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热载流子诱生MOSFET/SOI界面陷阱的正向栅控二极管技术表征 被引量:2
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作者 何进 张兴 +1 位作者 黄如 王阳元 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期252-254,共3页
本文完成了热载流子诱生MOSFET/SOI界面陷阱正向栅控二极管技术表征的实验研究 .正向栅控二极管技术简单、准确 ,可以直接测得热载流子诱生的平均界面陷阱密度 ,从而表征器件的抗热载流子特性 .实验结果表明 :通过体接触方式测得的MOSFE... 本文完成了热载流子诱生MOSFET/SOI界面陷阱正向栅控二极管技术表征的实验研究 .正向栅控二极管技术简单、准确 ,可以直接测得热载流子诱生的平均界面陷阱密度 ,从而表征器件的抗热载流子特性 .实验结果表明 :通过体接触方式测得的MOSFET/SOI栅控二极管R G电流峰可以直接给出诱生的界面陷阱密度 .抽取出来的热载流子诱生界面陷阱密度与累积应力时间呈幂指数关系 ,指数因子约为 0 展开更多
关键词 热载流子 应力效应 界面陷阱 正向栅控二级管 mosfet/soi
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纳米MOSFET/SOI器件新结构 被引量:1
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作者 张正选 林成鲁 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第2期222-226,共5页
重点介绍器件进入纳米尺度后出现的MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄SOI器件、双栅MOSFET、FinFET和应变沟道等SOI器件,并对它们的性能进行了分析。
关键词 纳米mosfet/soi器件 双栅mosfet FINFET 应变沟道 结构 CMOS器件
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Forward Gated-Diode Monitoring of F-N Stressing-Ind uced Interface Traps of NMOSFET/SOI
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作者 何进黄 爱华 +1 位作者 张兴 黄如 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期957-961,共5页
The forward gated-diode R-G current method is used to monitor the F-N stressing-induced interface traps of NMOSFET/SOI.This simp le and accurate experiment method can directly give the interface trap density i nduced... The forward gated-diode R-G current method is used to monitor the F-N stressing-induced interface traps of NMOSFET/SOI.This simp le and accurate experiment method can directly give the interface trap density i nduced by F-N stressing effect for characterizing the device's reliability.For the measured NMOS/SOI device with a body structure,an expected power-law relati onship as Δ N it - t 0 4 between the pure F-N stressing-indu ced interface trap density and the accumulated stressing time is obtained. 展开更多
关键词 F-N effect stressing-induced interface tra p density R-G current gated-diode mosfet/soi
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FORWARD GATED-DIODE METHOD FOR DIRECTLY MEASURING STRESS-INDUCED INTERFACE TRAPS IN NMOSFET/SOI 被引量:1
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作者 HuangAihua YuShan 《Journal of Electronics(China)》 2002年第1期104-107,共4页
