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Implementation of a Smartphone as a Wearable and Wireless Accelerometer and Gyroscope Platform for Ascertaining Deep Brain Stimulation Treatment Efficacy of Parkinson’s Disease through Machine Learning Classification 被引量:5
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作者 Robert LeMoyne Timothy Mastroianni +3 位作者 Cyrus McCandless Christopher Currivan Donald Whiting Nestor Tomycz 《Advances in Parkinson's Disease》 2018年第2期19-30,共12页
Parkinson’s disease manifests in movement disorder symptoms, such as hand tremor. There exists an assortment of therapy interventions. In particular deep brain stimulation offers considerable efficacy for the treatme... Parkinson’s disease manifests in movement disorder symptoms, such as hand tremor. There exists an assortment of therapy interventions. In particular deep brain stimulation offers considerable efficacy for the treatment of Parkinson’s disease. However, a considerable challenge is the convergence toward an optimal configuration of tuning parameters. Quantified feedback from a wearable and wireless system consisting of an accelerometer and gyroscope can be enabled through a novel software application on a smartphone. The smartphone with its internal accelerometer and gyroscope can record the quantified attributes of Parkinson’s disease and tremor through mounting the smartphone about the dorsum of the hand. The recorded data can be then wirelessly transmitted as an email attachment to an Internet derived resource for subsequent post-processing. The inertial sensor data can be consolidated into a feature set for machine learning classification. A multilayer perceptron neural network has been successfully applied to attain considerable classification accuracy between deep brain stimulation “On” and “Off” scenarios for a subject with Parkinson’s disease. The findings establish the foundation for the broad objective of applying wearable and wireless systems for the development of closed-loop optimization of deep brain stimulation parameters in the context of cloud computing with machine learning classification. 展开更多
关键词 Parkinson’s Disease Deep Brain Stimulation WEARABLE and WIRELESS Systems SMARTPHONE machine Learning WIRELESS accelerometer WIRELESS GYROSCOPE Hand Tremor
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Preliminary Network Centric Therapy for Machine Learning Classification of Deep Brain Stimulation Status for the Treatment of Parkinson’s Disease with a Conformal Wearable and Wireless Inertial Sensor 被引量:11
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作者 Robert LeMoyne Timothy Mastroianni +1 位作者 Donald Whiting Nestor Tomycz 《Advances in Parkinson's Disease》 2019年第4期75-91,共17页
The concept of Network Centric Therapy represents an amalgamation of wearable and wireless inertial sensor systems and machine learning with access to a Cloud computing environment. The advent of Network Centric Thera... The concept of Network Centric Therapy represents an amalgamation of wearable and wireless inertial sensor systems and machine learning with access to a Cloud computing environment. The advent of Network Centric Therapy is highly relevant to the treatment of Parkinson’s disease through deep brain stimulation. Originally wearable and wireless systems