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PBII固体润滑膜的结构及真空摩擦性能 被引量:3
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作者 夏立芳 李光 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期481-484,共4页
利用PBII技术制备了TiN/DLC和TiN/Ag固体润滑膜 ,研究了膜层的成分结构及真空条件下的摩擦性能 .结果表明 :PBII有效地实现了表层润滑膜与基体之间成分和结构的过渡 ;真空条件下 ,接触面光滑(Ra <0 .1μm)的DLC与Ag之间的摩擦系数为 ... 利用PBII技术制备了TiN/DLC和TiN/Ag固体润滑膜 ,研究了膜层的成分结构及真空条件下的摩擦性能 .结果表明 :PBII有效地实现了表层润滑膜与基体之间成分和结构的过渡 ;真空条件下 ,接触面光滑(Ra <0 .1μm)的DLC与Ag之间的摩擦系数为 0 .0 9左右 ,DLC膜之间的摩擦系数也在 0 .0 9附近 ,且TiN/DLC润滑膜互为摩擦副的耐磨性能高于TiN/DLC和TiN/Ag润滑膜的配对 ;接触面较为粗糙 (Ra >0 .8μm) 的摩擦副分别配以TiN/DLC和TiN/Ag润滑膜 ,可获得良好的真空运转寿命 . 展开更多
关键词 固体润滑膜 DLC膜 pbii XPS 类金刚石碳膜 膜层结构 摩擦性能 航天材料
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PBII制备TiN_x/DLC多层膜的结构及摩擦学性能 被引量:7
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作者 李光 孙跃 +1 位作者 夏立芳 高超 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2003年第1期20-24,共5页
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5k... 采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5kV制得的DLC膜具有较多的C-H键结构,因而硬度最低,仅有8 3GPa;而-15kV的DLC膜由于含有较多的sp3键,获得了最高的显微努氏硬度(23 6GPa).DLC膜与GCr15钢球大气下的摩擦因数为0 17左右,其磨损性能由于TiNx过渡层引入而显著提高. 展开更多
关键词 PBⅡ TiNx/DLC多层膜 结构 等离子体基离子注入 DLC膜 喇曼光谱 摩擦性能 类金刚石碳 30CRMNSI钢 氮化钛
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用PBII方法在硼膜中注入氮形成BN的结构
3
作者 田晶泽 夏立芳 +2 位作者 马欣新 孙跃 孙明仁 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2000年第2期16-20,共5页
用电子束蒸发纯硼 ,在硅片上沉积不同厚度的硼膜 ,然后用等离子体基离子注入 (PBⅡ )技术在硼膜上注入氮以形成氮化硼 (BN) .用XPS分析膜的成分深度分布及化学价态 ;用傅里叶变换红外 (FTIR)透射谱分析膜的结构 .氮在膜中呈类似高斯分... 用电子束蒸发纯硼 ,在硅片上沉积不同厚度的硼膜 ,然后用等离子体基离子注入 (PBⅡ )技术在硼膜上注入氮以形成氮化硼 (BN) .用XPS分析膜的成分深度分布及化学价态 ;用傅里叶变换红外 (FTIR)透射谱分析膜的结构 .氮在膜中呈类似高斯分布 ,随着注入电压增大 ,膜的N/B比增大且影响氮在膜中的分布 ,在较高的注入电压时 ,膜基间产生界面混合 .对XPSB1s谱进行Gauss Lorentz拟合表明 :硼在膜中以BN及游离态两种形式存在 .FTIR分析结果表明 :当注入电压较低 ,时间较短时 ,膜中存在非晶态形式的氮化硼 (a -BN) ;增大注入电压及注入时间 ,向六方形式的氮化硼 (h -BN)转化 ;原始硼膜的厚度小有助于h -BN的形成 . 展开更多
关键词 等离子体基离注入 FTIR 氮化硼薄膜 结构 硅片
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Tribological Behavior of Binary B-C Films Deposited by Sputtering-PBII Hybrid System
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作者 Honei Chin Satoshi Yoshida Shuichi Watanabe 《Materials Sciences and Applications》 2018年第9期723-731,共9页
In this article, the authors report on the use of Radio Frequency (RF) Magnetron Sputtering combined with Plasma-Based Ion Implantation (PBII) technique to synthesize the Boron-Carbon (B-C) films. High purity of boron... In this article, the authors report on the use of Radio Frequency (RF) Magnetron Sputtering combined with Plasma-Based Ion Implantation (PBII) technique to synthesize the Boron-Carbon (B-C) films. High purity of boron carbide (99.5%) disk was used as a target with an RF power of 300 W. The mixtures of Argon (Ar)-Methane (CH4) ware used as reactive gas under varying CH4 partial flow pressure at the specified range of 0 - 0.15 Pa and fixed total gas pressure and total gas flow at 0.30 Pa and 30 sccm, respectively. The effect of CH4 flow ratio on the friction coefficient of B-C films was studied. The friction coefficient of the film depended on the concentration of B. When it was 10% or lower, the coefficient decreased to 0.2 or lower. In this concentration range of B, the specific wear rate also decreased to the order of 10-7 mm3/Nm, and excellent wear resistance was displayed. 展开更多
关键词 BINARY Boron-Carbon (B-C) Film SPUTTERING Plasma-Based Ion IMPLANTATION (pbii) Hybrid System Bonding Structure Friction Performance