Forward gated-diode Recombination-Generation(R-G) current method is applied to an NMOSFET/SOI to measure the stress-induced interface traps in this letter. This easy but accurate experimental method can directly give ... Forward gated-diode Recombination-Generation(R-G) current method is applied to an NMOSFET/SOI to measure the stress-induced interface traps in this letter. This easy but accurate experimental method can directly give stress-induced average interface traps for characterizing the device’s hot carrier characteristics. For the tested device, an expected power law relationship of △Nit-t0.787 between pure stress-induced interface traps and accumulated stressing time is obtained. 展开更多
关键词 Hot-carrier effect Interface traps R-G current Gated-diode mosfet/soi
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电磁脉冲与单粒子效应对SOI MOSFET电学特性的影响
5
作者 宋沛洋 郝建红 +4 位作者 张志远 赵强 张芳 范杰清 董志伟 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第9期173-181,共9页
SOI MOSFET器件广泛应用于航天电子设备中,但它们容易受到空间中电磁脉冲及粒子辐照效应的影响,进而影响航天器的稳定性。通过建立二维的短沟道SOI MOSFET器件模型,探究电磁脉冲和重离子辐照引起的单粒子效应对器件电学特性的影响。研... SOI MOSFET器件广泛应用于航天电子设备中,但它们容易受到空间中电磁脉冲及粒子辐照效应的影响,进而影响航天器的稳定性。通过建立二维的短沟道SOI MOSFET器件模型,探究电磁脉冲和重离子辐照引起的单粒子效应对器件电学特性的影响。研究结果表明,在电磁脉冲作用下,随着电磁脉冲电压幅值的增大,SOI MOSFET会发生雪崩击穿,雪崩击穿现象导致PN结内建电场的电场强度和电流密度的增加,继而导致晶格温度上升;器件发生雪崩击穿的阈值电压随着栅极电压的增加而降低,同时也随着源极和漏极之间沟道长度的减小而降低。重离子入射会使SOI MOSFET器件的瞬态漏电流激增,随着电子-空穴对的复合和扩散,电流逐渐减小。电磁脉冲和重离子协同作用于器件时,重离子辐照降低了器件发生雪崩击穿的阈值电压。 展开更多
关键词 mosfet 电磁脉冲 单粒子效应 雪崩击穿 仿真模拟
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集成异质结二极管的4H-SiC半超结MOSFET
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作者 张闯 张腾 +2 位作者 黄润华 李士颜 柏松 《电子元件与材料》 北大核心 2026年第2期150-156,共7页
为改善碳化硅(SiC)超结MOSFET体二极管的反向恢复特性并降低开关损耗,提出一种集成异质结二极管的超结MOSFET(SJH-MOSFET)新结构。该结构在栅槽底部引入与源极短接的P+多晶硅,与4H-SiC漂移区构成异质结续流二极管;同时增设P+屏蔽层并采... 为改善碳化硅(SiC)超结MOSFET体二极管的反向恢复特性并降低开关损耗,提出一种集成异质结二极管的超结MOSFET(SJH-MOSFET)新结构。该结构在栅槽底部引入与源极短接的P+多晶硅,与4H-SiC漂移区构成异质结续流二极管;同时增设P+屏蔽层并采用半超结设计以优化电场。基于TCAD的仿真对比分析表明,相较于传统双沟槽结构,新器件的击穿电压提升18.4%至1710 V,比导通电阻降低12.1%至1.45 mΩ·cm^(2)。异质结二极管有效抑制了少子注入,使反向恢复电荷降低60.9%;减小的栅-漏耦合面积则使米勒平台电荷降低79.2%,总开关损耗减少40.4%。该研究为同时优化动态特性与可靠性的高性能SiC功率器件设计提供了有效途径。 展开更多
关键词 4H-SiC mosfet 超结 异质结 反向恢复特性
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基于MOSFET寄生二极管续流电路的电池成组均衡方法研究
7
作者 于永杰 彭勇刚 +1 位作者 翁楚迪 孙静 《电工电能新技术》 北大核心 2026年第1期29-39,共11页