for quantifying Parkinson’s disease involved the use a smartphone to quantify hand tremor. Although originally novel, the smartphone has notable issues as a wearable application for quantifying movement disorder tremor. The smartphone has evolved in a pathway that has made the smartphone progressively more cumbersome to mount about the dorsum of the hand. Furthermore, the smartphone utilizes an inertial sensor package that is not certified for medical analysis, and the trial data access a provisional Cloud computing environment through an email account. These concerns are resolved with the recent development of a conformal wearable and wireless inertial sensor system. This conformal wearable and wireless system mounts to the hand with the profile of a bandage by adhesive and accesses a secure Cloud computing environment through a segmented wireless connectivity strategy involving a smartphone and tablet. Additionally, the conformal wearable and wireless system is certified by the FDA of the United States of America for ascertaining medical grade inertial sensor data. These characteristics make the conformal wearable and wireless system uniquely suited for the quantification of Parkinson’s disease treatment through deep brain stimulation. Preliminary evaluation of the conformal wearable and wireless system is demonstrated through the differentiation of deep brain stimulation set to “On” and “Off” status. Based on the robustness of the acceleration signal, this signal was selected to quantify hand tremor for the prescribed deep brain stimulation settings. Machine learning classification using the Waikato Environment for Knowledge Analysis (WEKA) was applied using the multilayer perceptron neural network. The multilayer perceptron neural network achieved considerable classification accuracy for distinguishing between the deep brain stimulation system set to “On” and “Off” status through the quantified acceleration signal data obtained by this recently developed conformal wearable and wireless system. The research achievement establishes a progressive pathway to the future objective of achieving deep brain stimulation capabilities that promote closed-loop acquisition of configuration parameters that are uniquely optimized to the individual through extrinsic means of a highly conformal wearable and wireless inertial sensor system and machine learning with access to Cloud computing resources. 展开更多
关键词 Parkinson’s Disease Deep Brain Stimulation WEARABLE and WIRELESS Systems CONFORMAL WEARABLE machine Learning Inertial Sensor accelerometer WIRELESS accelerometer Hand Tremor Cloud Computing Network Centric THERAPY
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Classifying Machine Learning Features Extracted from Vibration Signal with Logistic Model Tree to Monitor Automobile Tyre Pressure 被引量:1
3
作者 P.S.Anoop V.Sugumaran 《Structural Durability & Health Monitoring》 EI 2017年第2期191-208,共18页
