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H_(2)O_(2)/Fe^(Ⅲ)-NTA体系下Ru无磨料CMP作用机理研究
1
作者 尤羽菲 周建伟 罗翀 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第6期728-734,共7页
随着集成电路的工艺尺寸不断缩小,传统的Cu互连层材料面临着电迁移效应及可靠性降低等越来越严峻的挑战,而Ru凭借其平均电子自由程短及稳定性高等特性,有望成为下一代集成电路互连层材料。为了提升Ru互联层在化学机械抛光(CMP)过程中的... 随着集成电路的工艺尺寸不断缩小,传统的Cu互连层材料面临着电迁移效应及可靠性降低等越来越严峻的挑战,而Ru凭借其平均电子自由程短及稳定性高等特性,有望成为下一代集成电路互连层材料。为了提升Ru互联层在化学机械抛光(CMP)过程中的去除速率及表面质量,基于无磨料CMP技术,探究了H_(2)O_(2)/Fe^(Ⅲ)-NTA体系对Ru去除速率及表面质量的影响。CMP及AFM实验表明,在无磨料的条件下,H_(2)O_(2)/Fe^(Ⅲ)-NTA体系能够显著提升Ru的去除速率及表面质量。ESR实验表明该体系能够产生自由基HO^(·)和O_(2)^(·-)。XPS、电化学及SEM实验表明,H_(2)O_(2)和自由基对Ru具有氧化和腐蚀的作用,且自由基的氧化能力更加优异,能够使抛光液的氧化能力和机械去除能力达到平衡状态。最终,Ru去除速率达到70.8 nm/min,表面粗糙度(S_(q))仅为1.11 nm。 展开更多
关键词 RU 化学机械抛光(CMP) 表面粗糙度(Sq) 自由基 Ru去除速率 类芬顿反应
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Ru/AlOOH催化剂的制备、表征及其苯选择加氢反应的研究 被引量：17
2
作者 王建强 郭平均 +2 位作者 乔明华 闫世润 范康年 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第18期1765-1770,共6页
采用共沉淀法制备了Ru/AlOOH催化剂 ,以XRD ,TG/DTA ,TEM和氮物理吸附等手段对其基本物化性质进行了表征 .在苯液相选择加氢制备环己烯的反应中 ,该催化剂显示了很高的苯选择加氢活性和选择性 ,环己烯得率可达 3 5 .8% ,优于原位焙烧上... 采用共沉淀法制备了Ru/AlOOH催化剂 ,以XRD ,TG/DTA ,TEM和氮物理吸附等手段对其基本物化性质进行了表征 .在苯液相选择加氢制备环己烯的反应中 ,该催化剂显示了很高的苯选择加氢活性和选择性 ,环己烯得率可达 3 5 .8% ,优于原位焙烧上述催化剂或浸渍法制得的Ru/γ Al2 O3 催化剂 .催化剂结构与催化性能的对比研究进一步揭示催化剂的亲水性和孔结构在苯选择加氢反应中的重要作用 . 展开更多
关键词 共沉淀法 制备 环己烯 苯 选择加氢反应 钌 薄水铝石 催化剂 亲水性 孔结构
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宋代汝瓷研究 被引量：16
3
作者 承焕生 何文权 +1 位作者 杨福家 周分廷 《文物保护与考古科学》 1999年第2期19-26,共8页
本文报导了从河南省平顶山清凉寺汝窟遗址出土的官窑和民窑青瓷样品的测试结果。给出用 ＰＩＸＥ方法测得的胎、釉的化学组成和微量元素含量。实验结果：官汝和民汝样品胎的化学组成基本一 致；而釉的化学组成明显不同。本文也给出用多... 本文报导了从河南省平顶山清凉寺汝窟遗址出土的官窑和民窑青瓷样品的测试结果。给出用 ＰＩＸＥ方法测得的胎、釉的化学组成和微量元素含量。实验结果：官汝和民汝样品胎的化学组成基本一 致；而釉的化学组成明显不同。本文也给出用多元统计方法分析南方青瓷（龙泉窟、上林湖青瓷）和北 方青瓷（汝官窑、汝民窑、钧窑、耀州窑、段店窑）的化学组成和微量元素含量在聚类分析中的结果。 展开更多
