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Thickness distribution of large scale metallic sheet by EB-PVD on rotating substrate
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作者 单英春 赫晓东 +1 位作者 李明伟 李垚 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期232-235,共4页
A two-dimensional kinetic Monte-Carlo(KMC) method was used to approach the thickness distribution of large scale metallic sheet deposited by electron beam physical vapor deposition(EB-PVD) on rotating substrate. The K... A two-dimensional kinetic Monte-Carlo(KMC) method was used to approach the thickness distribution of large scale metallic sheet deposited by electron beam physical vapor deposition(EB-PVD) on rotating substrate. The KMC model involves incident atom attachment, adatom diffusion and adatom detachment. The effective deposition rate and effective incident angle along substrate radial were studied as influencing factors of sheet thickness distribution. The KMC simulation results indicate that incident angle is a very important factor to affect the sheet thickness distribution as well as theory deposition mass. The experiments results show that the KMC model can predict the thickness distribution of large scale sheet deposited by EB-PVD on rotating substrate. 展开更多
关键词 thickness distribution large scale metalLIC SHEET KINETIC Monte-Carlo method ROTATING SUBSTRATE electric beam physical vapor deposition(EB-PVD)
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蒸气扩散法构筑大比表面积γ-CD-MOF-V及其甲苯吸附性能研究
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作者 何佳华 张燕 +4 位作者 阎鹏飞 黄铭康 孙晓宣 周利琴 赵祯霞 《广西大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第5期1146-1154,共9页
针对室内低浓度甲苯等芳香类挥发性有机物(VOCs)的高效吸附难题,系统对比了微波法、溶剂热法及蒸气扩散法制备的γ环糊精基金属有机框架(γ-CD-MOF)的微观结构差异及其甲苯吸附性能。结果表明,蒸气扩散法制备的γ-CD-MOF-V因甲醇蒸气缓... 针对室内低浓度甲苯等芳香类挥发性有机物(VOCs)的高效吸附难题,系统对比了微波法、溶剂热法及蒸气扩散法制备的γ环糊精基金属有机框架(γ-CD-MOF)的微观结构差异及其甲苯吸附性能。结果表明,蒸气扩散法制备的γ-CD-MOF-V因甲醇蒸气缓慢扩散诱导晶体有序生长,形成孔径为6.2、10.6的多级微孔结构,其比表面积(1153 m^(2)/g)和总孔容积(0.46 cm^(3)/g)显著大于微波法制备的γ-CD-MOF-M(250 m^(2)/g,0.11 cm^(3)/g)和溶剂热法制备的γ-CD-MOF-S(321 m^(2)/g,0.12 cm^(3)/g)产物。吸附性能测试表明:γ-CD-MOF-V在298 K下对甲苯的饱和吸附量达2.57 mmol/g,分别是γ-CD-MOF-S(1.10 mmol/g)和γ-CD-MOF-M(0.81 mmol/g)的2.3倍和3.2倍。动态穿透实验表明:γ-CD-MOF-V的工作吸附容量(283.9 mg/g)及有效吸附位点利用率(Q w/Q e=0.87)均表现最优。机制分析表明:蒸气扩散法通过调控晶体生长动力学,实现了微孔尺寸与甲苯分子(动力学直径为5.8)的精准匹配。 展开更多