Tyre pressure monitoring system(TPMS)is compulsory in most countries like the United States and European Union.The existing systems depend on pressure sensors strapped on the tyre or on wheel speed sensor data.A diffe... Tyre pressure monitoring system(TPMS)is compulsory in most countries like the United States and European Union.The existing systems depend on pressure sensors strapped on the tyre or on wheel speed sensor data.A difference in wheel speed would trigger an alarm based on the algorithm implemented.In this paper,machine learning approach is proposed as a new method to monitor tyre pressure by extracting the vertical vibrations from a wheel hub of a moving vehicle using an accelerometer.The obtained signals will be used to compute through statistical features and histogram features for the feature extraction process.The LMT(Logistic Model Tree)was used as the classifier and attained a classification accuracy of 92.5%with 10-fold cross validation for statistical features and 90.5% with 10-fold cross validation for histogram features.The proposed model can be used for monitoring the automobile tyre pressure successfully. 展开更多
关键词 machine learning Vibration accelerometer Statistical Features Histogram Features Logistic model tree(LMT) Tyre pressure monitoring system
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Distinction of an Assortment of Deep Brain Stimulation Parameter Configurations for Treating Parkinson’s Disease Using Machine Learning with Quantification of Tremor Response through a Conformal Wearable and Wireless Inertial Sensor
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作者 Robert LeMoyne Timothy Mastroianni +1 位作者 Donald Whiting Nestor Tomycz 《Advances in Parkinson's Disease》 2020年第3期21-39,共19页
Deep brain stimulation offers an advanced means of treating Parkinson’s disease in a patient specific context. However, a considerable challenge is the process of ascertaining an optimal parameter configuration. Impe... Deep brain stimulation offers an advanced means of treating Parkinson’s disease in a patient specific context. However, a considerable challenge is the process of ascertaining an optimal parameter configuration. Imperative for the deep brain stimulation parameter optimization process is the quantification of response feedback. As a significant improvement to traditional ordinal scale techniques is the advent of wearable and wireless systems. Recently conformal wearable and wireless systems with a profile on the order of a bandage have been developed. Previous research endeavors have successfully differentiated between deep brain stimulation “On” and “Off” status through quantification using wearable and wireless inertial sensor systems. However, the opportunity exists to further evolve to an objectively quantified response to an assortment of parameter configurations, such as the variation of amplitude, for the deep brain stimulation system. Multiple deep brain stimulation amplitude settings are considered inclusive of “Off” status as a baseline, 1.0 mA, 2.5 mA, and 4.0 mA. The quantified response of this assortment of amplitude settings is acquired through a conformal wearable and wireless inertial sensor system and consolidated using Python software automation to a feature set amenable for machine learning. Five machine learning algorithms are evaluated: J48 decision tree, K-nearest neighbors, support vector machine, logistic regression, and random forest. The performance of these machine learning algorithms is established based on the classification accuracy to distinguish between the deep brain stimulation amplitude settings and the time to develop the machine learning model. The support vector machine achieves the greatest classification accuracy, which is the primary performance parameter, and <span style="font-family:Verdana;">K-nearest neighbors achieves considerable classification accuracy with minimal time to develop the machine learning model.</span> 展开更多
