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用于植入式微型MEMS压力传感器的Parylene复合涂层封装
1
作者 张鹏坤 赵永梅 +3 位作者 尹兴业 赵晓阳 董昭润 王晓东 《微纳电子技术》 2025年第9期17-28,共12页
用于血压监测的微型微机电系统(MEMS)压力传感器依赖可靠的封装来实现更准确的实时监测。Parylene涂层凭借其生物相容性和低渗透性,成为封装的理想选择之一,然而较差的附着力限制了其应用。提出了一种增强附着力的Parylene复合涂层封装... 用于血压监测的微型微机电系统(MEMS)压力传感器依赖可靠的封装来实现更准确的实时监测。Parylene涂层凭借其生物相容性和低渗透性,成为封装的理想选择之一,然而较差的附着力限制了其应用。提出了一种增强附着力的Parylene复合涂层封装方案,提升了传感器的精度和热稳定性。通过比较不同Parylene涂层的附着力和薄膜应力,以及评估在常温(25℃)和人体温度范围(34~42℃)下不同涂层封装的传感器的性能,得到性能表现优异的涂层方案,并进行了相应机理解释。实验结果表明,不同Parylene涂层封装的器件热零点漂移性能均有显著提高;其中,经Parylene C1F5+A174复合涂层封装的器件精度提升明显,并在人体温度范围内表现出较好的灵敏度和良好的热稳定性,可为血压监测压力传感器提供更好的封装保护。 展开更多
关键词 植入式压力传感器 微机电系统(MEMS)封装 parylene涂层 界面黏附强度 血压监测
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Parylene真空气相沉积工艺技术
2
作者 何燕春 代文龙 袁莓婷 《中国军转民》 2025年第6期54-55,共2页
本文研究分析了Parylene材料各型号特点并对比其优劣势,通过材料性能分析、涂层三防性能试验等验证了Parylene真空气相沉积工艺的优异性,同时从生产工艺出发分析了Parylene真空气相沉积工艺实施难点、问题,并给出实际解决方案。
关键词 真空气相沉积 parylene材料 三防涂层
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硅烷偶联剂KH550对Parylene C膜与金属铝基体结合强度的影响 被引量：15
3
作者 吉祥波 鲜晓斌 +1 位作者 唐贤臣 帅茂兵 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期57-59,共3页
采用拉开法分析了KH550(γ-氨丙基三乙氧基硅烷)偶联剂浓度对Parylene C膜与金属铝基体间结合强度的影响,采用拉曼光谱(Raman)和红外光谱(FT-IR)分析了偶联剂在膜和基体间的作用机理。研究结果表明,使用10%的KH550偶联剂可提高Parylene ... 采用拉开法分析了KH550(γ-氨丙基三乙氧基硅烷)偶联剂浓度对Parylene C膜与金属铝基体间结合强度的影响,采用拉曼光谱(Raman)和红外光谱(FT-IR)分析了偶联剂在膜和基体间的作用机理。研究结果表明,使用10%的KH550偶联剂可提高Parylene C膜与铝基体的结合强度到7.5MPa。其增强作用机理为KH550偶联剂的烷氧基团水解后,-Si-OH与基体的Al-O键发生化学作用生成-Si-O-Al键,-NH2能与Parylene C膜分子间形成氢键,从而使Parylene C膜与金属铝之间产生化学键桥连。 展开更多
关键词 parylene C 硅烷偶联剂 结合强度
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沉积压力对Parylene C膜性能的影响 被引量：6
4
作者 唐贤臣 鲜晓斌 +2 位作者 吉祥波 赵宗峰 陈艳平 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期47-48,共2页
采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备Parylene C膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律。结果表明,随着沉积室压力升高,Parylene C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下... 采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备Parylene C膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律。结果表明,随着沉积室压力升高,Parylene C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下降,雾度增大。 展开更多
关键词 parylene C 沉积压力 结晶度
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新型涂敷材料Parylene AF_4的研究进展 被引量：5
5
作者 赵宗峰 鲜晓斌 +2 位作者 唐贤臣 帅茂兵 吉祥波 《现代化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期23-27,共5页
Parylene AF4是一种新型的高分子敷型材料,除了拥有Parylene同系列产品的共同性能外,还具有更优异的抗紫外和抗老化性能。系统介绍了Parylene AF4环二体的合成方法、薄膜制备原理和性能参数,并对其研究的热点领域及应用前景进行了展望。