关键词 环糊精基金属有机框架 芳香类挥发性有机物 蒸气扩散法 吸附
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蒸发/氧化法预处理-ICP/AES方法测定油品中的金属元素含量 被引量:6
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作者 范登利 杨德凤 颜景杰 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期59-62,共4页
利用油气蒸发、残余物氧化的方法进行油样预处理,结合ICP/AES检测方法,可实现油品中金属含量的快速分析。该方法与常用的干法灰化-ICP/AES油品金属含量测定方法相比,分析速度快、操作简化、环境污染小。
关键词 金属 蒸发/氧化法 预处理 等离子体发射光谱法 重油 渣油
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金属蒸气法制备聚合物固载双金属催化剂———Pd-Cu催化剂的价态,分散度与活性 被引量:1
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作者 吴世华 朱常英 +2 位作者 黄唯平 赵维君 张书芨 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1997年第1期49-54,共6页
利用金属蒸气法制备了三种不同金属重量比的树脂固载及活性炭负载PdCu双金属催化剂.透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)测定结果表明催化剂中PdCu已形成合金.合金粒度极小,平均直径小于5nm.树脂固载催化剂... 利用金属蒸气法制备了三种不同金属重量比的树脂固载及活性炭负载PdCu双金属催化剂.透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)测定结果表明催化剂中PdCu已形成合金.合金粒度极小,平均直径小于5nm.树脂固载催化剂金属粒度远小于活性炭负载催化剂的金属粒度.X射线光电子能谱(XPS)结果表明Pd和Cu均以零价态存在.在4甲基3戊烯2酮加氢反应中。 展开更多
关键词 金属蒸气法 聚合物 双金属催化剂 钯-铜催化剂
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金属蒸气法制备Pd-Cu/C燃料电池电极
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作者 吴世华 黄唯平 周作祥 《南开大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1995年第4期1-5,共5页
应用金属蒸气法制备了三种金属含量比不同的Pd-Cu/C燃料电池电极。XRD和TEM测定结果表明Pd和Cu已形成合金,合金的颗粒很小,平均直径小于5nm。XPS和Auger能谱说明Pd和Cu均以零价态存在。极化曲线实验... 应用金属蒸气法制备了三种金属含量比不同的Pd-Cu/C燃料电池电极。XRD和TEM测定结果表明Pd和Cu已形成合金,合金的颗粒很小,平均直径小于5nm。XPS和Auger能谱说明Pd和Cu均以零价态存在。极化曲线实验结果看出,随着催化剂中Cu比例增加,电极的催化活性略有增加.KOH溶液浓度(1~5摩尔/升)增大,电极活性随极化电流改变减小。 展开更多
关键词 金属蒸气法 燃料电池 电极 制备 钯铜合金
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过渡金属氮氧化物制备方法的研究进展 被引量:1
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作者 汪广进 余意 +3 位作者 程凤 梁聪 徐甜 潘牧 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期27-31,共5页
综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大... 综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数。 展开更多
关键词 过渡金属氮氧化物 溅射法 化学气相沉积法 化学合成法
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MgB2/B/MgB2约瑟夫森结的制备与直流特性
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作者 周章渝 肖寒 +2 位作者 王松 傅兴华 闫江 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第18期199-205,共7页