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Deposition and Thermal Stability of DLC/Si-N Composite Films Synthesized Using a Sputtering-PBII Hybrid System
5
作者 Anas Mohammed A. Melih Keita Yamada Shuichi Watanabe 《Materials Sciences and Applications》 2019年第12期746-755,共10页
Diamond-like carbon (DLC) is a metastable amorphous material that exhibits unique properties. However, there are many limitations regarding the use of this material due to factors such as its tribological characterist... Diamond-like carbon (DLC) is a metastable amorphous material that exhibits unique properties. However, there are many limitations regarding the use of this material due to factors such as its tribological characteristics at high temperature and limited thermal stability. In this study, the thermal stability and tribological properties of DLC/silicon-nitrogen (DLC/Si-N) composite films were investigated and compared to those of pure DLC films. All the films were synthesized using a combination of radio frequency (RF) magnetron sputtering and plasma-based ion implantation (PBII) (a so-called sputtering-PBII hybrid system) which is newly developed by us. A high purity silicon nitride (99.9%) disk was used as the target, applying an RF power in the range of 500 - 700 W and a negative pulsed bias voltage of 5 kV to the substrate. An Ar-CH4 mixture was used as the reactive gas. The CH4 partial pressure was varied between 0 and 0.15 Pa, while the total gas pressure and total gas flow were fixed at 0.30 Pa and 30 sccm, respectively. The structures of the resulting films were characterized using Raman spectroscopy, while the thermal stabilities were assessed using thermogravimetric-differential thermal analysis (TG-DTA) and friction coefficients were obtained via ball-on-disk friction tests. The results indicate that the DLC/Si-N composite films produced in this work exhibit improved thermal stability relative to that of pure DLC owing to the presence of thermally stable atomic-scale Si-N compound in the carbon main flame networks. A DLC/Si-N film containing approximately 11 at.%Si and 18.5 at.%N shows good thermal stability in air over 800&deg;C up to 1100°C, together with excellent tribological performance at 500°C in air. Overall, the data demonstrate that DLC/Si-N composite films offer improved thermal stability and superior tribological performance at high temperatures. 展开更多
关键词 Diamond-Like Carbon DLC/Si-N Tribology Sputtering-pbii Hybrid System
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单晶硅表面等离子体基离子注入碳纳米薄膜的摩擦学特性 被引量:32
6
作者 廖家轩 刘维民 +2 位作者 徐洮 严洁 薛群基 《摩擦学学报》 CSCD 北大核心 2004年第2期115-118,共4页
用等离子体基离子注入(PBII)技术在单晶硅表面制备了碳纳米薄膜,考察了薄膜在不同载荷及速度下同Si3N4球对摩时的摩擦学性能,并采用扫描电子显微镜观察分析了磨痕表面形貌.结果表明,所制备的碳纳米薄膜光滑致密,为高硬度富弹性的... 用等离子体基离子注入(PBII)技术在单晶硅表面制备了碳纳米薄膜,考察了薄膜在不同载荷及速度下同Si3N4球对摩时的摩擦学性能,并采用扫描电子显微镜观察分析了磨痕表面形貌.结果表明,所制备的碳纳米薄膜光滑致密,为高硬度富弹性的类金刚石碳(DLC)膜,薄膜通过C-Si键合作用而同硅片表面形成牢固结合,且成分及结构呈现某种梯度变化特征,单晶硅经改性后摩擦学性能大幅度改善:在低载荷(0.5N)下其耐磨寿命达3h以上,摩擦系数处于0.10~0.30之间,磨痕不明显;在高载荷(4N)下其耐磨寿命及摩擦系数(0.03~0.20之间)均明显降低.这是由于较高载荷或滑动速度导致DLC薄膜石墨化加剧所致。 展开更多
关键词 单晶硅 等离子体基离子注入(pbii) 碳纳米薄膜 摩擦学性能
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等离子体基离子注入法制备SOI材料 被引量:1
7
作者 于伟东 王曦 +1 位作者 陈静 张苗 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期347-349,353,共4页