关键词 parylene AF4 涂敷材料 化学气相沉积 沉积动力学
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基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作 被引量：5
6
作者 芮岳峰 王亚军 +1 位作者 刘景全 杨春生 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第5期422-426,共5页
在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微... 在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微电极有利于形成和神经组织的良好接触,并且相比同底面积的平板电极,表面积增加为2倍,这有利于降低界面阻抗,降低系统功耗.使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料,它具有良好的生物相容性和柔性,可以降低对神经组织的损害.实验结果表明,与此半球形微电极底面积大1.3倍的平板电极相比,半球形微电极的界面阻抗下降了55%,并且界面阻抗随着微电极顶部开口直径的变化而变化.使用Comsol有限元软件进行了电极/组织液液面流出电流密度仿真,仿真结果也表明,微电极的流出电流密度也随着微电极顶部开口直径的变化而变化,因此可以通过调整微电极顶部开口直径来调节电流密度,从而满足不同部位需要不同电流密度刺激的要求. 展开更多
关键词 神经工程 MEMS parylene 微电极阵列
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新型涂层Parylene薄膜表面改性研究进展 被引量：4
7
作者 张立生 周元林 +1 位作者 王恩泽 刘剑 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期112-114,共3页
Parylene薄膜是电子产品包封和器件上不可缺少的组成部分,也是生物传感器上具有很好生物相容性的材料,还是投入应用的防护材料中最优秀的涂层材料之一。简要介绍了Parylene薄膜的优异性能,分析了其存在的主要问题,即表面化学惰性、粘接... Parylene薄膜是电子产品包封和器件上不可缺少的组成部分,也是生物传感器上具有很好生物相容性的材料,还是投入应用的防护材料中最优秀的涂层材料之一。简要介绍了Parylene薄膜的优异性能,分析了其存在的主要问题,即表面化学惰性、粘接性能差,表面能有待进一步提高,指出表面改性是改善上述问题的有效途径;综述了国内外对Parylene薄膜表面改性研究的最新进展,并讨论了各改性方法的局限。 展开更多
关键词 涂层 parylene 表面改性 等离子体 表面能
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Parylene F薄膜介电材料的制备与研究 被引量：2
8
作者 赵宗峰 鲜晓斌 +1 位作者 唐贤臣 吉祥波 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B06期477-480,共4页
通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜,采用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了表面形貌,并用红外光谱(IR)、X射线光电子能谱(XPS)及热重分析仪(TGA)等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征,阻抗分析仪测试了薄膜的介电参... 通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜,采用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了表面形貌,并用红外光谱(IR)、X射线光电子能谱(XPS)及热重分析仪(TGA)等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征,阻抗分析仪测试了薄膜的介电参数。研究结果表明化学气相沉积方法制备的Parylene F薄膜是一种致密光滑、性能较优、易于成型且具有较大潜在应用前景的介电材料。 展开更多
关键词 介电材料 parylene F薄膜 化学气相沉积
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Parylene C膜的光氧老化行为 被引量：2
9
作者 曹琼华 徐瑞娟 王建华 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期76-79,共4页
利用紫外-可见吸收光谱(UV-VIS)、X光电子能谱(XPS)及热裂解-气相色谱/质谱联用测试分析技术(PY-GC/MS),对经过氙灯照射的Parylene C膜的紫外吸收、表面元素组成和含量以及热裂解的产物进行了分析研究。实验结果表明,Parylene C膜在光... 利用紫外-可见吸收光谱(UV-VIS)、X光电子能谱(XPS)及热裂解-气相色谱/质谱联用测试分析技术(PY-GC/MS),对经过氙灯照射的Parylene C膜的紫外吸收、表面元素组成和含量以及热裂解的产物进行了分析研究。实验结果表明,Parylene C膜在光照过程中会被氧化,表面出现了"黄化"现象,其表面的氧含量随着光照时间的增加而增加,随后趋于稳定,而裂解产物中氧化碎片的量首先出现了一个最大值,而后迅速减小。 展开更多