电池单体之间的不一致可能会影响电池组寿命,增加储能成本,并带来安全风险。本文提出了一种电感型电池均衡电路,通过精细控制每个MOSFET的通断,利用其寄生二极管,实现电感的续流,完成电池单体间的能量转移。电路包括电池选择电路、充放... 电池单体之间的不一致可能会影响电池组寿命,增加储能成本,并带来安全风险。本文提出了一种电感型电池均衡电路,通过精细控制每个MOSFET的通断,利用其寄生二极管,实现电感的续流,完成电池单体间的能量转移。电路包括电池选择电路、充放电控制电路、均衡电感三部分。相邻的电池共享一组MOSFET,显著降低了电路成本。此外,相邻的电池可以成组同时进行均衡,提高均衡速度。基于电路特性,设计了成组均衡策略。通过搭建电路进行均衡实验,验证了所提电路拓扑和均衡策略的有效性,证明本方案能够在降低成本的同时实现更快速高效的电池均衡。 展开更多
关键词 电池均衡 均衡策略 mosfet寄生二极管
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火炮伺服驱动器SiC MOSFET损耗建模及分析
8
作者 梁炳炎 马捷 +3 位作者 周鑫 张高生 唐杰 肖文山 《兵器装备工程学报》 北大核心 2026年第2期172-181,共10页
火炮伺服驱动器是实现火炮高精度瞄准的关键组成部分,其效能直接影响火炮的射击精度。在驱动器电能变换过程中,功率器件损耗不仅影响系统效率,还会导致系统发热,从而影响驱动器热设计和工作可靠性。针对火炮伺服变负载应用背景,根据SiC ... 火炮伺服驱动器是实现火炮高精度瞄准的关键组成部分,其效能直接影响火炮的射击精度。在驱动器电能变换过程中,功率器件损耗不仅影响系统效率,还会导致系统发热,从而影响驱动器热设计和工作可靠性。针对火炮伺服变负载应用背景,根据SiC MOSFET双向导通特性,对火炮驱动器的功率损耗进行了定量分析。基于火炮伺服工况、永磁同步电机(permanent magnet synchronous motor,PMSM)数学模型,研究了火炮伺服负载特性;根据空间矢量脉宽调制(space vector pulse width modulation,SVPWM)策略、SiC MOSFET器件损耗模型,建立了动态负载工况下伺服驱动器损耗理论模型;在此基础上,研究了火炮角度调转和正弦运动控制2种典型伺服工况下的驱动器功率损耗特性,并搭建了火炮伺服系统仿真模型,对动态负载工况驱动器功率损耗特性进行了试验验证。 展开更多
关键词 火炮伺服工况 伺服驱动器 SiC mosfet 变负载 功率损耗
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高速开关下SiC MOSFETs阈值电压漂移
9
作者 吴彬兵 冉立 +1 位作者 丰昊 林泓宇 《高电压技术》 北大核心 2026年第2期716-731,共16页
SiC MOSFETs作为宽禁带半导体在实际应用中可实现高速高温运行。然而,SiC/SiO_(2)表面陷阱所引发的阈值电压漂移是阻碍SiC MOSFETs高效使用的重要可靠性问题。开通过程所导致的阈值电压漂移机理已被报道,但在高速开关应力下尤其是关断... SiC MOSFETs作为宽禁带半导体在实际应用中可实现高速高温运行。然而,SiC/SiO_(2)表面陷阱所引发的阈值电压漂移是阻碍SiC MOSFETs高效使用的重要可靠性问题。开通过程所导致的阈值电压漂移机理已被报道,但在高速开关应力下尤其是关断过程对阈值电压漂移的物理解释鲜有研究。首先,提出一种驱动电流可调的老化方法满足了高速开关运行和结构简单的硬件需要。据此,探究了高速开关应力下SiC MOSFETs阈值电压漂移规律尤其是关断过程对其的影响。在不同开关速度下,关断过程对阈值电压漂移的影响呈现出一种双重效应,即存在正面影响也存在负面影响,并且这种影响与器件温度存在强耦合关系。接着,基于隧穿理论建立了相应物理解释模型并进行了实验验证。该研究不仅可作为一种机理去解释上述漂移规律,而且可为高速开关应用中的SiC MOSFETs阈值电压漂移抑制提供方法指导。 展开更多
关键词 SiC mosfets 高速开关 阈值电压漂移 关断过程 温度影响
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基于LLM模型的AI误差分析MOSFET测试系统
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作者 罗西辉 何远萧 +2 位作者 陆韵炜 董亮 刘成 《集成电路与嵌入式系统》 2026年第3期42-47,共6页
针对传统MOSFET测试流程繁琐、依赖大型仪器且智能化程度低等难题,设计了一套集成大语言模型(LLM)与“雨珠S”便携硬件的自动化测试系统。该系统以“雨珠S”仪器为核心,通过一体化PCB载板实现特性曲线、阈值电压、导通电阻等参数的测试... 针对传统MOSFET测试流程繁琐、依赖大型仪器且智能化程度低等难题,设计了一套集成大语言模型(LLM)与“雨珠S”便携硬件的自动化测试系统。该系统以“雨珠S”仪器为核心,通过一体化PCB载板实现特性曲线、阈值电压、导通电阻等参数的测试,并创新性地利用Gemini API赋能软件实现PDF数据手册自动解析、测试参数智能推荐与测试结果的深度误差分析。对IRF7401器件的测试结果表明,系统获取的关键动静态参数与数据手册及仿真值吻合良好,验证了该测试方案的准确性与可行性,为终端用户进行器件性能评估提供了一种高效、智能的便携式新方法。 展开更多
关键词 mosfet 误差分析 大语言模型 半导体器件 自动测试技术