关键词 汝瓷 汝官瓷 汝民瓷 聚类分析
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Ce掺杂对Ru/TiO2催化氯苯性能的影响 被引量：5
4
作者 梁文俊 朱玉雪 +2 位作者 石秀娟 孙慧频 任思达 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期3585-3593,共9页
采用等体积浸渍法制备了单贵金属Ru/TiO2和双金属Ru-Ce/TiO2系列催化剂,测试了其对氯苯的催化活性,并通过N2吸脱附、扫描电镜(SEM)、程序升温还原(H2-TPR)进行表征,旨在考察稀土元素Ce掺杂对Ru/TiO2催化氯苯性能的影响。结果表明,Ce的... 采用等体积浸渍法制备了单贵金属Ru/TiO2和双金属Ru-Ce/TiO2系列催化剂,测试了其对氯苯的催化活性,并通过N2吸脱附、扫描电镜(SEM)、程序升温还原(H2-TPR)进行表征,旨在考察稀土元素Ce掺杂对Ru/TiO2催化氯苯性能的影响。结果表明,Ce的引入可使其在降低贵金属含量的基础上仍保持高的催化效率,且极大地提高了低温催化活性。0.4%Ru-1.0%Ce/TiO2与0.4%Ru/TiO2相比,其T10和T90分别降低了50℃和60℃。H2-TPR表明引入Ce为催化剂提供了更多的表面氧空位,形成Ru-O-Ce增强了其氧化还原能力。掺杂Ce未改变Ru/TiO2催化剂的结构形貌,仍保持介孔结构,但若负载量过多,会堵塞部分孔道,阻碍污染物吸附及反应,降低催化性能。 展开更多
关键词 氯苯 催化氧化 RU CE Ru-Ce/TiO2
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硼氢化钠-氢还原重量法测定难溶解钌-硼焊料中的钌 被引量：7
5
作者 管有祥 朱利亚 +5 位作者 陈登权 刘泽光 陈亮维 刘霞 甘建壮 马媛 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期41-45,共5页
建立了硼氢化钠-氢还原重量法测定难溶解钌-硼焊料中高量钌的方法,研究了测定钌的条件,比较了试样的玻璃封管酸溶解法与碱熔融法和钌的硼氢化钠-氢还原重量法与蒸馏-硫脲显色分光光度法。结果表明:玻璃封管酸溶解法较碱熔融法费时且操... 建立了硼氢化钠-氢还原重量法测定难溶解钌-硼焊料中高量钌的方法,研究了测定钌的条件,比较了试样的玻璃封管酸溶解法与碱熔融法和钌的硼氢化钠-氢还原重量法与蒸馏-硫脲显色分光光度法。结果表明:玻璃封管酸溶解法较碱熔融法费时且操作繁琐,但钌的测定体系单纯;硼氢化钠-氢还原重量法较蒸馏-硫脲显色分光光法费时,但因钌的测定浓度较高,故相对误差较小。测定50～100mg钌,相对误差-0.24%～+0.25%。方法准确度高,选择性好,实用性强,已用于钌-硼焊料中质量分数>90%钌的测定,结果满意。 展开更多
关键词 分析化学 硼氢化钠-氢还原重量法 钌-硼焊料 钌
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铑-钌双金属催化体系氢化丁腈橡胶的性能 被引量：5
6
作者 姚明 张东恒 +2 位作者 徐瑞清 许贵显 钟毓镇 《合成橡胶工业》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期57-59,共3页
用新型铑-钌双金属催化剂制备了氢化丁腈橡胶(HNBR),分析了产物基本性能,并与国外同类产品进行了对比。结果表明,HNBR的相对分子质量较基础胶有所提高;与德国Bayer公司的Ther-ban A 3406和日本Zeon公司的Zetpol 2000 L相比,其物理机械... 用新型铑-钌双金属催化剂制备了氢化丁腈橡胶(HNBR),分析了产物基本性能,并与国外同类产品进行了对比。结果表明,HNBR的相对分子质量较基础胶有所提高;与德国Bayer公司的Ther-ban A 3406和日本Zeon公司的Zetpol 2000 L相比,其物理机械性能和耐油性能基本相当,在通常的剪切速率范围内的流变性能也相近。 展开更多