注氧隔离法 (SIMOX)和体硅智能剥离法 (smart cut)是目前制备绝缘体上的硅 (SOI)材料的最重要的两种方法。而离子注入是其中最主要工艺过程。本文简述了等离子体基离子注入 (PBII)在制备SOI的两种方法中应用的国内外研究现状。讨论了两... 注氧隔离法 (SIMOX)和体硅智能剥离法 (smart cut)是目前制备绝缘体上的硅 (SOI)材料的最重要的两种方法。而离子注入是其中最主要工艺过程。本文简述了等离子体基离子注入 (PBII)在制备SOI的两种方法中应用的国内外研究现状。讨论了两种方法中需要考虑的共性问题 ,包括注入剂量的均匀性、等离子体中离子的选择、单一能量的获得以及避免C、N、O及金属粒子的污染等。并且针对SIMOX和smart cut各自的工艺特点 ,分别讨论了不同工艺参数的选择。 展开更多
关键词 等离子体基离子注入 SOI材料 pbii SIMOX SMART-CUT
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氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性 被引量:7
8
作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期324-329,共6页
对铝合金 L Y12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入 ,从而在铝合金表面形成氮化铝 (Al N) /类金刚石碳膜 (DL C)改性层 .考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性 ;用 X射线光电子能谱仪和小掠射角 X射线衍射仪... 对铝合金 L Y12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入 ,从而在铝合金表面形成氮化铝 (Al N) /类金刚石碳膜 (DL C)改性层 .考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性 ;用 X射线光电子能谱仪和小掠射角 X射线衍射仪分析了 Al N/ DL C改性层的成分及相结构 ;用激光 Ram an光谱仪分析了表面单一碳层及磨痕的结构 .结果表明 :Al N/ DL C改性层总厚度达 80 0 nm,最表层为厚 40 0 nm的 DL C薄膜 ,过渡层主要由 Al4C3、β- C3N4、Al2 O3及 Al N等组成 ,注氮层由 Al2 O3和 Al N等组成 ;表面纳米硬度可达 17.4GPa,比 L Y12的硬度高近 10倍 ;在低载荷下 ,改性层的耐磨寿命与 L Y12合金相比提高了约 2 0倍 ,摩擦系数降低了 3~ 5倍 ,耐磨性提高了近 170倍 ;随着滑动载荷的增加 ,其耐磨寿命和摩擦系数逐渐减小 ,而高的承载能力得以保持 .DL C薄膜的耐磨减摩作用、过渡层及注氮层的支撑作用以及 DL 展开更多
关键词 铝合金 等离子体基离子注入 DLC薄膜 摩擦学性能 表面改性
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铝合金等离子体基离子注入形成AlN/TiN层及其耐磨性能 被引量:5
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作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第1期75-78,共4页
用X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成AlN/TiN改性层的成分分布及相结构 .在此基础上测量了改性层的纳米硬度 ,并进行了摩擦磨损试验 .结果表明 ,氮和钛都能有效地注入到铝合金... 用X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成AlN/TiN改性层的成分分布及相结构 .在此基础上测量了改性层的纳米硬度 ,并进行了摩擦磨损试验 .结果表明 ,氮和钛都能有效地注入到铝合金里 ,后注入的元素对先注元素的含量和分布有重要影响 .钛、氮同时注入在试样表面形成一层稳定的钛、氮化合层 .和未改性试样相比 ,所形成的AlN/TiN改性层纳米硬度及承载能力都提高 5倍以上 .在低滑动载荷下 ,摩擦系数减小 70 %以上 ,耐磨性提高近 10倍 ,耐磨寿命提高了近 6倍 ,粘着磨损程度显著减轻 .随着载荷的增加 ,相应的耐磨性能有所降低 .适当的改性层结构及其中分布的TiO2 、TiN、TiAl3、Al2 O3。 展开更多
关键词 铝合金 等离子体基离子注入 纳米硬度 耐磨性 氮化铝/氮化钛层 表面改性
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铝合金等离子体基离子注入氮/钛结构及摩擦学特性 被引量:2
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作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期9-14,共6页
通过X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GXRD)分析测定了铝合金LY12等离子体基离子注入氮再注入钛的改性层成分分布及相组成。测量了纳米硬度 ,进行了摩擦磨损试验及磨痕形貌观察。讨论了磁控靶溅射电流 40mA、40 0mA对改性层... 通过X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GXRD)分析测定了铝合金LY12等离子体基离子注入氮再注入钛的改性层成分分布及相组成。测量了纳米硬度 ,进行了摩擦磨损试验及磨痕形貌观察。讨论了磁控靶溅射电流 40mA、40 0mA对改性层结构和摩擦学性能的影响。结果表明 ,氮在注入层呈高斯分布 ,钛沿注入方向逐渐减少 ,钛的注入使氮的分布展宽 ,在 40 0mA下注钛有钛的沉积层出现。和LY12相比 ,摩擦学性能显著提高 ,粘着磨损程度显著减轻 ,40 0mA下改善幅度更大 ,形成TiO2 、TiN、TiAl3、Al2 O3。 展开更多
关键词 铝合金 等离子体 离子注入 纳米硬度 摩擦学 粘着磨损
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等离子体基高温离子注入研究进展 被引量:1
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作者 孙跃 陈继新 +2 位作者 夏立芳 刘鑫贵 徐淑艳 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期55-61,共7页
综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况 ,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用 ,注入层成分、组织结构、力学性能和抗腐蚀性能随温度提高发生的变化。并对今后的发展趋势作了预测。
关键词 等离子体基离子注入 升温 扩散 组织和性能
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The Structure and Mechanical Properties of Cr4Mo4V Steel Treated by PIII Carbonitriding 被引量:3
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作者 Ken Yukimura 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S1期176-179,共4页
