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Air-Stable,Eco-Friendly RRAMs Based on Lead-Free Cs_(3)Bi_(2)Br_(9)Perovskite Quantum Dots for High-Performance Information Storage
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作者 Xiaofei Cao Zhuangzhuang Ma +4 位作者 Teng Cheng Yadong Wang Zhifeng Shi Jizheng Wang Li Zhang 《Energy & Environmental Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期406-414,共9页
Development of lead-free halide perovskites that are innocuous and stable has become an attractive trend in resistive random access memory(RRAM)fields.However,their inferior memory properties compared with the lead-ba... Development of lead-free halide perovskites that are innocuous and stable has become an attractive trend in resistive random access memory(RRAM)fields.However,their inferior memory properties compared with the lead-based analogs hinder their commercialization.Herein,the lead-free Cs_(3)Bi_(2)Br_(9)perovskite quantum dot(PQD)-based RRAMs are reported with outstanding memory performance,where Cs_(3)Bi_(2)Br_(9)quantum dots(QDs)are synthesized via a modified ligand-assisted recrystallization process.This is the first report of applying Cs_(3)Bi_(2)Br_(9)QDs as the switching layer for RRAM device.The Cs_(3)Bi_(2)Br_(9)QD device demonstrates nonvolatile resistive switching(RS)effect with large ON/OFF ratio of 105,low set voltage of-0.45 V,as well as good reliability,reproducibility,and flexibility.Concurrently,the device exhibits the notable tolerance toward moisture,heat and light illumination,and long-term stability of 200 days.More impressively,the device shows the reliable light-modulated RS behavior,and therefrom the logic gate operations including"AND"and"OR"are implemented,foreboding its prospect in logic circuits integrated with storage and computation.Such multifunctionality of device could be derived from the unique 2D layered crystal structure,small particle size,quantum confinement effect,and photoresponse of Cs_(3)Bi_(2)Br_(9)QDs.This work provides the strategy toward the high-performance RRAMs based on stable and eco-friendly perovskites for future applications. 展开更多
关键词 air stability high memory performance lead-free perovskite quantum dots light-assisted logic gate operation RRAM devices
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Optoelectronic array of photodiodes integrated with RRAMs for energy-efficient in-sensor computing 被引量:1
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作者 Wen Pan Lai Wang +9 位作者 Jianshi Tang Heyi Huang Zhibiao Hao Changzheng Sun Bing Xiong Jian Wang Yanjun Han Hongtao Li Lin Gan Yi Luo 《Light: Science & Applications》 2025年第2期430-440,共11页