关键词 Parkinson’s Disease Deep Brain Stimulation Wearable and Wireless Systems Conformal Wearable machine Learning Inertial Sensor accelerometer Wireless accelerometer Hand Tremor Cloud Computing Network Centric Therapy Python
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精密加速度计组件自动装配及焊接系统 被引量:1
5
作者 刘正尧 罗怡 +1 位作者 王晓东 钱志龙 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第9期89-97,共9页
悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成... 悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成力、温度传感器和机器视觉的精密装配及焊接系统。采用相机配合转台实现待装配零件视觉测量,完成零件特征点的识别定位;利用精密滑台和转台调整待装配零件位姿;直线电机运动结合力反馈实现装配过程中零件间隙调整以及张紧力控制;开发专用焊接单元,实现在紧凑空间内对微小器件的自动温控焊接。试验结果表明,该系统能够完成加速度计组件自动装配及焊接,装配结果满足技术指标要求,焊点无虚焊,摆组件内边缘相对于磁钢边缘间隙偏差小于10μm,悬丝中心相对于加速度计底座地面位置精度优于20μm,悬丝张紧力偏差控制在±5 mN之内,能够达到产品装配质量要求。 展开更多
关键词 加速度计 精密装配 自动焊接 机器视觉 力反馈 误差测量
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基于单个三轴加速度传感器的身体活动类型识别研究
6
作者 李彦 杨文礼 《河北体育学院学报》 2024年第5期64-72,共9页
目的:采用单个三轴加速度传感器获取身体活动产生的加速度信息,将剧烈程度差别较大的身体活动分为休息(包括静坐、平躺、站立)、步行(包括散步、上楼、下楼)、跑跳(包括快跑和原地跳)3种类型,为评估身体活动水平提供客观依据。方法:使... 目的:采用单个三轴加速度传感器获取身体活动产生的加速度信息,将剧烈程度差别较大的身体活动分为休息(包括静坐、平躺、站立)、步行(包括散步、上楼、下楼)、跑跳(包括快跑和原地跳)3种类型,为评估身体活动水平提供客观依据。方法:使用单个三轴加速度传感器采集44名被试静坐、平躺、站立、散步、上楼、下楼、快跑、原地跳8类身体活动时产生的加速度信息,并进行带通滤波,对滤波后的信号提取信号幅度区域、均值、标准差、三轴相关系数、频域熵等特征量,使用径向基核函数的支持向量机构建身体活动识别模型,并采用交叉验证方法对模型进行验证。结果:采用时频域复合特征子集取得的最高识别率为98.50%,仅采用时域特征子集取得的最高识别率为98.30%,计算分别耗时223 ms和146 ms;窗口大小取5.12 s时识别率最高。结论:单个三轴加速度传感器能够采集丰富的人体活动信息以供识别,建立的径向基核函数支持向量机身体活动类型识别模型能够在自然环境下实时准确划分身体活动类型,能够为身体活动监测提供数据支持。 展开更多
关键词 身体活动识别 支持向量机 加速度传感器
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基于机器视觉的无标记图像低频加速度计动态校准方法 被引量:1
7
作者 陈红江 丁宏权 +3 位作者 曹雄恒 甘逵 吴姗姗 杨明 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第11期107-113,共7页
针对现有的低频加速度计校准方法存在系统复杂、精度有限和校准类型限制的问题,难以满足日益增长的高性能低频加速度计动态校准需求。因此,提出一种基于机器视觉的无标记图像低频加速度计校准方法,通过高精度摄像机拍摄运动序列图像,并... 针对现有的低频加速度计校准方法存在系统复杂、精度有限和校准类型限制的问题,难以满足日益增长的高性能低频加速度计动态校准需求。因此,提出一种基于机器视觉的无标记图像低频加速度计校准方法,通过高精度摄像机拍摄运动序列图像,并建立参考图像与目标图像的感兴趣区域,使用数字图像相关方法进行振动台激励的高精度复现,实现低频加速度计的校准。为验证该方法的有效性和可靠性,与激光干涉法在0.1~10 Hz频率范围内进行对比实验,灵敏度幅值校准平均误差为0.7696%,最大相对误差为1.536%。实验结果表明,机器视觉法可实现在0.1~10 Hz范围内的灵敏度幅值高精度校准。 展开更多
关键词 振动校准 低频加速度计 机器视觉法 激光干涉法
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静电悬浮转子微陀螺及其关键技术 被引量:20
8
作者 崔峰 苏宇锋 +3 位作者 张卫平 吴校生 陈文元 赵小林 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第6期61-67,共7页
静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺... 静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。 展开更多
关键词 微机电系统 微陀螺 微加速度计 转子 静电悬浮
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电容式高过载微机械加速度计的设计与实验 被引量:11
9
作者 陶永康 刘云峰 董景新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期918-925,共8页
针对某些高过载应用场合对微机械加速度计抗冲击能力的要求,设计了一种三轴向抗冲击的梳齿电容式闭环微机械加速度计。通过分析带止档的闭环加速度计冲击响应过程,提出在敏感方向使用悬臂梳齿结构作为柔性缓冲止档可以缓冲冲击过程中微... 针对某些高过载应用场合对微机械加速度计抗冲击能力的要求,设计了一种三轴向抗冲击的梳齿电容式闭环微机械加速度计。通过分析带止档的闭环加速度计冲击响应过程,提出在敏感方向使用悬臂梳齿结构作为柔性缓冲止档可以缓冲冲击过程中微结构间的接触碰撞;在非敏感方向采用结构模态和阻尼分离的设计可减小冲击变形,耗散冲击能量。马歇特锤冲击实验表明,该加速度计能够分别承受3个轴向幅值为13 200g,脉宽约102μs的的加速度冲击,冲击前后偏置漂移在5mV以内。该闭环加速度计在±10g的非线性优于500×10-6,1.5h偏置稳定性为0.27mg。设计的样机基本满足高过载环境下惯性测量的要求。 展开更多