The composition and structure of PIII(plasma immersion ion implantation)carbonitrided Cr4Mo4V steel were analyzed using X-ray photoelectron spectroscopy(XPS),X-ray diffraction(XRD),optical microscopy(OM)and SEM.The re... The composition and structure of PIII(plasma immersion ion implantation)carbonitrided Cr4Mo4V steel were analyzed using X-ray photoelectron spectroscopy(XPS),X-ray diffraction(XRD),optical microscopy(OM)and SEM.The results indicate that the nitride and carbide are dispersion phase precipitation and except formation of compound other implantation atoms dissolve into martensite matrix.The total concentration of carbon and nitrogen is about 30 at%near the surface,and still keeps at about 20 at%even at the depth of 8μm.The effect of treatment temperature,implantation time and ratio of N2 to CH4 on the hardness and wear resistance of carbonitrided layer are investigated.It is found that the hardness of Cr4Mo4V steel increases after treatment.The highest hardness of samples is 22.3 GPa,which is about 1.8 times than initial steel.The dry-wear resistance of the samples is also improved after treatment,and the sample with higher hardness shows the better wear resistance. 展开更多
关键词 Cr4Mo4V STEEL pbii CARBONITRIDING HARDNESS wear resistance
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铝合金等离子体基离子注入形成AlN/TiN层结构研究 被引量:2
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作者 廖家轩 夏立芳 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第5期386-390,共5页
用X射线光电子能谱和小掠射角X射线衍射研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成的AlN/TiN改性层的结构。结果表明 ,N和Ti能注入铝合金表面 ,N在注入层呈类高斯分布 ,而Ti沿注入方向呈梯度递减。后注入的Ti和N对先注入的N的含量和分布... 用X射线光电子能谱和小掠射角X射线衍射研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成的AlN/TiN改性层的结构。结果表明 ,N和Ti能注入铝合金表面 ,N在注入层呈类高斯分布 ,而Ti沿注入方向呈梯度递减。后注入的Ti和N对先注入的N的含量和分布有重要影响。同时注入Ti和N ,能在试样表面形成一层稳定的Ti,N层。所形成的AlN/TiN改性层主要由TiO2 ,TiN ,TiAl3 ,Al2 O3 。 展开更多
关键词 铝合金 等离子体基离子注入 高斯分布 梯度层 AlN/TiN层 结构 氮化铝 氮化钛 表面改性
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A 2-D Pb~Ⅱ Coordination Polymer Constructed by 2,6-Dimethylpyridine-3,5-dicarboxylic Acid 被引量:1
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作者 彭大权 张明星 +2 位作者 陈新 祝怡 杨姗姗 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2012年第6期829-834,共6页
Poly[(μ4-2,6-dimethylpyridine-3,5-dicarboxylato)dihydrate]diaqualead(II)] (1) exhi- bits a two-dimensional (2-D) layer structure in which the asymmetric unit contains one Pbn centre, one 2,6-dimethylpyridine-... Poly[(μ4-2,6-dimethylpyridine-3,5-dicarboxylato)dihydrate]diaqualead(II)] (1) exhi- bits a two-dimensional (2-D) layer structure in which the asymmetric unit contains one Pbn centre, one 2,6-dimethylpyridine-3,5-dicarboxylate (mpdc) ligand and two coordinated water molecules. Each Pbn ion is eight-coordinated and surrounded by eight O atoms from five different mpdc ligands and two terminal water molecules to furnish a distorted square antiprism coordination geometry. The infinite connection of the one-dimensional (1-D) [PbO4(H2O)2]n chains bridged by ligands forms the 2-D [Pb(mpdc)]n layer Structure. In 1, the layers further build up a three- dimensional (3-D) supramolecular architecture via interlaminar hydrogen bonds and π-π stacking. 展开更多
关键词 pyridinedicarboxylate PHOTOLUMINESCENCE pbii