关键词 氢化丁腈橡胶 铑-钌双金属催化剂 相对分子质量 流变性能 物理机械性能 耐油性能
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醇-胺直接脱氢及氧化脱氢偶联酰胺化反应 被引量：1
7
作者 马文婵 周乔 +1 位作者 张月成 赵继全 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2014年第2期334-344,共11页
醇-胺(氨)直接脱氢及氧化脱氢偶联生成酰胺具有原子经济性高和对环境友好等优点,因而受到广泛关注。研究发现,一些过渡金属钌及铑配合物、负载金及银纳米粒子、氧化锰分子筛(OMS-2)以及基于铜、铁化合物的催化体系在醇-胺(氨)直接脱氢... 醇-胺(氨)直接脱氢及氧化脱氢偶联生成酰胺具有原子经济性高和对环境友好等优点,因而受到广泛关注。研究发现,一些过渡金属钌及铑配合物、负载金及银纳米粒子、氧化锰分子筛(OMS-2)以及基于铜、铁化合物的催化体系在醇-胺(氨)直接脱氢或氧化脱氢偶联生成酰胺反应中显示出优良的催化性能。本文首先介绍了PNN-钌、NHC-钌配合物、铑配合物以及负载银原子簇催化的醇-胺(氨)直接脱氢偶联生成酰胺反应的研究进展,然后对负载纳米金粒子、氧化锰分子筛(OMS-2)以及基于铜、铁化合物的催化体系催化的不同氧化剂,包括分子氧、叔丁基过氧化氢以及分子碘氧化的氧化酰胺化反应进行了总结。对各催化剂或催化体系的适用范围和优缺点进行了分析,阐述了主要催化剂或催化体系的催化机理。此外,还对无过渡金属参与的醇-胺氧化酰胺化反应体系进行概述。最后,在总结现有成果的基础上指出了该领域的发展方向。 展开更多
关键词 脱氢偶联 醇 胺 酰胺PNN—Ru配合物 NHC—Ru配合物 负载金
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炭载Ru-Fe催化剂对直接甲酸燃料电池中氧还原的电催化性能研究 被引量：3
8
作者 贾羽洁 曹爽 +1 位作者 唐亚文 陆天虹 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第4期674-678,共5页
研究了作为直接甲酸燃料电池(DFAFC)阴极催化剂的炭载Ru(Ru/C)和炭载Ru-Fe(Ru-Fe/C)催化剂对氧还原的电催化性能和抗甲酸能力。发现Ru-Fe/C催化剂对氧还原的电催化活性要远好于Ru/C催化剂。进一步的研究发现,只有与Ru形成合金的Fe才能提... 研究了作为直接甲酸燃料电池(DFAFC)阴极催化剂的炭载Ru(Ru/C)和炭载Ru-Fe(Ru-Fe/C)催化剂对氧还原的电催化性能和抗甲酸能力。发现Ru-Fe/C催化剂对氧还原的电催化活性要远好于Ru/C催化剂。进一步的研究发现,只有与Ru形成合金的Fe才能提高Ru/C催化剂对氧还原的电催化活性。另外,Ru-Fe/C催化剂对甲酸氧化没有电催化活性。因此,Ru-Fe/C催化剂也有很好的抗甲酸能力。所以,Ru-Fe/C催化剂适合作为DFAFC的阴极催化剂。 展开更多
关键词 Ru/C催化剂 Ru-Fe/C催化剂 酸处理 氧还原电催化性能
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过渡金属钌配合物催化氢化CO_2生成甲酸的反应 被引量：3
9
作者 尹传奇 冯权武 陈瑶 《武汉工程大学学报》 CAS 2008年第1期1-6,共6页