关键词 微机械加速度计 闭环加速度计 三轴向高过载 柔性止档 马歇特锤实验
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MEMS加速度计温漂预测补偿模型 被引量:13
10
作者 徐哲 刘云峰 董景新 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期601-604,610,共5页
温度漂移是影响MEMS加速度计实用效能的关键问题,为提高加速度计的精度和使用范围,需对温漂进行建模和补偿。首先通过温度循环试验对MEMS加速度计温漂特性进行了分析,然后分别采用曲面拟合法、SVM模型和RVM模型建立了温漂预测补偿模型,... 温度漂移是影响MEMS加速度计实用效能的关键问题,为提高加速度计的精度和使用范围,需对温漂进行建模和补偿。首先通过温度循环试验对MEMS加速度计温漂特性进行了分析,然后分别采用曲面拟合法、SVM模型和RVM模型建立了温漂预测补偿模型,最后应用环境温度试验数据对模型进行检验和验证。结果表明:三种方法均能够有效的预测加速度计温漂,补偿后的温漂滞环开口由60 mg分别下降到5 mg、10 mg、15 mg。曲面拟合法简单、精度高,但对系统重复性要求高,且对噪声比较敏感;SVM模型法计算能力强,但计算量较大,模型参数较多;RVM模型法模型参数较少,计算量小,但训练时间较长,且预测精度不如其他两种方法高。 展开更多
关键词 微机械加速度计 温漂 滞环 曲面拟合 支持向量机 相关向量机
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基于机器学习的车辆路面类型识别技术研究 被引量:15
11
作者 王世峰 都凯悦 +1 位作者 孟颖 王锐 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1642-1648,共7页
当车辆在各种不同的路面上行驶时,获知路面类型信息将有助于提高乘车人的安全性和舒适性,不同的路面类型将对车辆的加速、制动及操控等驾驶策略产生影响。基于机器学习的基本原理,提出一种使用加速度传感器和相机特征数据融合对路面类... 当车辆在各种不同的路面上行驶时,获知路面类型信息将有助于提高乘车人的安全性和舒适性,不同的路面类型将对车辆的加速、制动及操控等驾驶策略产生影响。基于机器学习的基本原理,提出一种使用加速度传感器和相机特征数据融合对路面类型进行分类的方法,并与单独使用其中一种传感器进行了比较。使用垂直加速度和车速数据并利用车辆动态模型还原路面轮廓,进而完成特征提取和路面类型分类;对相机采集的路面图像数据进行特征提取和分类;将两类传感器的数据特征进行融合,完成路面类型识别任务。实验结果表明:使用两种传感器数据特征融合的方法,不但识别精度有所提高,而且其可靠性和适应性也都优于单独使用加速度数据或路面图像数据。 展开更多
关键词 控制科学与技术 路面类型识别 加速度传感器 相机 机器学习
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基于小波最小二乘支持向量机的加速度计温度建模和补偿 被引量:18
12
作者 于湘涛 张兰 +2 位作者 郭琳瑞 周峰 于皓 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期95-98,共4页
针对环境温度影响加速度计测量精度的问题,给出了温度对石英挠性加速度计零偏和标度因数的影响机理,提出采用小波最小二乘支持向量回归建立石英挠性加速度计零偏和标度因数的温度模型的方法。为了验证模型的有效性,进行了多个温度点下... 针对环境温度影响加速度计测量精度的问题,给出了温度对石英挠性加速度计零偏和标度因数的影响机理,提出采用小波最小二乘支持向量回归建立石英挠性加速度计零偏和标度因数的温度模型的方法。为了验证模型的有效性,进行了多个温度点下的参数标定试验,所获取的各温度点下的石英挠性加速度计零偏和标度因数作为小波最小二乘支持向量机模型的训练数据;将石英挠性加速度计固定在某一位置进行了升温试验,通过对比未进行温度补偿、最小二乘温度补偿和小波最小二乘支持向量回归温度补偿下石英挠性加速度计的输出,计算结果表明采用小波最小二乘支持向量机补偿后的石英挠性加速度计的测量精度最高。 展开更多
关键词 石英挠性加速度计 小波最小二乘支持向量机 模型辨识 温度补偿
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基于相关向量机的MEMS加速度计零偏温漂补偿 被引量:7
13
作者 徐哲 刘云峰 董景新 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1558-1562,共5页
应用相关向量机(RVM,Relevance Vector Machine)回归预测方法建立了基于RVM的零偏温漂预测补偿模型,利用温度值和温升速率作为输入可预测不同温变过程下的加速度计零偏温漂,探讨了不同训练样本数量、核函数类型和不同的核函数宽度对预... 应用相关向量机(RVM,Relevance Vector Machine)回归预测方法建立了基于RVM的零偏温漂预测补偿模型,利用温度值和温升速率作为输入可预测不同温变过程下的加速度计零偏温漂,探讨了不同训练样本数量、核函数类型和不同的核函数宽度对预测补偿效果的影响,最后应用环境温度试验数据对模型进行检验和验证.结果表明:基于RVM的零偏温漂预测补偿模型能够有效的预测微机械(MEMS,Micro Electro Mechanical Systems)加速度计零偏温漂,模型预测的均方根误差小于1%,补偿后滞环误差最大由0.06g缩减为0.015g. 展开更多
关键词 相关向量机 加速度计 零偏温漂
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微机械加速度计失准角的精确测量 被引量:4
14
作者 胡淏 董景新 +1 位作者 吴黎明 万蔡辛 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第2期233-236,共4页
在与国家军用标准测试方法对比分析的基础上,由空间解析几何理论建立了微机械加速度计外壳坐标系和敏感部件坐标系的数学模型,提出一种测量失准角的“六位置法”:利用六面体翻滚,测量加速度计在六个不同位置下的输出电压,通过一系列公... 在与国家军用标准测试方法对比分析的基础上,由空间解析几何理论建立了微机械加速度计外壳坐标系和敏感部件坐标系的数学模型,提出一种测量失准角的“六位置法”:利用六面体翻滚,测量加速度计在六个不同位置下的输出电压,通过一系列公式运算可以精确测得失准角。实验结果表明:该方法在失准角为1度的情况下,标度因数准确性可提高3.046×10^(-4),失准角准确性提高2.539×10^(-4),从而表明了计算方法的可行性和实际应用价值。目前该方法已经应用于实验室成表测试。 展开更多
关键词 微机械加速度计 失准角 标度因数 测量 敏感轴
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基于微粒群算法优化支持向量机的加速度计静态模型辨识 被引量:4
15
作者 于湘涛 张兰 +2 位作者 陈格非 周峰 许中生 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期347-350,共4页