The rapid development of internet of things(loT)urgently needs edge miniaturized computing devices with high efficiency and low-power consumption.In-sensor computing has emerged as a promising technology to enable in-... The rapid development of internet of things(loT)urgently needs edge miniaturized computing devices with high efficiency and low-power consumption.In-sensor computing has emerged as a promising technology to enable in-situ data processing within the sensor array.Here,we report an optoelectronic array for in-sensor computing by integrating photodiodes(PDs)with resistive random-access memories(RRAMs).The PD-RRAM unit cell exhibits reconfigurable optoelectronic output and photo-responsivity by programming RRAMs into different resistance states.Furthermore,a 3×3 PD-RRAM array is fabricated to demonstrate optical image recognition,achieving a universal architecture with ultralow latency and low power consumption.This study highlights the great potential of the PD-RRAM optoelectronic array as an energy-effcient in-sensor computing primitive for future IoT applications. 展开更多
关键词 optoelectronic array internet things lot urgently rrams sensor computing edge miniaturized computing devices IoT photodiodes
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Enhanced Reliability and Stability of Vanadium Oxide-Based RRAM by Constructing VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si p-i-n Structure
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作者 WANG Ze ZHOU Xin +1 位作者 ASAD Khaleeq WANG Chunrui 《Journal of Donghua University(English Edition)》 2025年第3期242-250,共9页
Vanadium oxide(VO_(x))has garnered significant attention in the realm of resistive random-access memory(RRAM)owing to its outstanding resistive switching characteristics.However,the ambiguous mechanisms of resistive s... Vanadium oxide(VO_(x))has garnered significant attention in the realm of resistive random-access memory(RRAM)owing to its outstanding resistive switching characteristics.However,the ambiguous mechanisms of resistive switching and inferior stability hinder its practical applications.Herein,an RRAM named VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si device is prepared.It displays bipolar resistive switching behavior and shows superior cycle endurance(>200),a significantly high on/off ratio(>10^(2))and long-term stability.The tremendous improvement in the stability of the VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si device compared with the Cu/VOx/n^(++)Si device is due to the p-i-n structure of VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si.The switching mechanism of the VO_(x)/TiO_(2)/n^(++)Si device is attributed to the growth and annihilation of Cu conductive filaments. 展开更多