催化氢化CO2生成甲酸是固定二氧化碳生成C1有机物的重要反应之一,其中过渡金属二价钌配合物催化氢化CO2生成甲酸的反应引起了人们的极大兴趣.对含手臂胺配体、三甲基膦配体和Tp[tris(pyrazolyl)borate]配体的二价钌配合物催化氢化CO2生... 催化氢化CO2生成甲酸是固定二氧化碳生成C1有机物的重要反应之一,其中过渡金属二价钌配合物催化氢化CO2生成甲酸的反应引起了人们的极大兴趣.对含手臂胺配体、三甲基膦配体和Tp[tris(pyrazolyl)borate]配体的二价钌配合物催化氢化CO2生成甲酸的机理分别进行了讨论. 展开更多
关键词 过渡金属二价钌配合物 Ru—H键 甲酸根配合物 催化氢化
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表面活性剂增强钌(Ⅱ)配合物化学发光效应研究 被引量：2
10
作者 何治柯 袁良杰 +3 位作者 马容明 罗庆尧 余席茂 曾云鹗 《武汉大学学报（自然科学版）》 CSCD 1997年第2期191-195,共5页
研究了阳离子、阴离子和非离子表面活性剂对钌（Ⅱ）－联吡啶和钌（Ⅱ）－邻菲咯啉化学发光性质的影响。
关键词 表面活性剂 钌 联吡啶 配合物 化学发光效应
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桥连或取代环戊二烯基(茚基)钌-钌键羰基化合物的研究进展 被引量：1
11
作者 林进 《河北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2007年第3期369-374,共6页
综述了桥连或取代环戊二烯基(茚基)钌-钌键羰基化合物的研究进展,讨论了它们的合成、结构及其反应性.对于非桥连配合物而言,影响化合物分子结构和金属-金属键反应活性的因素,则是茂环上取代基的立体效应和电子效应;而对于桥连配合物来说... 综述了桥连或取代环戊二烯基(茚基)钌-钌键羰基化合物的研究进展,讨论了它们的合成、结构及其反应性.对于非桥连配合物而言,影响化合物分子结构和金属-金属键反应活性的因素,则是茂环上取代基的立体效应和电子效应;而对于桥连配合物来说,除了茂环上取代基的立体效应和电子效应外,桥连配体化合物中的桥是影响化合物结构和反应活性的一个至关重要的因素. 展开更多
关键词 环戊二烯基 茚基 钌-钌键 羰基化合物
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两种钌(Ⅱ)络合物的核磁共振氢谱分析 被引量：3
12
作者 王鹏 朱果逸 吴亦洁 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第12期1474-1477,共4页
报道了顺－二氯二联吡啶钌（Ⅱ）和顺－二氯二邻二氮菲钉（Ⅱ）的核磁共振氢谱。利用１Ｈ－１Ｈ ＣＯＳＹ谱详细分析并归属了这两种络合物的氢谱峰，并给出了各质子的偶合数，同时验证了其顺式的立体构型。
关键词 二氯二联吡啶钌 二氯二邻二氮菲 钌配合物 NMR
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试论宋金时期北方话入近去声 被引量：4
13
作者 朱蕾 《古汉语研究》 CSSCI 北大核心 2007年第4期18-23,共6页
本文在具体分析诗词用韵和宋人笔记中相关记载两类材料的基础上,提出入声在宋金时期北方话中仍作为一个独立的调类存在,还未分化,可能保留喉塞韵尾,听感上和去声很接近,正处在入声消变过程中的"入近去声"阶段。
关键词 宋金时期 阴入通押 入近去声
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Ru-Pd/AC双金属负载催化剂上不同基团的取代芳烃液相加氢反应活性的比较
14
作者 杜曦 王峻 +1 位作者 施颖 胡家元 《西南民族大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第3期291-294,共4页