关键词 高分子材料 parylene C膜 光氧化 老化产物
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钠-萘溶液处理对Parylene C膜性能的影响 被引量：1
10
作者 唐贤臣 陈慧 +1 位作者 张立生 谢金华 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期118-120,共3页
化学气相沉积制备的Parylene C膜(简称PC膜)表面能低,与其它材料的粘接强度低,钠-萘溶液处理是提高聚合物表面能的常用方法,但需要研究此种处理是否影响PC膜本身的相关性能。考查了钠-萘溶液处理对PC膜性能的影响。结果表明:表面处理使P... 化学气相沉积制备的Parylene C膜(简称PC膜)表面能低,与其它材料的粘接强度低,钠-萘溶液处理是提高聚合物表面能的常用方法,但需要研究此种处理是否影响PC膜本身的相关性能。考查了钠-萘溶液处理对PC膜性能的影响。结果表明:表面处理使PC膜表面能得到明显提高(水接触角降低),与氟树脂的粘接力明显改善,同时,对PC膜的热稳定性、气体阻隔性、力学性能、透光性能等都没有明显影响。 展开更多
关键词 parylene C 钠-萘 表面改性 性能
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基于Parylene封装的宽频带MEMS矢量水听器 被引量：1
11
作者 王任鑫 刘源 +3 位作者 张国军 刘俊 薛晨阳 张文栋 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第8期16-18,共3页
针对目前水听器的聚氨酯封装所导致的窄频带问题,提出一种新的高疏水Parylene薄膜无透声帽封装矢量水听器,即利用Parylene薄膜的淀积高保形性、低渗透性和高绝缘性实现无透声帽封装,解决透声帽带来共振峰引入问题,拓宽水听器的频带。实... 针对目前水听器的聚氨酯封装所导致的窄频带问题,提出一种新的高疏水Parylene薄膜无透声帽封装矢量水听器,即利用Parylene薄膜的淀积高保形性、低渗透性和高绝缘性实现无透声帽封装,解决透声帽带来共振峰引入问题,拓宽水听器的频带。实验结果表明:水听器的共振峰由450 Hz提高到了1 400 Hz。 展开更多
关键词 parylene 宽频带 微机电系统 矢量水听器
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Parylene包裹起搏器处理囊袋反复破溃一例 被引量：1
12
作者 赵亮 廖德宁 +3 位作者 陈金明 杜荣增 张家友 吴宗贵 《中国心脏起搏与心电生理杂志》 2007年第1期3-3,共1页
报道1例因起搏器囊袋反复破溃者,以Parylene包裹起搏器金属表面后治愈,包裹后电极双极起搏夺获,单极起搏失夺获。提示:起搏器金属过敏可能是囊袋反复破溃的原因,高聚物涂层材料包裹起搏器是一种有效的治疗方法。
关键词 心血管病学 parylene 起搏器 夺获
暂未订购
基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺 被引量：1
13
作者 苏宇锋 陈文元 《机械制造》 北大核心 2004年第12期25-28,共4页
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片... 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。 展开更多
关键词 电磁驱动 微驱动器 parylene振动膜
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Parylene一种最优质的三防材料 被引量：6
14
作者 杨兵论 《舰船电子工程》 2008年第2期156-158,168,共4页
介绍三防技术在国防工业中的重要性,分析Parylene涂层的真空沉积机理。
关键词 parylene 三防工艺 真空沉积
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气态二聚体裂解温度对Parylene C膜力学和透气性能的影响
15
作者 吉祥波 陈志 +1 位作者 陈慧 唐贤臣 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期77-80,共4页
通过控制气态环状二聚体原料的裂解温度,在不同裂解温度下合成Parylene C膜,分析了裂解温度对膜的微观组织、拉伸性能和透气性能的影响。研究结果表明,当温度低于600℃时,原料裂解不充分,膜中存在大量未裂解原料的球状聚集体,导致膜的... 通过控制气态环状二聚体原料的裂解温度,在不同裂解温度下合成Parylene C膜,分析了裂解温度对膜的微观组织、拉伸性能和透气性能的影响。研究结果表明,当温度低于600℃时,原料裂解不充分,膜中存在大量未裂解原料的球状聚集体,导致膜的拉伸强度降低,气体透过率较高;当裂解温度达到720℃,气态原料存在部分过度裂解,裂解温度在630℃~690℃时,原料的裂解较充分,而且过裂解程度较小,制备的膜综合性能优异。 展开更多
关键词 parylene C 透气性能 裂解温度 化学气相沉积