关键词 vanadium oxide bipolar resistive switching p-i-n junction resistive random-access memory(RRAM) titanium dioxide double-layer structure
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基于钐、镧、钇基阻变存储器的稀土氧化物阻变存储器研究进展
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作者 沈少冰 《广州化工》 2025年第22期1-3,22,共4页
随着通信技术的快速发展和信息全球化的步伐加快,对存储器的读写速度、存储容量等性能都提出了更高的要求,存储器技术的革新发展也成为业界关注的热点问题。阻变存储器RRAM因其结构简单、读写速度快(亚纳秒级)、可缩小性强且与CMOS工艺... 随着通信技术的快速发展和信息全球化的步伐加快,对存储器的读写速度、存储容量等性能都提出了更高的要求,存储器技术的革新发展也成为业界关注的热点问题。阻变存储器RRAM因其结构简单、读写速度快(亚纳秒级)、可缩小性强且与CMOS工艺兼容等优点,得到学术界和工业界的关注,也被认为是下一代非易失性存储器最有潜力的取代者之一。稀土氧化物作为一种具有高介电常数、高击穿电压、高稳定性、强耐久性等天然优势的半导体材料,是阻变存储器应用中不可或缺的优质材料。文章以Sm_(2)O_(3)、Y_(2)O_(3)、La_(2)O_(3)为例,首先从RRAM的特性、阻变机理进行简述,重点对Sm_(2)O_(3)、Y_(2)O_(3)、La_(2)O_(3)基阻变存储器的阻变机理、电学特性、应用领域等方面进行阐述,分析了稀土氧化物阻变存储器的优点与缺点,讨论未来的优化方向以及应用领域。 展开更多
关键词 稀土氧化物 存储器 RRAM
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基于RRAM的神经常微分方程网络全模拟架构设计
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作者 孙玉丽 燕博南 +1 位作者 陶耀宇 杨玉超 《集成电路与嵌入式系统》 2025年第10期1-9,共9页
针对神经常微分方程网络推理在冯·诺依曼架构中面临“功耗墙”和“存储墙”瓶颈、在传统存内计算架构中因存在大量数/模、模/数转换而产生过多的时间和功耗开销等问题,提出一种基于RRAM的面向神经常微分方程网络的全模拟存内计算架... 针对神经常微分方程网络推理在冯·诺依曼架构中面临“功耗墙”和“存储墙”瓶颈、在传统存内计算架构中因存在大量数/模、模/数转换而产生过多的时间和功耗开销等问题,提出一种基于RRAM的面向神经常微分方程网络的全模拟存内计算架构,能够实现纯模拟数据流的神经常微分方程网络推理。架构仿真工作在Cadence Virtuoso平台上完成,通过该平台对RRAM器件、阵列及其外围电路进行仿真与分析。架构测试工作基于40 nm工艺的RRAM测试平台和差分输入/输出PCB板,完成整个系统的功能验证。结合测试误差对神经常微分方程网络分类任务进行实验与评估,最终证明了该架构的功能性和可靠性,为后续的硬件实现和应用部署奠定了坚实基础。 展开更多
关键词 RRAM存内计算 神经常微分方程 全模拟数据流 架构设计
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缺陷对RRAM材料阻变机理的影响 被引量:1
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作者 杨金 代月花 +5 位作者 徐太龙 蒋先伟 许会芳 卢金龙 罗京 陈军宁 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第17期2481-2485,共5页
基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理和VASP仿真软件,分析了阻变随机存储器(RRAM)阻变效应的物理机制。对比计算了单斜晶相HfO2中Ag掺杂体系、氧空位缺陷体系和Ag及氧空位缺陷共掺杂复合缺陷体系的能带、态密度、分波电荷态密度面和形成... 基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理和VASP仿真软件,分析了阻变随机存储器(RRAM)阻变效应的物理机制。对比计算了单斜晶相HfO2中Ag掺杂体系、氧空位缺陷体系和Ag及氧空位缺陷共掺杂复合缺陷体系的能带、态密度、分波电荷态密度面和形成能,结果表明在相同浓度下Ag掺杂体系能形成导电通道,而氧空位缺陷体系不能形成导电通道;共掺杂体系中其阻变机制以Ag传导为主,氧空位缺陷为辅,且其形成能变小,体系更加稳定。计算共掺杂体系的布居数和迁移势垒,得出在氧空位缺陷存在的前提下,Ag—O键长明显增加,Ag离子的迁移势垒变小,电化学性能增强。进一步计算了缺陷间的相互作用能,其值为负,表明缺陷间具有相互缔合作用,体系更加稳定。 展开更多
关键词 VASP 阻变效应 缺陷 导电通道 RRAM
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基于带符号位的浮点数运算的多位宽3D RRAM设计 被引量:1
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作者 王兴华 王天 +1 位作者 王乾 李潇然 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期1299-1304,共6页
本文介绍了卷积神经网络(convolutional neutral network,CNN)系统中具有多位存储的三维阻变式存储器(threedimensional resistive random-access memory,3D RRAM)的带符号位的浮点数运算.与其他类型存储器相比,3D RRAM可以在存储器内... 本文介绍了卷积神经网络(convolutional neutral network,CNN)系统中具有多位存储的三维阻变式存储器(threedimensional resistive random-access memory,3D RRAM)的带符号位的浮点数运算.与其他类型存储器相比,3D RRAM可以在存储器内部进行运算,且具有更高的读取速率和更低的能耗,为解决冯诺依曼架构的瓶颈问题提供新方案.单个RRAM单元的最大和最小电阻分别达到10 GΩ和10 MΩ,可在多级电阻状态下稳定,以存储多比特位宽的数据.测试结果表明,带符号位的浮点数的卷积运算系统的精度可以达到99.8%,测试中3D RRAM模型的峰值读取速度为0.529 MHz. 展开更多