采用自制的Ru/AC、Ru-Pd/AC、Pd/AC催化剂,考察了不同供电与吸电基团的取代苯、吡啶以及萘等芳香烃的加氢活性。结果表明:双金属Ru-Pd/AC(w/w=5％)催化剂的活性远大于Ru/AC(w/w=5％),并与Pd/AC(w/w=3-4％)相当,因此双金属Ru和Pd之间存... 采用自制的Ru/AC、Ru-Pd/AC、Pd/AC催化剂,考察了不同供电与吸电基团的取代苯、吡啶以及萘等芳香烃的加氢活性。结果表明:双金属Ru-Pd/AC(w/w=5％)催化剂的活性远大于Ru/AC(w/w=5％),并与Pd/AC(w/w=3-4％)相当,因此双金属Ru和Pd之间存在协同作用.同时,在相同的实验条件下,带供电子基团的取代苯的加氢活性高于带吸电子基团取代苯,表现出很好的芳环加氢规律。 展开更多
关键词 Ru/AC Ru-Pd/AC PD/AC 取代苯 加氢 协同作用
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Ru(bipy)_3^(2+)/Ru(phen)_3^(2+)-C_2O_4^(2-)-Ce^(IV)化学发光反应动力学模型的研究
15
作者 吴风武 何治柯 +1 位作者 罗庆尧 曾云鹗 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1999年第11期1213-1218,共6页
根据Ru(bipy)_3^(2+)/Ru(phen)_3^(2+)-C_2O_4^(2-)-Ce~Ⅳ(bipy=2,2＇-联吡啶,phen=1,10-邻菲咯琳)化学发光反应建立了该化学发光反应的动力学模型,根据模型计算出该反应的发光强度-反应时间曲线上升及下降阶段的反应速率常数、发光强... 根据Ru(bipy)_3^(2+)/Ru(phen)_3^(2+)-C_2O_4^(2-)-Ce~Ⅳ(bipy=2,2＇-联吡啶,phen=1,10-邻菲咯琳)化学发光反应建立了该化学发光反应的动力学模型,根据模型计算出该反应的发光强度-反应时间曲线上升及下降阶段的反应速率常数、发光强度最大值及其出现的时间等.发光强度最大值及发光强度-反应时间曲线下的面积均可用于定量分析. 展开更多
关键词 化学发光 动力学模型 钌 铈 联吡啶 邻菲咯啉
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NO在Cs/Ru(1010)表面上吸附的ARUPS研究
16
作者 李海洋 鲍世宁 +5 位作者 张训生 范朝阳 鲍德松 魏赛珍 毛祖遂 徐亚伯 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1997年第3期217-220,共4页
在１５０Ｋ的低温下，ＮＯ在清洁的Ｒｕ（１０１０）表面上的吸附，ＨｅＩ－ＡＲＵＰＳ显示在Ｅｆ以下９．３ｅＶ（５σ＋１π）和１４．６ｅＶ（４σ）处有两个峰，表明ＮＯ在Ｒｕ（１０１０）表面上是分子吸附。ＮＯ在Ｃｓ／Ｒｕ（１... 在１５０Ｋ的低温下，ＮＯ在清洁的Ｒｕ（１０１０）表面上的吸附，ＨｅＩ－ＡＲＵＰＳ显示在Ｅｆ以下９．３ｅＶ（５σ＋１π）和１４．６ｅＶ（４σ）处有两个峰，表明ＮＯ在Ｒｕ（１０１０）表面上是分子吸附。ＮＯ在Ｃｓ／Ｒｕ（１０１０）表面上的吸附，ＡＲＵＰＳ测得在Ｅｆ以下６．２、９．２、１１．１、１２．４和１４．９ｅＶ处有５个峰，和Ｎ２Ｏ气相的ＵＰＳ谱比较认定它们是Ｎ２Ｏ和ＮＯ共存的结果，表明ＮＯ在Ｃｓ／Ｒｕ（１０１０）表面上分解后可形成Ｎ２Ｏ分子的吸附。 展开更多
关键词 一氧化氮吸附 ARUPS 钌 铯 吸附 表面
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ZrO_2负载Ru─Fe双金属簇及其单金属簇上CO加氢反应及TPDE研究
17
作者 过中儒 徐慧珍 +1 位作者 施介华 王群 《石油化工》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期395-401,共7页