本文采用MgB_2薄膜的混合物理化学气相沉积制备技术和金属掩膜版工艺,以B膜为势垒层在单晶Al_2O_3(0001)基底上制作了纵向三明治结构的MgB_2/B/MgB_2约瑟夫森结.应用标准四引线法对该超导结的R-T曲线和不同温度下的直流I-V曲线进行了测... 本文采用MgB_2薄膜的混合物理化学气相沉积制备技术和金属掩膜版工艺,以B膜为势垒层在单晶Al_2O_3(0001)基底上制作了纵向三明治结构的MgB_2/B/MgB_2约瑟夫森结.应用标准四引线法对该超导结的R-T曲线和不同温度下的直流I-V曲线进行了测量研究.实验结果表明,制作的MgB_2/B/MgB_2约瑟夫森结超导开启温度为31.3 K,4.2 K时临界电流密度为0.52 A/cm^2,通过对直流特性I-V曲线的微分拟合,清晰地观测到MgB_2的3D带的能隙?π为2.13 meV. 展开更多
关键词 MgB2/B/MgB2约瑟夫森结 金属掩膜版工艺 混合物理化学气相沉积
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气-液-固法在半导体纳米线生长中的应用
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作者 彭英才 赵新为 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期864-870,共7页
气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术。本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展。最后提出了改进VLS方法的几... 气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术。本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展。最后提出了改进VLS方法的几项措施,并展望了它的今后发展趋势。 展开更多
关键词 气-液-固法 金属催化剂 纳米线与阵列 生长机制
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直接模拟蒙特卡罗法模拟二维平面蒸发亚稳态原子退激过程 被引量:3
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作者 谢国锋 王德武 应纯同 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第2期147-150,共4页
在原子法激光同位素分离 (AVLIS)工程中 ,金属受电子束的加热而熔化 ,有一部分原子处于亚稳态能级 ,为了分析在蒸发过程中亚稳态原子退激对原子蒸气的速度、温度等物理特性的影响 ,采用直接模拟蒙特卡罗 (DSMC)法模拟钆原子蒸发过程 ,... 在原子法激光同位素分离 (AVLIS)工程中 ,金属受电子束的加热而熔化 ,有一部分原子处于亚稳态能级 ,为了分析在蒸发过程中亚稳态原子退激对原子蒸气的速度、温度等物理特性的影响 ,采用直接模拟蒙特卡罗 (DSMC)法模拟钆原子蒸发过程 ,分析亚稳态原子退激过程对蒸气特性的影响。模拟结果表明 :亚稳态原子退激使得原子蒸气的速度增加 ,温度升高 ;克努森数Kn越小 ,原子间碰撞越频繁 。 展开更多
关键词 直接模拟蒙特卡罗法 二维平面蒸发 亚稳态原子 退激过程 原子法激光同位素分离 金属原子
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基于碱金属钾的β-环糊精金属有机骨架的合成研究 被引量:1
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作者 刘慧君 刘娟 王娜 《南华大学学报(自然科学版)》 2021年第5期86-91,共6页
通过优化后的甲醇蒸汽扩散法合成了一种新型基于β-环糊精有机分子和碱金属(K+)配位的金属有机框架(β-CD-MOF1),并进行了扫描电镜(SEM)、红外光谱(IR)、粉末衍射(XRD)、热重(TG)表征;单晶X射线衍射分析表明β-CD-MOF1具有碗状孔隙和“... 通过优化后的甲醇蒸汽扩散法合成了一种新型基于β-环糊精有机分子和碱金属(K+)配位的金属有机框架(β-CD-MOF1),并进行了扫描电镜(SEM)、红外光谱(IR)、粉末衍射(XRD)、热重(TG)表征;单晶X射线衍射分析表明β-CD-MOF1具有碗状孔隙和“8”型双通道三维构型,属于单斜晶系,P21空间群,分子式为C_(42)H_(72)O_(40)K,a=15.2330(11)×10^(-10) m,b=10.6004(8)×10^(-10) m,c=20.3014(14)×10^(-10) m,α=90°,β=108.739°(2),γ=90°。β-CD-MOF1在保留了β-环糊精的空腔结构的基础上,由K—O键的配位连接形成了有序排列的三维多孔框架。β-CD-MOF1有望成为一种新型的多功能绿色晶体材料。 展开更多