关键词 3D RRAM 存算一体 带符号位的浮点数卷积运算 多级电阻 峰值读取速度
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半导体存储器技术 被引量:4
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作者 刘明 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期62-65,共4页
半导体存储器是市场份额最大的单一集成电路产品,广泛应用于信息、航空/航天、军事/国防、新能源和科学研究等领域,有着巨大的市场。概述了DRAM和闪存、新型非易失存储器的发展现状及课题组在存储器领域的相关进展。
关键词 易失存储器 非易失存储器 3D NAND RRAM
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基于阻变效应非挥发性存储器的研究概述 被引量:1
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作者 陈心满 赵灵智 牛巧利 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第15期19-26,共8页
随着半导体技术节点的推进,传统的半导体存储技术已经满足不了人们对便携式信息产品的要求。阻变式存储器(RRAM)作为一种新的存储技术,其器件具有结构简单、与CMOS工艺兼容、可高密度集成以及快速存储等优势,引起人们广泛的研究兴趣并... 随着半导体技术节点的推进,传统的半导体存储技术已经满足不了人们对便携式信息产品的要求。阻变式存储器(RRAM)作为一种新的存储技术,其器件具有结构简单、与CMOS工艺兼容、可高密度集成以及快速存储等优势,引起人们广泛的研究兴趣并成为国内外研究的热点领域。就目前RRAM器件的研究现状,从RRAM器件的基本工作原理、微观物理机制、实际应用所遭遇的挑战以及新型RRAM器件等方面进行了简要评述。 展开更多
关键词 RRAM存储器 阻变效应 电阻存储物理机制
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CC-BIOS中显示器控制模块的剖析 被引量:1
10
作者 钱培德 《网络新媒体技术》 1985年第6期8-20,共13页
一、总述CC—BIOS中的显示器控制模块(亦称CRT控制模块)是对ROM—BIOS中的显示器控制模块作了较大的扩充后形成的,主要是扩充了显示汉字的功能。由于在显示汉字时,显示器必须工作在图形方式下,而ROM-BIOS的显示器控制模块基本上是在字... 一、总述CC—BIOS中的显示器控制模块(亦称CRT控制模块)是对ROM—BIOS中的显示器控制模块作了较大的扩充后形成的,主要是扩充了显示汉字的功能。由于在显示汉字时,显示器必须工作在图形方式下,而ROM-BIOS的显示器控制模块基本上是在字符方式下工作的。 展开更多
关键词 控制模块 CRT 图形方式 地址 功能块 光标定位 机内码 RRAM 寄存器 BIOS
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一种基于斯坦福RRAM模型的参数提取方法
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作者 孙海燕 张硕 +1 位作者 张晓波 戴澜 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第8期670-675,共6页
阻变随机存取存储器(RRAM)是一种新型非易失性存储器件,比主流的闪存(Flash)器件具有更快的读/写速度、更低的编程电压和功耗。然而由于工艺不成熟等因素,RRAM准确的器件模型需要在已有的斯坦福物理模型基础上,对多达6个曲线拟合参数反... 阻变随机存取存储器(RRAM)是一种新型非易失性存储器件,比主流的闪存(Flash)器件具有更快的读/写速度、更低的编程电压和功耗。然而由于工艺不成熟等因素,RRAM准确的器件模型需要在已有的斯坦福物理模型基础上,对多达6个曲线拟合参数反复进行调整,具有一定的建模难度。提出了一种简并参数的建模方法,通过器件实测数据计算出其中4个曲线拟合参数I_(0)、g_(0)、γ_(0)、β。该方法大大降低了将物理模型适配为实际模型的建模难度,且由于基于实测数据,该建模方法理论上对不同工艺具有适配性。最后在不同工艺条件下制作了基于HfO_(x)材料的RRAM器件,并验证了该方法的有效性、先进性和准确性。 展开更多
关键词 阻变随机存取存储器(RRAM) 非易失性存储器 器件模型 HfOx材料 导电细丝理论
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(001)取向TiO_2薄膜水热生长机理及其忆阻性能
12
作者 陈宝龙 武卫兵 +1 位作者 陈晓东 张楠楠 《山东化工》 CAS 2014年第2期1-4,共4页
通过氟基水热法合成出(001)取向的锐钛矿TiO2薄膜,讨论了薄膜的生长机理和忆阻性能。水热生长结果表明,预沉积无定形种子层增加了薄膜致密度,氟离子选择吸附促使TiO2薄膜的取向生长。薄膜的忆阻特性检测表明,(001)取向的TiO2薄膜忆阻单... 通过氟基水热法合成出(001)取向的锐钛矿TiO2薄膜,讨论了薄膜的生长机理和忆阻性能。水热生长结果表明,预沉积无定形种子层增加了薄膜致密度,氟离子选择吸附促使TiO2薄膜的取向生长。薄膜的忆阻特性检测表明,(001)取向的TiO2薄膜忆阻单元具有良好的开关特性,稳定性良好。氟基水热法制备TiO2薄膜,设备和工艺简单,成本低,在忆阻器领域会有很好的应用潜力。 展开更多
关键词 TIO2 取向 水热合成 RRAM
