19
作者 訚耀保 谢帅虎 +1 位作者 原佳阳 何承鹏 《飞控与探测》 2019年第3期95-102,共8页
针对在服役环境中某型飞机滑阀出现的卡滞和动作延迟等现象,在分析滑阀机理的基础上,发现按常温设计的滑阀副配合间隙在服役环境下会发生较大变化。飞行器极端温度环境、精密偶件加工残余应力等因素容易造成滑阀卡滞。利用弹性力学和热... 针对在服役环境中某型飞机滑阀出现的卡滞和动作延迟等现象,在分析滑阀机理的基础上,发现按常温设计的滑阀副配合间隙在服役环境下会发生较大变化。飞行器极端温度环境、精密偶件加工残余应力等因素容易造成滑阀卡滞。利用弹性力学和热变形理论,考虑残余应力的影响,推导了滑阀副径向尺寸链的数学表达式。以某型滑阀副为例,计算了在-50℃、100℃和150℃温度条件下滑阀副的变形量,通径为13mm的滑阀,其径向尺寸最大变形量为2.9μm。采用有限元方法仿真分析了由油液压力引起的阀套变形量,最大变形量为2.19μm。配合间隙最小值应不小于总变形量(5.09μm),考虑到计算误差和加工精度,配合间隙可取为5μm。计算了不同配合间隙时的内泄漏量,泄漏量应满足要求(0.035L/min),对应的最大配合间隙为7.7μm,可近似取为8μm。所提出的分析方法和尺寸链计算模型,对滑阀设计具有一定的参考意义。 展开更多
关键词 滑阀 配合间隙 卡滞 极端温度 泄漏量 有限元
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低g值微惯性开关防粘连结构的设计与制作
20
作者 王超 吴嘉丽 张莉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第6期396-400,共5页
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置。为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构。该结构尺寸约为135μm×135μm×20μm,采用玻璃无掩膜... 低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置。为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构。该结构尺寸约为135μm×135μm×20μm,采用玻璃无掩膜湿法腐蚀技术在深约85μm的玻璃封盖底部实现。通过减小质量块与玻璃封盖底部的接触面积,弱化液体表面张力和范德华力的影响,避免了粘连现象的发生,使得低g值微惯性开关芯片在清洗干燥环节的合格率约达95%。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,完成了带有防粘连凸台结构的低g值微惯性开关的制作。玻璃无掩膜湿法腐蚀技术具有工艺简单、便于操作等优点,它的成功应用较好地满足了器件产业化的要求,为批量研制低g值微惯性开关提供了可靠的工艺基础。 展开更多
关键词 低g值微惯性开关 防粘连 梯形凸台 玻璃无掩膜湿法腐蚀 微机电系统(MEMS)
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