关键词 Β-环糊精 钾离子 金属有机骨架 甲醇蒸汽扩散
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金属蒸气激光器冷凝区结构的优化 被引量:1
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作者 吴平 王欲知 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期271-273,共3页
用蒙特卡罗方法模拟了镉原子在HeCd 激光器冷凝区内的凝结,得到了不同结构下镉原子沉积量的分布。比较这些沉积量的分布,结果表明,合理地选择冷凝区的结构,可以提高冷凝区的效率,有效地防止镉原子对HeCd 激光器窗口的... 用蒙特卡罗方法模拟了镉原子在HeCd 激光器冷凝区内的凝结,得到了不同结构下镉原子沉积量的分布。比较这些沉积量的分布,结果表明,合理地选择冷凝区的结构,可以提高冷凝区的效率,有效地防止镉原子对HeCd 激光器窗口的污染,克服光路堵塞。 展开更多
关键词 蒙特卡罗方法 冷凝区 窗口污染 金属蒸气激光器
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基于复合封装薄膜的水汽透过率测试系统研究
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作者 李晟 张建华 +1 位作者 楼志斌 殷录桥 《应用技术学报》 2017年第1期27-31,共5页
基于活泼金属(钙、镁)电学法设计研发了用于老化测试环境下的水汽透过率测试仪器,测试精度达到10-6 g·m^(-2)·d^(-1).利用本测试仪器测试了不同叠层次数的Al_2O_3/ZrO_2复合薄膜的水汽透过率,结果表明,多次叠层后的Al_2O_3/Zr... 基于活泼金属(钙、镁)电学法设计研发了用于老化测试环境下的水汽透过率测试仪器,测试精度达到10-6 g·m^(-2)·d^(-1).利用本测试仪器测试了不同叠层次数的Al_2O_3/ZrO_2复合薄膜的水汽透过率,结果表明,多次叠层后的Al_2O_3/ZrO_2复合薄膜的水汽阻隔性能得到了较好提升. 展开更多
关键词 薄膜封装 活泼金属电学法 水汽透过率
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金属蒸气合成法制备Ag-Ni/c燃料电池电极催化剂 被引量:1
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作者 阿力塔 白淑琴 张文韬 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1999年第3期343-346,共4页
用金属蒸气合成法(MVS)和常规法制备三种不同摩尔比的Ag-Ni/c双金属燃料电池电极催化剂.XRD测定、磁测定和XPS测定结果表明,MVS法Ag-Ni/c电极的催化活性大于相应的常规法电极,随着Ag含量增加,催化活... 用金属蒸气合成法(MVS)和常规法制备三种不同摩尔比的Ag-Ni/c双金属燃料电池电极催化剂.XRD测定、磁测定和XPS测定结果表明,MVS法Ag-Ni/c电极的催化活性大于相应的常规法电极,随着Ag含量增加,催化活性增大。 展开更多
关键词 金属蒸气合成 燃料电池 电极 催化剂 MVS
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MVS制备Cu-Co/c燃料电池电极催化剂
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作者 阿力塔 《内蒙古民族大学学报(自然科学版)》 2017年第5期386-390,共5页
燃料电池催化剂按照应用区域可分为两类,有阳极型和阴极型催化剂之分,阳极型催化剂主要适用于对有机小分子物质的氧化,如甲醛、甲酸、甲醇等.阴极型催化剂适用在燃料电池的阴极区域,是对氧气还原的催化反应.目前,在催化剂活性物质方面... 燃料电池催化剂按照应用区域可分为两类,有阳极型和阴极型催化剂之分,阳极型催化剂主要适用于对有机小分子物质的氧化,如甲醛、甲酸、甲醇等.阴极型催化剂适用在燃料电池的阴极区域,是对氧气还原的催化反应.目前,在催化剂活性物质方面的研究报道比较多,有特殊形貌的纳米晶体微粒及其合金高长径比的纳米线和纳米线合金核壳结构的纳米球合金等,这些材料在燃料电池中的阴极和阳极都有其独到的优势和作用,这些种类催化剂大都采用贵金属如Pt、Pd、Au等元素,而合金则采用贵金属配合Fe、Co、Ni等过渡金属形成,以达到提高催化效率降低成本等不同目的,本文用金属蒸气合成法(MVS)和常规法制备三种不同摩尔比的Cu-Co/c双金属燃料电池电极催化剂,XRD测定、磁测定和XPS测定结果表明:MVS法Cu-Co/c电极的催化活性大于相应的常规法电极,而且随着Cu含量的增加,催化活性也随之增大,Co的加入使得整体的催化活性大大提高. 展开更多
关键词 燃料电池电极 MVS Cu-Co/c催化剂
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基于PIC-MCC方法真空直流断路器弧后金属蒸气击穿过程分析 被引量:7