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碳化硅MOSFET栅氧可靠性状态监测方法综述
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作者 李壮 蔡雨萌 +2 位作者 孙鹏 赵志斌 程旭 《电力电子技术》 2026年第4期1-19,共19页
碳化硅(silicon carbide,SiC)金属-氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxide semiconductor field effect transistor,MOSFET)凭借其高压、高温、高频及低损耗的优异特性,在新能源汽车、智能电网及航空航天等领域展现出广阔应用前景。然而... 碳化硅(silicon carbide,SiC)金属-氧化物半导体场效应晶体管(metal-oxide semiconductor field effect transistor,MOSFET)凭借其高压、高温、高频及低损耗的优异特性,在新能源汽车、智能电网及航空航天等领域展现出广阔应用前景。然而,相较于成熟的硅(silicon,Si)基器件,SiC MOSFET中的SiC/二氧化硅(silicon dioxide,SiO_(2))栅氧界面处固有缺陷密度较高,导致器件在长期运行中面临阈值电压漂移、栅极漏电流增大等可靠性问题,严重制约其规模化应用进程。本文针对SiC MOSFET栅氧退化机理及状态监测方法展开系统性研究,首先对SiC MOSFET中栅氧退化的影响进行了系统性分析。然后重点评述了近年来栅氧可靠性监测技术的研究进展,从监测参数线性度、温度依赖性、封装退化影响、在线监测可行性、实施难度及工程可行性6个维度进行对比分析。最后,针对当前研究存在的不足,对SiC MOSFET可靠性状态监测方法进行展望。 展开更多
关键词 碳化硅mosfet 栅氧可靠性 状态监测 栅氧退化 阈值电压漂移
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SiC MOSFETs在温度冲击试验中的失效原因研究
12
作者 朱帅帅 周昕 +1 位作者 陈杰 韩松 《汽车技术》 北大核心 2026年第2期13-17,共5页
针对碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC MOSFETs)在温度冲击试验中的失效案例,通过电性测试、超声波扫描显微镜、超景深三维显微镜、扫描电子显微镜等方法分析失效缺陷及原因,并提供相应的解决方案,对提升SiC MOSFETs的可靠性、... 针对碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC MOSFETs)在温度冲击试验中的失效案例,通过电性测试、超声波扫描显微镜、超景深三维显微镜、扫描电子显微镜等方法分析失效缺陷及原因,并提供相应的解决方案,对提升SiC MOSFETs的可靠性、保证整车稳定运行具有一定价值。 展开更多
关键词 SiC mosfets 温度冲击 失效分析 分层
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Effect of extrinsic resistance on noise performance for deep submicron MOSFET
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作者 GAO Han-Qi JIN Jing ZHOU Jian-Jun 《红外与毫米波学报》 北大核心 2026年第1期97-102,共6页
本文采用噪声相关矩阵法,研究了外电路电阻对深亚微米MOSFET噪声性能的影响。基于小信号等效电路模型和噪声等效电路模型,推导得到了四个噪声参数的解析闭合表达式。对于栅长40 nm、尺寸为4×5μm(栅指数量×单位栅宽)的MOSFET... 本文采用噪声相关矩阵法,研究了外电路电阻对深亚微米MOSFET噪声性能的影响。基于小信号等效电路模型和噪声等效电路模型,推导得到了四个噪声参数的解析闭合表达式。对于栅长40 nm、尺寸为4×5μm(栅指数量×单位栅宽)的MOSFET,仿真结果与实验数据表现出良好的一致性。 展开更多
关键词 等效电路 mosfet 参数提取 噪声模型 小信号模型
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基于SiO_(2)衬底的超薄β-Ga_(2)O_(3)MOSFET特性
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作者 吴宗烜 赵旭 +2 位作者 刘旭阳 陈春伶 陈海峰 《半导体技术》 北大核心 2026年第2期119-124,共6页