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阻变存储阵列的自动化测试系统 被引量:3
13
作者 董大年 汪毓铎 +3 位作者 吕杭炳 姚志宏 冯雪 余兆安 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第12期956-959,共4页
阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4... 阻变存储器(RRAM)是一种新型的不挥发存储技术,研究阻变存储器阵列规模的存储性能以及可靠性问题是推进RRAM实用化的关键。目前通用的基于微控探针台的半导体参数分析的常规测量系统无法完成对阵列的自动化测试。利用半导体参数分析仪(4200-SCS)、开关矩阵以及相关外围电路搭建了一套针对阻变存储阵列的自动测试系统,实现了1Mbit RRAM芯片的初始阻态分布的读取、初始化测试、存储单元的自动化编程/擦除操作。测试结果表明,该测试系统可以实现阻变存储阵列的自动化测试,为进一步工艺参数和编程算法的优化设计奠定基础。 展开更多
关键词 阻变存储(RRAM)阵列 半导体参数分析仪 自动测试系统 可靠性 开关矩阵
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基于第一性原理计算的ZrO_2材料的掺杂阻变特性 被引量:2
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作者 周星 王建军 +1 位作者 高珊 陈军宁 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期760-764,共5页
阻变式随机存储器(RRAM)是目前新型存储器领域的研究热点。基于ZrO2材料,选取Al和Ag作为杂质元素。采用第一性原理方法计算了掺杂条件下ZrO2中氧空位的形成能、氧空位之间的作用能等重要参量。Al(富余)掺杂下,氧空位之间的相互作用能成... 阻变式随机存储器(RRAM)是目前新型存储器领域的研究热点。基于ZrO2材料,选取Al和Ag作为杂质元素。采用第一性原理方法计算了掺杂条件下ZrO2中氧空位的形成能、氧空位之间的作用能等重要参量。Al(富余)掺杂下,氧空位之间的相互作用能成负值,相互吸引抱团形成导电细丝,阻变特性明显改善,氧空位主导细丝形成。这与相关的实验结果是一致的。Ag掺杂下,Ag的金属性强,氧空位之间相互作用能全为正值,相互排斥。通过模拟观察,Ag主导了细丝形成,并改善了ZrO2材料的阻变特性。 展开更多
关键词 阻变式随机存储器(RRAM) 掺杂 导电细丝 相互作用能 氧空位
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铋掺杂对SrTiO_3薄膜微观结构及阻变行为的影响 被引量:2
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作者 张文博 王华 +3 位作者 许积文 刘国保 谢航 杨玲 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1932-1937,共6页
采用溶胶-凝胶及快速退火工艺在p+-Si上制备了Bi掺杂SrTiO_3薄膜,构建了Ag/Sr_(1-x)Bi_xTiO_3/p+-Si结构阻变器件,研究了Bi掺杂量对薄膜微观结构、器件阻变行为及特性的影响。结果表明:Bi掺杂量较低时并未改变Sr_(1-x)Bi_xTiO_3薄膜的... 采用溶胶-凝胶及快速退火工艺在p+-Si上制备了Bi掺杂SrTiO_3薄膜,构建了Ag/Sr_(1-x)Bi_xTiO_3/p+-Si结构阻变器件,研究了Bi掺杂量对薄膜微观结构、器件阻变行为及特性的影响。结果表明:Bi掺杂量较低时并未改变Sr_(1-x)Bi_xTiO_3薄膜的相结构,但随着掺杂比例的增大,晶粒尺寸也明显增大,当掺杂量x=0.16时,有Bi4SrTi4O15及TiO2相形成;不同Bi掺杂量的Ag/Sr_(1-x)Bi_xTiO_3/p+-Si器件均呈现出双极性阻变特性,且有明显的多级阻变行为。随Bi掺杂量的增加,器件的阻变性能逐步提高,当x=0.12时器件的高、低阻态电阻比值最大,达到105左右,并且在2 000次可逆循环测试下,高、低阻态电阻比未出现衰减,表现出良好的抗疲劳特性,但当掺杂量x达到或超过0.16后,器件的性能呈下降趋势。Bi掺杂量的增大会导致器件高阻态时的导电机制从空间电荷效应(SCLC)导电机制(x<0.16)转变为肖特基势垒发射(x=0.16)。器件在低阻态下均遵循欧姆导电机制。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 钛酸锶薄膜 Ag/Sr1-xBixTiO3/p+-Si 铋掺杂 阻变特性 阻变存储器(RRAM)
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基于RRAM PUF的轻量级RFID认证协议 被引量:2
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作者 陈飞鸿 张锋 +1 位作者 陈军宁 吴秀龙 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2021年第1期141-149,共9页
针对当前轻量级的射频识别(RFID)加密方案信息防护手段有限的问题,结合由阻变存储器(RRAM)构成的物理不可克隆函数(PUF),提出了一种新型的轻量级RFID双向认证协议。利用多级响应加密机制实现阅读器与标签之间的安全认证处理。结合RRAM ... 针对当前轻量级的射频识别(RFID)加密方案信息防护手段有限的问题,结合由阻变存储器(RRAM)构成的物理不可克隆函数(PUF),提出了一种新型的轻量级RFID双向认证协议。利用多级响应加密机制实现阅读器与标签之间的安全认证处理。结合RRAM PUF模型,采用了特殊的纠错处理方法提高PUF响应的可靠性并阻止了信息泄露。此外添加了密钥更新机制和异常攻击标识,抵御了追踪攻击和去同步攻击等威胁。经仿真、分析和对比结果表明,该协议可以有效抵抗多种攻击手段,具有较高的安全性和较低的计算成本。 展开更多