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作者 赵雨 杨飞 +3 位作者 孙昊 吴翊 纽春萍 荣命哲 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期2141-2148,共8页
真空直流断路器弧后介质恢复过程是决定其开断是否成功的重要物理过程,因而受到研究者的广泛关注。该文的主要目标是采用粒子模拟的方法研究真空断路器弧后金属蒸气击穿阶段的发展过程及影响因素,并基于粒子云网格(Particle in Cell)和... 真空直流断路器弧后介质恢复过程是决定其开断是否成功的重要物理过程,因而受到研究者的广泛关注。该文的主要目标是采用粒子模拟的方法研究真空断路器弧后金属蒸气击穿阶段的发展过程及影响因素,并基于粒子云网格(Particle in Cell)和蒙特卡罗碰撞(Monte Carlo Collision)相结合的PIC-MCC方法,建立弧后金属蒸气击穿模型,对金属蒸气击穿的发展过程进行空间2维速度3维的仿真模拟,然后讨论触头表面温度、金属蒸气密度、触头开距、电压等重要因素对击穿的影响。模拟结果表明:在一定范围内,增大金属蒸气的密度,击穿发生的更迅速;触头温度越高,击穿更容易发生;暂态恢复电压峰值越高,击穿发生更快。另外,当场强不变时,对于较小开距,击穿反而不太容易发生,当开距较大时,击穿发生的时间几乎不受开距的影响。 展开更多
关键词 直流开断 真空直流断路器 介质恢复 金属蒸气击穿 PIC-MCC法
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金属Ag高反膜的激光损伤特性研究 被引量:4
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作者 侯妮妮 苏俊宏 +1 位作者 徐均琪 吴慎将 《光学与光电技术》 2016年第1期90-94,共5页
高反膜的抗激光损伤特性严重影响着激光系统中激光器有效输出功率的提高。因此提高高反膜的抗激光损伤特性就成为了关键。在真空箱式镀膜机中采用阻蒸发法制备Ag膜,电子束蒸发的方法制备介质保护膜,采用Lambda950测试其光学特性,在激光... 高反膜的抗激光损伤特性严重影响着激光系统中激光器有效输出功率的提高。因此提高高反膜的抗激光损伤特性就成为了关键。在真空箱式镀膜机中采用阻蒸发法制备Ag膜,电子束蒸发的方法制备介质保护膜,采用Lambda950测试其光学特性,在激光损伤测试仪上测试薄膜的损伤阈值。分析沉积温度对单层银膜光学特性和附着力的影响,不同层数的介质保护膜对Ag膜的光学特性和抗激光损伤能力的影响。研究结果表明:沉积温度分别为室温、120℃、150℃及200℃时制备单层银膜,在沉积温度200℃下,制备的银膜在1 000~1 400nm波段的平均反射率达到了99.17%,此时银膜的激光损伤阈值为1.74J/cm2,在银膜外侧加介质保护膜后其损伤阈值达到了6.874J/cm2,经激光预处理后,损伤阈值提高到10.83J/cm2,是单层金属膜损伤阈值的6倍。 展开更多
关键词 金属膜 阻蒸法 沉积温度 损伤阈值 预处理
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人工合成金刚石技术比较 被引量:5
17
作者 沈亮 丁小平 李恒 《首都师范大学学报(自然科学版)》 2005年第2期26-29,共4页
静压法是当前工业合成金刚石的主要的合成手段.合成工业用金刚石主要采用静压法中的静压触媒法.合成宝石级金刚石主要采用静压晶种触媒法生产.通过静压法中的直接变换法,纯净的多晶石墨棒可以在短时间内转化为多晶金刚石.二十世纪八十... 静压法是当前工业合成金刚石的主要的合成手段.合成工业用金刚石主要采用静压法中的静压触媒法.合成宝石级金刚石主要采用静压晶种触媒法生产.通过静压法中的直接变换法,纯净的多晶石墨棒可以在短时间内转化为多晶金刚石.二十世纪八十年代还出现了一种在低压下生长金刚石的新方法———化学气相沉积法(CVD) ,目前只能用于制备金刚石薄膜.本文通过总结比较各种金刚石合成技术,提出了利用激光控制金刚石生长的设想。 展开更多
关键词 合成金刚石 技术比较 化学气相沉积法 人工 宝石级金刚石 静压触媒法 直接变换法 多晶金刚石 金刚石薄膜 金刚石生长 静压法 二十世纪 合成技术 激光控制 工业用 晶种 石墨
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战术性与战略性的深穿透地球化学方法 被引量:97
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作者 谢学锦 《地学前缘》 EI CAS CSCD 1998年第2期171-183,共13页