基于超宽禁带β-Ga_(2)O_(3)的MOSFET在功率驱动电路领域具有重要的应用潜力。研究了SiO_(2)衬底上的超薄β-Ga_(2)O_(3)MOSFET的特性。通过采用不同工艺参数制备不同结构的MOSFET,研究薄膜厚度(60、120、180 nm)、退火温度(700、800、... 基于超宽禁带β-Ga_(2)O_(3)的MOSFET在功率驱动电路领域具有重要的应用潜力。研究了SiO_(2)衬底上的超薄β-Ga_(2)O_(3)MOSFET的特性。通过采用不同工艺参数制备不同结构的MOSFET,研究薄膜厚度(60、120、180 nm)、退火温度(700、800、900℃)、源漏电极间距(30、35、40μm)、栅源电极间距(5、10、15μm)等关键工艺与结构参数对器件性能的影响。结果表明:薄膜厚度和退火温度显著影响器件的阈值电压,考虑阈值电压和饱和电流等因素,120 nm厚的薄膜制备的器件性能最好;受亚阈值摆幅及阈值电压的限制,退火温度为900℃时器件性能最优;源漏和栅源电极间距直接调制器件的导通电阻与饱和电流,源漏电极间距为35μm和栅源电极间距为10μm的器件综合性能最佳。本研究为β-Ga_(2)O_(3)基MOSFET的发展提供了参考。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) 原子层沉积 mosfet 退火 电极间距
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基于ADuM4146的SiC MOSFET驱动器研制
15
作者 周荣 田鸿昌 陈彦光 《现代电子技术》 北大核心 2026年第4期13-20,共8页
碳化硅(SiC)器件与传统硅基IGBT器件相比,开关频率显著提高,能够提升整体装置的功率密度和效率。合理的SiC MOSFET驱动是确保装置安全、可靠、高效运行的基础。对SiC MOSFET的开关过程及原理进行了分析,根据SiC MOSFET自身特性参数,对... 碳化硅(SiC)器件与传统硅基IGBT器件相比,开关频率显著提高,能够提升整体装置的功率密度和效率。合理的SiC MOSFET驱动是确保装置安全、可靠、高效运行的基础。对SiC MOSFET的开关过程及原理进行了分析,根据SiC MOSFET自身特性参数,对驱动器设计要求进行分解与计算,提出了基于ADuM4146的SiC MOSFET驱动器电路设计方案,针对驱动电路与保护策略进行了全面解析。实验结果显示,基于ADuM4146的SiC MOSFET驱动器拥有良好的驱动波形,且具备有效的短路保护能力,可为大功率装备应用奠定基础。 展开更多
关键词 SiC mosfet 特性分析 驱动器 过流保护 米勒钳位 大功率装备
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基于Si-SOI工艺的高密度CMUT线性阵列的设计与制备
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作者 王靖文 王智豪 +3 位作者 刘书睿 张国军 王任鑫 杨玉华 《舰船电子工程》 2026年第1期183-189,共7页
论文设计、制备并测试了一种基于Si-SOI键合工艺的电容式微机械超声换能器(capacitive micromachined ul⁃trasonic transducer,CMUT)一维线性阵列。依据CMUT敏感单元的结构尺寸,采用COMSOL Multiphsics 6.1构建CMUT敏感单元三维模型,仿... 论文设计、制备并测试了一种基于Si-SOI键合工艺的电容式微机械超声换能器(capacitive micromachined ul⁃trasonic transducer,CMUT)一维线性阵列。依据CMUT敏感单元的结构尺寸,采用COMSOL Multiphsics 6.1构建CMUT敏感单元三维模型,仿真分析了CMUT敏感单元的6阶模态和其在水中工作的谐响应。论文采用Si-SOI低温直接键合技术,制备了32阵元的高密度CMUT线性阵列,采用刻蚀隔离通道的方式实现阵元间的隔离,对于实现阵列的更高密度集成具有重要意义。经测试,采用此种方法制备的CMUT静态电容均值为614.9 pF,标准偏差为17.76 pF,中心频率均值为3.27 MHz,标准偏差为0.062 MHz,该工艺所制备的阵元频率理想、一致性较好。 展开更多
关键词 电容式微机械超声换能器(CMUT) Si-soi键合工艺 谐振频率 线性阵列 一致性
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Structural Influence on Radiation-induced Single-event Effects in SiC MOSFETs:Comparative Analysis of Planar and Trench Designs
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作者 HU Libin FENG Shaohui +7 位作者 SUI Chenglong WANG Chengjie CHEN Miao LU Peng YANG Can SHU Lei LU Jiang LI Bo 《原子能科学技术》 北大核心 2026年第3期745-751,共7页