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BOND STRUCTURE OF HYDROGENATED DIAMOND LIKE CARBON FILMS DEPOSITED BY PLASMA BASED ION IMPLANTATION
15
作者 G.Li,L.F.Xia ,X.X.Ma,Y.Sun and Z.J.Zhan Schoolof Materials Science and Engineering, Harbin Institute of Technology , Harbin 150001 ,China 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 1999年第4期551-556,共6页
The bondstructureofhydrogenated diamond likecarbon( DLC) filmsdeposited with plasmabased ionimplantation ( PBII) wascharacterized by Raman spectroscopy andcore level band and valenceband spectrum of XPS. Theresults... The bondstructureofhydrogenated diamond likecarbon( DLC) filmsdeposited with plasmabased ionimplantation ( PBII) wascharacterized by Raman spectroscopy andcore level band and valenceband spectrum of XPS. Theresultsshow thatthe hydrogenated carbon filmspre pared with lower pulse bias, especially zero bias, display polymer like feature. The DLCfilms deposited with 15 kVpulsebiascontainsthehighestdensityofsp3 bonds. Thecore lev elband ( C1s) spectra of allfilmsshifttowardlow bindingenergy after4kVAr+ ion bom barding. The valenceband spectra of hydrogenated DLCfilmsarequite differentfrom thatof diamond and graphite. However, afterion bombarding, besidetwosingle peaksatabout17 0 eVand 12 5 eV(similarto graphite) ,two new sharp peaksappearatabout21 3 eVand 8 0 eV,respectively. Thepeak at8 0 eVcan beconsidertothecontribution duetothe actingofimplanted argon on C Cbondsand C Hbondsin thefilms. 展开更多
关键词 hydrogenated DLCfilms core level band valence band Raman spec troscopy pbii
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Structure and tribological properties of modified layer on 2024 aluminum alloy by plasma-based ion implantation with nitrogen/titanium/carbon 被引量:1
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作者 张玲召 廖家轩 +3 位作者 夏立芳 刘维民 徐洮 薛群基 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2003年第6期1371-1375,共5页
aluminum alloy was implanted with nitrogen then titanium finally carbon by plasma-based ion implantatio to form a gradient layer. The structure and tribological properties of the layer were investigated. Its compositi... aluminum alloy was implanted with nitrogen then titanium finally carbon by plasma-based ion implantatio to form a gradient layer. The structure and tribological properties of the layer were investigated. Its composition profiles and chemical states were analyzed with X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). The surface carbon layer was analyzed by Raman spectrum. The appearances were observed by atomic force microscope (AFM). The surface hardness was measured with the mechanical property microprobe. The dry wear tests against GCr15 steel ball at various sliding loads were performed with a ball-on-disk wear tester in ambient environment. The results show that the thickness of the modified layer is 1 200 nm, the carbon layer is a smooth and compact diamond-like carbon(DLC) films, and the carbon-titanium interface is broadened due to carbon ions implantation, resulting in a good composition and structure transition between DLC films and titanium layer. Surface hardness is improved markedly, with a slow and uniform change. Tribological properties are improved greatly although they reduce with the increase of sliding loads because the modified layer becomes thin rapidly. 展开更多
关键词 铝合金 离子注入 等离子体 涂层 摩擦学性能 显微结构
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