测定了ＺｒＯ２负载的由不同前体得到的Ｒｕ－Ｆｅ双金属及其单金属催化剂的ＣＯ加Ｈ２反应活性。结果表明，ＺｒＯ２负载的由Ｒｕ２Ｆｅ（ＣＯ）１２或ＲｕＦｅ２（ＣＯ）１２获得的Ｒｕ－Ｆｅ双金属催化剂较负载Ｒｕ３（ＣＯ）１２、... 测定了ＺｒＯ２负载的由不同前体得到的Ｒｕ－Ｆｅ双金属及其单金属催化剂的ＣＯ加Ｈ２反应活性。结果表明，ＺｒＯ２负载的由Ｒｕ２Ｆｅ（ＣＯ）１２或ＲｕＦｅ２（ＣＯ）１２获得的Ｒｕ－Ｆｅ双金属催化剂较负载Ｒｕ３（ＣＯ）１２、Ｆｅ２（ＣＯ）９及其混合簇催化剂以及由ＲｕＣｌ３、Ｆｅ（ＮＯ３）３制备的常规双金属催化剂具有高得多的ＣＯ加氢活性。用程序升温分解（ＴＰＤＥ）方法研究了ＺｒＯ２负载的Ｒｕ３（ＣＯ）１２，Ｆｅ２（ＣＯ）９及其混合簇催化剂的脱羰基过程。结果表明，除脱附作用外，负载络合物的羰基在Ａｒ中ＴＰＤＥ主要歧化生成ＣＯ２，在Ｈ２中ＴＰＤＥ主要加氢生成ＣＨ４。 展开更多
关键词 加氢反应 双金属催化剂 一氧化碳 钌-铁
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从汝窑的兴衰看宋代官窑制度的形成 被引量：4
18
作者 韦璇 《开封大学学报》 2016年第2期4-8,共5页
汝窑是北宋五大名窑之首,它经历了从民窑到地方官窑再到中央官窑最后又回落到民窑的发展变化,其身份性质不断改变。从汝窑的兴衰历程中我们可以看到北宋官窑制度的形成过程。
关键词 宋汝窑 民窑 地方官窑 中央官窑 宋代官窑制度
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汝瓷及其仿制品瓷釉的显微结构分析和“汝钧不分”难题的破解 被引量：7
19
作者 杨益民 冯敏 +5 位作者 毛振伟 王昌燧 凌雪 龚明 孙新民 郭木森 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期16-20,共5页
使用扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-VIS)和色差计分析了一些汝官瓷、仿汝瓷和钧瓷残片。在SEM下,汝瓷与钧瓷的显微结构差异较大,而仿汝瓷的显微结构类似于钧瓷;瓷釉中分相或者析晶导致的Rayleigh散射和Mie散射作用都对其釉色... 使用扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-VIS)和色差计分析了一些汝官瓷、仿汝瓷和钧瓷残片。在SEM下,汝瓷与钧瓷的显微结构差异较大,而仿汝瓷的显微结构类似于钧瓷;瓷釉中分相或者析晶导致的Rayleigh散射和Mie散射作用都对其釉色存在贡献;三者显微结构上的差异可用来解释它们反射光谱上的差异。UV-VIS可用于解决“汝钧不分”的问题,并为汝瓷的无损科技鉴定提供了可靠的依据。 展开更多
关键词 汝瓷 钧瓷 显微结构 反射光谱 呈色机理 汝钧不分 无损鉴定
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论入声韵音节声调的演变——《入声论》之十三 被引量：1
20
作者 夏中易 《成都大学学报（社会科学版）》 2008年第2期94-99,共6页
本文概述入声调不是独立调位的基础上,采纳汉语入声韵从上古至于今日一直朝着转阴的方向演变的观点,论证与之同步,入声韵音节声调逐步地靠拢处于同一调位中的其他变体,并最终与之达到一致。文章广泛征引方言材料,阐明入声韵音节声调演变... 本文概述入声调不是独立调位的基础上,采纳汉语入声韵从上古至于今日一直朝着转阴的方向演变的观点,论证与之同步,入声韵音节声调逐步地靠拢处于同一调位中的其他变体,并最终与之达到一致。文章广泛征引方言材料,阐明入声韵音节声调演变属"变体趋同",意在为"入声非声说"做出理论和事实的补充。 展开更多
关键词 人声韵音节声调 条件变体 趋同 入声非声
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