The single-event susceptibility of three silicon carbide(SiC)metal-oxide-semiconductor field-effect transistor(MOSFET)power devices structures(planar,trench and double trench)is researched by the technology computer-a... The single-event susceptibility of three silicon carbide(SiC)metal-oxide-semiconductor field-effect transistor(MOSFET)power devices structures(planar,trench and double trench)is researched by the technology computer-aided design(TCAD)simulation.Comparative analysis of the heavy-ion irradiation effects on three device structures reveals distinct susceptibility characteristics.The gate oxide region is identified as the most sensitive position in planar devices,while trench and doubletrench structures exhibit no localized sensitive regions.Furthermore,the single-event susceptibility demonstrates strong depth dependence across all three structures,with enhanced vulnerability observed at greater ion penetration depths. 展开更多
关键词 SiC mosfet single-event susceptibility different structures TCAD simulation
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基于全SiC MOSFET器件的地铁车辆牵引变流器设计及应用
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作者 万伟伟 曾文杰 +3 位作者 文奇豪 罗谦 周磊 唐邕浦 《电力机车与城轨车辆》 2026年第1期10-17,共8页
基于某地铁车辆全SiC MOSFET器件牵引变流器的研制及应用工作,文章对比分析了SiC材料及器件性能,结合变流器应用要求及散热条件,阐述了开关频率、支撑电容器、热管理和电磁兼容等环节的设计,并针对SiC器件应用对控制策略、牵引电机及牵... 基于某地铁车辆全SiC MOSFET器件牵引变流器的研制及应用工作,文章对比分析了SiC材料及器件性能,结合变流器应用要求及散热条件,阐述了开关频率、支撑电容器、热管理和电磁兼容等环节的设计,并针对SiC器件应用对控制策略、牵引电机及牵引系统的影响进行了分析和试验对比。结果表明,相较于传统Si IGBT牵引变流器,全SiC MOSFET牵引变流器的应用可提升系统节能效果,提高地铁车辆的运行可靠性和乘坐舒适性,完全满足实际应用需求。 展开更多
关键词 全SiC mosfet器件 牵引变流器 电磁兼容 噪声
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基于SiC MOSFET的新能源汽车电机控制器散热与效率优化
19
作者 豆飞娟 李银霞 白惠珍 《专用汽车》 2026年第1期25-27,49,共4页
通过理论分析与实验验证相结合的方法,针对硅基器件热管理瓶颈,利用SiC MOSFET的高温与高频特性,优化散热设计以实现控制器效率整体提升。建立控制器热阻模型、设计高效液冷散热系统并探究结温对导通损耗的影响机制,解决新能源汽车电机... 通过理论分析与实验验证相结合的方法,针对硅基器件热管理瓶颈,利用SiC MOSFET的高温与高频特性,优化散热设计以实现控制器效率整体提升。建立控制器热阻模型、设计高效液冷散热系统并探究结温对导通损耗的影响机制,解决新能源汽车电机控制器的高效散热问题。通过优化散热方案,显著降低了器件工作温度,既保障了可靠性,又降低了导通电阻,进一步提升了系统效率,尤其在高负载工况下效果显著。实验结果表明,散热与效率优化存在协同效应,为新能源汽车电驱系统的高性能设计提供了实践依据。 展开更多
关键词 SiC mosfet 电机控制器 散热设计 效率优化 液冷系统
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基于MOSFET电容器的直流电压非接触测量方法研究
20
作者 刘国福 梁建军 《仪表技术》 2026年第2期70-74,共5页
为解决接触式电压测量对原电路的侵入性与安全性问题,基于MOSFET电容器的电容-电压特性,提出了一种非接触式直流电压测量方法。该方法通过电场耦合感应待测电压,并采用正弦信号激励与相关测量技术实现MOSFET电容的精确测量。利用LTspic... 为解决接触式电压测量对原电路的侵入性与安全性问题,基于MOSFET电容器的电容-电压特性,提出了一种非接触式直流电压测量方法。该方法通过电场耦合感应待测电压,并采用正弦信号激励与相关测量技术实现MOSFET电容的精确测量。利用LTspice软件对所设计的测量电路进行仿真,并搭建了实验系统进行验证。结果表明:该测量系统可以实现非接触式的直流电压测量,在-20~20 V测试范围内,最大相对误差小于2.50%。 展开更多
关键词 直流电压 非接触测量 mosfet电容器 电场耦合
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