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Parylene敷形涂层 被引量：15
16
作者 吴礼群 《电子机械工程》 2004年第6期51-53,61,共4页
Parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了Parylene涂层的性能,对Parylene涂层的沉积过程、沉积设备和Parylene涂层的应用领域进行了论述,并对Parylene涂层的... Parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了Parylene涂层的性能,对Parylene涂层的沉积过程、沉积设备和Parylene涂层的应用领域进行了论述,并对Parylene涂层的性能与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层的性能进行了比较。 展开更多
关键词 parylene 气相沉积 敷形涂层
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Parylene高频电路防护工艺研究进展 被引量：7
17
作者 仝晓刚 《电子工艺技术》 2011年第5期272-276,共5页
从前处理、升华温度、裂解温度、沉积压力、基体温度和膜层厚度等方面讨论了Parylene处理技术在国内外高频电路防护方面的应用概况。重点介绍了这些工艺要素与Parylene膜层性能的相关性,并指出了膜层厚度及均匀度是影响高频电路防护的... 从前处理、升华温度、裂解温度、沉积压力、基体温度和膜层厚度等方面讨论了Parylene处理技术在国内外高频电路防护方面的应用概况。重点介绍了这些工艺要素与Parylene膜层性能的相关性,并指出了膜层厚度及均匀度是影响高频电路防护的关键因素,膜层厚度需要通过试验进行确定,简要论述了Parylene膜层的沉积机理与Parylene处理技术在毫米波电路防护上应用的工艺流程。同时指出了Parylene处理技术在高频电路防护应用中存在的不足之处,为以后的研究指明了方向。 展开更多
关键词 parylene 电路防护 化学气象沉积 沉积压力
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光氧老化的Parylene C膜结构研究
18
作者 曹琼华 徐瑞娟 +1 位作者 王建华 刘勇 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期48-51,共4页
计算了8类不同Parylene C膜光氧老化产物的几何构型、电子结构以及键离解能,并通过热重(TG)和热裂解气相色谱/质谱(PGC/MS)等手段研究了老化样品的热解过程和热解产物。计算结果和实验数据显示,主链上的CH2-CH2链节为整个体系中的薄弱环... 计算了8类不同Parylene C膜光氧老化产物的几何构型、电子结构以及键离解能,并通过热重(TG)和热裂解气相色谱/质谱(PGC/MS)等手段研究了老化样品的热解过程和热解产物。计算结果和实验数据显示,主链上的CH2-CH2链节为整个体系中的薄弱环节,氧化后该链节变得更不稳定,而且氧化后Parylene C膜主链上生成了■、■等含氧基团。 展开更多
关键词 高分子材料 parylene C膜 光氧化 结构
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Parylene膜光降解研究进展
19
作者 曹琼华 徐瑞娟 王建华 《材料导报（纳米与新材料专辑）》 EI 2008年第2期360-363,共4页
综述了国内外Parylene膜光降解的研究现状和进展,介绍了Parylene膜光降解的机理和一些直观现象,并阐述了光解后Parylene膜的光学性能、热力学性能、电学性能以及透湿透气等性能的变化,为以后Parylene膜的光降解研究提供了方向,为设计使... 综述了国内外Parylene膜光降解的研究现状和进展,介绍了Parylene膜光降解的机理和一些直观现象,并阐述了光解后Parylene膜的光学性能、热力学性能、电学性能以及透湿透气等性能的变化,为以后Parylene膜的光降解研究提供了方向,为设计使用条件提供了依据。 展开更多
关键词 高分子材料 parylene膜 光降解 机理 性能
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刍议Parylene涂覆材料及其应用 被引量：1
20
作者 贾宝栋 《冶金与材料》 2020年第6期159-160,共2页
Parylene的中文名字是聚对二甲基苯类,它是一种防护性能优越的高分子材料。而Parylene涂覆材料在物理机械、耐溶性、绝缘性等方面都展现出了明显的优势,因此在活性材料防护、电子集成电路、文物保护等多个领域当中实现了广泛应用。这与P... Parylene的中文名字是聚对二甲基苯类,它是一种防护性能优越的高分子材料。而Parylene涂覆材料在物理机械、耐溶性、绝缘性等方面都展现出了明显的优势,因此在活性材料防护、电子集成电路、文物保护等多个领域当中实现了广泛应用。这与Parylene材料特殊的结构有关,研究人员在该结构的分子式当中引入不同的基团和侧链就可以得到不同结构的系列膜,从而使材料具有多种不同的特征。基于此,文章对Parylene涂覆材料的性能及其应用等问题进行了分析与研究。 展开更多
关键词 parylene 涂覆材料 特殊性能 实际应用
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