针对加速度计静态模型采用线性近似模型辨识存在较大误差的问题,利用支持向量回归在小样本、非线性及高维特征空间中具有很好的推广能力的优点,提出了一种利用支持向量回归进行加速度计静态模型辨识的方法。为了避免随机试凑法识别支持... 针对加速度计静态模型采用线性近似模型辨识存在较大误差的问题,利用支持向量回归在小样本、非线性及高维特征空间中具有很好的推广能力的优点,提出了一种利用支持向量回归进行加速度计静态模型辨识的方法。为了避免随机试凑法识别支持向量回归参数费时的问题,采用高效的并行搜索算法—微粒群算法进行支持向量回归参数优化。利用精密光学分度头对石英挠性加速度计进行了12位置静态翻滚试验,试验结果表明所提方法可以精确地对石英挠性加速度计静态模型进行辨识,其模型精度比最小二乘辨识法的模型精度提高一倍以上。 展开更多
关键词 石英挠性加速度计 支持向量机 模型辨识 微粒群算法
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SAW加速度计量程调整及计量标定方法研究 被引量:6
16
作者 刘骏跃 陈明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1052-1056,共5页
提出了用声表面波滤波器测知加速度方向和大小的方法,研究了电容器中的静电吸引力对加速度计敏感质量块的位置稳定作用,以及用它扩大悬臂梁式加速度计量程的原理。用SAW滤波器和电容器中的静电吸引力扩大和调整了悬臂梁式基本加速度计... 提出了用声表面波滤波器测知加速度方向和大小的方法,研究了电容器中的静电吸引力对加速度计敏感质量块的位置稳定作用,以及用它扩大悬臂梁式加速度计量程的原理。用SAW滤波器和电容器中的静电吸引力扩大和调整了悬臂梁式基本加速度计的量程之后,需要对量程调整后的加速度计测量值进行校准和计量标定。本文利用精密离心机转速与其向心加速度之间的对应关系对SAW加速度计的测量数据进行了计量标定。 展开更多
关键词 悬臂梁式SAW加速度计 量程调整 计量校准和标定 离心机
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基于原子力显微镜(AFM)的微小结构加工工艺研究 被引量:2
17
作者 孙涛 闫永达 +3 位作者 夏加飞 梁迎春 程凯 董申 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期154-158,共5页
为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题 ,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构的加工方法。把三维微动工作台叠加到原子力显微镜工作台上组成新的微加工系统 ,采用金刚石针尖作为加工... 为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题 ,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构的加工方法。把三维微动工作台叠加到原子力显微镜工作台上组成新的微加工系统 ,采用金刚石针尖作为加工工具。根据AFM在线成像后的结果对该工艺过程中各种因素产生的影响进行了研究、分析和说明 ,得出主要参数优选的一般方法 ,讨论了与其他微机械加工方法相比较采用该方法的优缺点和可行性。应用该系统进行了微结构的加工实验 ,实验结果表明该系统能够实现较高尺寸精度和重复性精度的微结构的加工 。 展开更多
关键词 原子力显微镜 AFM 微小结构加工工艺 微加速度传感器 MEMS 半导体加工
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预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响 被引量:5
18
作者 李疆 董景新 +1 位作者 刘云峰 吴天准 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第8期35-37,40,共4页
在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同。为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式。对参数的分析显示:预载电压直接影响了加速度计的灵敏... 在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同。为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式。对参数的分析显示:预载电压直接影响了加速度计的灵敏度、量程和分辨力,但不影响非线性。在综合各种影响的基础上,提出了根据不同应用的要求选取预载电压的方法,并进行了实验验证。 展开更多
关键词 微机械 力平衡式加速度计 预载电压 静电力发生器
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一种基于群智感知的道路坑槽检测系统 被引量:2
19
作者 叶进 莫艳云 +1 位作者 李晓欢 葛志辉 《广西大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2015年第2期436-443,共8页
针对当前利用移动设备检测坑槽不能很好满足数据来源充分性与实时性的问题,提出一种基于群智感知的道路坑槽检测系统。系统利用主动参与者的Android手机中的当前时间、当前网络IP、加速度计和GPS传感器收集路面信息,并上传至中心服务... 针对当前利用移动设备检测坑槽不能很好满足数据来源充分性与实时性的问题,提出一种基于群智感知的道路坑槽检测系统。系统利用主动参与者的Android手机中的当前时间、当前网络IP、加速度计和GPS传感器收集路面信息,并上传至中心服务器。中心服务器上对上传的数据采用统计学的方法提取相关特征,采用k-近邻算法与k-means聚类算法对坑槽进行了实时轻量级检测。实验结果表明,系统能够检测坑槽的破损等级,准确性达到82.48%。 展开更多
关键词 坑槽检测 加速度计 机器学习 聚类算法
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微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究 被引量:4
20
作者 李疆 高钟毓 董景新 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第9期74-77,共4页
在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时,不可避免地受到静电负刚度的影响。通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响,提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法。通过不同实验条件下得到的实验... 在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时,不可避免地受到静电负刚度的影响。通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响,提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法。通过不同实验条件下得到的实验结果,验证了该方法的正确性。 展开更多
关键词 微机械加速度计 挠性梁 机械刚度 频率响应
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