多年来地球化学方法主要用于圈定出露及亚出露矿化四周的地表次生分散晕和分散流找矿或圈定盲矿上方地表的原生晕找矿,取得极大效果,但对被厚层运积物或厚层成矿后沉积岩或火山岩埋藏的矿体,由于地表次生异常与原生晕皆被掩蔽而显得... 多年来地球化学方法主要用于圈定出露及亚出露矿化四周的地表次生分散晕和分散流找矿或圈定盲矿上方地表的原生晕找矿,取得极大效果,但对被厚层运积物或厚层成矿后沉积岩或火山岩埋藏的矿体,由于地表次生异常与原生晕皆被掩蔽而显得无能为力。80年代以来发展了一些新的能有效探索被厚达数百米运积层及成矿后沉积岩或火山岩埋藏的矿体的“深穿透”地球化学方法,包括澳大利亚的MMI方法,加拿大与美国的酶提取方法,前苏联的CHIM方法,瑞典的GEOGAS方法及中国的NAMEG与MOMEO方法。这些方法大多数是用于详查中,用在地质预测认为深部有远景或地球物理方法发现深部有某种异常,但又无法取得可靠的矿化直接证据的地区,而中国的NAMEG与MOMEO方法则既是战术性的,又可在找寻隐伏的大型、特大型甚至巨型矿床上发挥巨大的战略作用。文中列举了在乌兹别克斯坦穆龙套巨型金矿及澳大利亚奥林匹克坝巨型铜铀金银矿周围进行的战略性深穿透NAMEG与MOMEO测量的结果,笔者认为这种战略性与战术性深穿透地球化学方法的发展将会加速在隐伏区找到大型至巨型矿的进程,并为勘查地球化学在21世纪开拓广阔的新的研究领域。 展开更多
关键词 深穿透 地球化学方法 汞气测量 金属活动态测量
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在含二氧化硅的介电基体表面制备碳纳米材料的研究进展 被引量:2
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作者 石鑫 谭晶 +2 位作者 于景超 安瑛 杨卫民 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期45-51,共7页
碳纳米材料作为21世纪的明星材料,具有优异的光、电与力学性能。其制备过程中需要金属基底进行沉积与催化,然后将制备的碳纳米材料从金属基底转移到含SiO_(2)的介电基体进一步构筑电子器件。但在转移过程中会引入碳纳米材料的褶皱、破... 碳纳米材料作为21世纪的明星材料,具有优异的光、电与力学性能。其制备过程中需要金属基底进行沉积与催化,然后将制备的碳纳米材料从金属基底转移到含SiO_(2)的介电基体进一步构筑电子器件。但在转移过程中会引入碳纳米材料的褶皱、破损等结构缺陷,以及金属和试剂残留,造成电子器件性能下降。因此,直接在含SiO_(2)介电基体表面制备碳纳米材料具有重要意义。总结了近年在含SiO_(2)介电基体表面制备碳纳米材料的研究进展,阐述了金属扩散-析出法、化学气相沉积法、分子束外延生长法等多种制备手段;介绍了石英玻璃、玻璃纤维两种主要含SiO_(2)介电基体生长碳纳米材料的特点与性能,并提出了在含SiO_(2)介电基体表面制备碳纳米材料的研究难点与趋势。 展开更多
关键词 碳纳米材料 含SiO_(2) 介电基体 金属扩散-析出法 化学气相沉积法 静电化学吸附法
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液态镓合金与铜电极间接触电阻特性与可靠性提升 被引量:2
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作者 纪越 张彦鹏 +1 位作者 李醒飞 张志佳 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期267-277,共11页
目的 针对使用液态金属的电气设备中源极输出电阻波动的抑制问题,分析接触电阻随接触面间接触应力的变化规律,探索电极材料镀膜方法减小膜层电阻变化进而提高接触可靠性。方法 理论推导建立了镓合金与铜电极的固液接触电阻理论模型,并... 目的 针对使用液态金属的电气设备中源极输出电阻波动的抑制问题,分析接触电阻随接触面间接触应力的变化规律,探索电极材料镀膜方法减小膜层电阻变化进而提高接触可靠性。方法 理论推导建立了镓合金与铜电极的固液接触电阻理论模型,并据此使用COMSOL Multipyhsics软件仿真了随着接触应力的变化接触电阻的变化情况。使用化学气相沉积法在铜基底上生长碳纳米薄膜来减小膜层电阻对铜电极的影响,并对生长了石墨烯薄膜的电极与镓合金的接触电阻进行了稳定性实验。结果 仿真结果表明接触电阻随着接触应力的增加而减小,接触应力较小时的接触电阻变化较大,随着接触应力的不断增加,接触电阻变化也逐渐缓慢,并进行了实验验证;通过调整化学气相沉积法中碳源的通入量来生长更符合电极使用条件的石墨烯薄膜,在6mL/min乙炔流量下生长的石墨烯薄膜接触电阻由未生长石墨烯薄膜的246μΩ减小到165μΩ,减小了镓合金与铜电极间的固液接触电阻,并且自身电阻值增加较小。长期稳定性实验也表明石墨烯薄膜可以有效防护铜电极,并通过相关的接触角实验进一步分析了生长碳纳米薄膜后电极表面润湿性变化。结论 铜电极表面生长石墨烯薄膜可以有效防护电极,提高铜基底电极与液态镓合金形成固液接触电阻的稳定性,同时控制接触面的接触应力,可以量化控制接触电阻的数量级。 展开更多
关键词 气相沉积法 接触电阻 液态金属 接触应力 膜层 石墨烯
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