关键词 射频识别(RFID) 阻变存储器(RRAM) 物理不可克隆函数(PUF) 安全认证协议 轻量级
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RRAM的氧空位与金属细丝机制SPM的比较 被引量:2
17
作者 李丛飞 傅兴华 +1 位作者 李良荣 赵海臣 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期24-29,共6页
应用扫描探针显微镜(SPM)技术实现了氧化物阻变薄膜局部区域高低阻态的互相转变。通过电激励、编程和擦除等操作,控制细丝的产生和断裂,实现了阻变薄膜局域的重复编程/擦除操作。用该方法分别研究了氧空位机制与金属导电细丝机制的氧化... 应用扫描探针显微镜(SPM)技术实现了氧化物阻变薄膜局部区域高低阻态的互相转变。通过电激励、编程和擦除等操作,控制细丝的产生和断裂,实现了阻变薄膜局域的重复编程/擦除操作。用该方法分别研究了氧空位机制与金属导电细丝机制的氧化物薄膜的阻变特性,对两种机制做了对比研究。结果表明:在阻变存储器(RRAM)中氧空位机制在导电细丝和数据密度方面要高于金属细丝机制。同时,金属细丝机制阻变薄膜部分区域因编程/擦除操作发生了永久性形貌变化,可能对阻变器件的电极产生永久性破坏,这说明氧空位机制阻变薄膜在未来的高密度存储上具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 阻变存储器(RRAM) 导电原子力显微镜(CAFM) 扫描探针显微镜(SPM) 阻变机制 氧空位机制 金属细丝机制
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用于高密度RRAM单端式可编程灵敏放大器设计 被引量:1
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作者 马文龙 张锋 +1 位作者 杨红官 陈铖颖 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期735-739,共5页
针对现代科技生活中对高密度阻变存储器(RRAM)的应用需求,提出了一种单端式可编程灵敏放大器结构。该灵敏放大器结构无需额外的参考电路,从而避免了参考电流受工艺、温度等条件波动对读出结果的影响。通过在电路中引入可编程模式,使该... 针对现代科技生活中对高密度阻变存储器(RRAM)的应用需求,提出了一种单端式可编程灵敏放大器结构。该灵敏放大器结构无需额外的参考电路,从而避免了参考电流受工艺、温度等条件波动对读出结果的影响。通过在电路中引入可编程模式,使该灵敏放大器结构能够有效克服工艺偏差对存储单元能否正确存储信息的影响,从而实现存储信息的正确读出。该灵敏放大器基于HHNEC 0.13μmCMOS工艺设计实现,并且成功应用于8 Mbit RRAM设计中,通过后仿真验证,结果表明,在2~32μA电流范围内,灵敏放大器最小分辨率可达1μA。 展开更多
关键词 阻变存储器(RRAM) 单端式 可编程 灵敏放大器 阈值电压
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1T1R结构RRAM的故障可测性设计 被引量:2
19
作者 陈传兵 许晓欣 +1 位作者 李晓燕 李颖弢 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期388-393,400,共7页
阻变随机存储器(RRAM)中存在的故障严重影响产品的可靠性和良率。采用精确高效的测试方法能有效缩短工艺优化周期,降低测试成本。基于SMIC 28 nm工艺平台,完成了1T1R结构的1 Mbit RRAM模块的流片。详细分析了测试中的故障响应情况,并... 阻变随机存储器(RRAM)中存在的故障严重影响产品的可靠性和良率。采用精确高效的测试方法能有效缩短工艺优化周期,降低测试成本。基于SMIC 28 nm工艺平台,完成了1T1R结构的1 Mbit RRAM模块的流片。详细分析了测试中的故障响应情况,并定义了一种故障识别表达式。在March算法的基础上,提出针对RRAM故障的有效测试算法,同时设计了可以定位故障的内建自测试(BIST)电路。仿真结果表明,该测试方案具有占用引脚较少、测试周期较短、故障定位准确、故障覆盖率高的优势。 展开更多
关键词 1T1R结构 阻变随机存储器(RRAM) 内建自测试(BIST) 故障类型 测试算法 故障定位
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GaN衬底上Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_2薄膜的阻变性能与机理研究 被引量:1
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作者 陈晓倩 朱俊 吴智鹏 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期5-8,15,共5页
采用脉冲激光沉积法在n-Ga N衬底上制备了铁电Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_2薄膜,通过测量样品的P-E曲线与I-V特性曲线研究该异质结构的铁电特性及阻变特性。测试结果表明HZO薄膜具有良好的铁电极化特性及双极性电阻开关特性,HZO薄膜的阻值开关比... 采用脉冲激光沉积法在n-Ga N衬底上制备了铁电Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_2薄膜,通过测量样品的P-E曲线与I-V特性曲线研究该异质结构的铁电特性及阻变特性。测试结果表明HZO薄膜具有良好的铁电极化特性及双极性电阻开关特性,HZO薄膜的阻值开关比达10~4。薄膜同时还表现出良好的抗疲劳特性和保持特性,80次翻转后窗口保持同一个数量级,在10~5s内器件仍保持稳定。对薄膜的I-V曲线进行拟合分析,表明该薄膜的导电机理为界面肖特基发射模型。 展开更多
关键词 阻变 铁电 异质结 RRAM 脉冲激光沉积 肖特基发射
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