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基于LLM模型的AI误差分析MOSFET测试系统
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作者 罗西辉 何远萧 +2 位作者 陆韵炜 董亮 刘成 《集成电路与嵌入式系统》 2026年第3期42-47,共6页
针对传统MOSFET测试流程繁琐、依赖大型仪器且智能化程度低等难题,设计了一套集成大语言模型(LLM)与“雨珠S”便携硬件的自动化测试系统。该系统以“雨珠S”仪器为核心,通过一体化PCB载板实现特性曲线、阈值电压、导通电阻等参数的测试... 针对传统MOSFET测试流程繁琐、依赖大型仪器且智能化程度低等难题,设计了一套集成大语言模型(LLM)与“雨珠S”便携硬件的自动化测试系统。该系统以“雨珠S”仪器为核心,通过一体化PCB载板实现特性曲线、阈值电压、导通电阻等参数的测试,并创新性地利用Gemini API赋能软件实现PDF数据手册自动解析、测试参数智能推荐与测试结果的深度误差分析。对IRF7401器件的测试结果表明,系统获取的关键动静态参数与数据手册及仿真值吻合良好,验证了该测试方案的准确性与可行性,为终端用户进行器件性能评估提供了一种高效、智能的便携式新方法。 展开更多
关键词 mosfet 误差分析 大语言模型 半导体器件 自动测试技术
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SiC MOSFETs在温度冲击试验中的失效原因研究
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作者 朱帅帅 周昕 +1 位作者 陈杰 韩松 《汽车技术》 北大核心 2026年第2期13-17,共5页
针对碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC MOSFETs)在温度冲击试验中的失效案例,通过电性测试、超声波扫描显微镜、超景深三维显微镜、扫描电子显微镜等方法分析失效缺陷及原因,并提供相应的解决方案,对提升SiC MOSFETs的可靠性、... 针对碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC MOSFETs)在温度冲击试验中的失效案例,通过电性测试、超声波扫描显微镜、超景深三维显微镜、扫描电子显微镜等方法分析失效缺陷及原因,并提供相应的解决方案,对提升SiC MOSFETs的可靠性、保证整车稳定运行具有一定价值。 展开更多
关键词 SiC mosfets 温度冲击 失效分析 分层
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基于ADuM4146的SiC MOSFET驱动器研制
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作者 周荣 田鸿昌 陈彦光 《现代电子技术》 北大核心 2026年第4期13-20,共8页
碳化硅(SiC)器件与传统硅基IGBT器件相比,开关频率显著提高,能够提升整体装置的功率密度和效率。合理的SiC MOSFET驱动是确保装置安全、可靠、高效运行的基础。对SiC MOSFET的开关过程及原理进行了分析,根据SiC MOSFET自身特性参数,对... 碳化硅(SiC)器件与传统硅基IGBT器件相比,开关频率显著提高,能够提升整体装置的功率密度和效率。合理的SiC MOSFET驱动是确保装置安全、可靠、高效运行的基础。对SiC MOSFET的开关过程及原理进行了分析,根据SiC MOSFET自身特性参数,对驱动器设计要求进行分解与计算,提出了基于ADuM4146的SiC MOSFET驱动器电路设计方案,针对驱动电路与保护策略进行了全面解析。实验结果显示,基于ADuM4146的SiC MOSFET驱动器拥有良好的驱动波形,且具备有效的短路保护能力,可为大功率装备应用奠定基础。 展开更多
关键词 SiC mosfet 特性分析 驱动器 过流保护 米勒钳位 大功率装备
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基于SiO_(2)衬底的超薄β-Ga_(2)O_(3)MOSFET特性
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作者 吴宗烜 赵旭 +2 位作者 刘旭阳 陈春伶 陈海峰 《半导体技术》 北大核心 2026年第2期119-124,共6页
基于超宽禁带β-Ga_(2)O_(3)的MOSFET在功率驱动电路领域具有重要的应用潜力。研究了SiO_(2)衬底上的超薄β-Ga_(2)O_(3)MOSFET的特性。通过采用不同工艺参数制备不同结构的MOSFET,研究薄膜厚度(60、120、180 nm)、退火温度(700、800、... 基于超宽禁带β-Ga_(2)O_(3)的MOSFET在功率驱动电路领域具有重要的应用潜力。研究了SiO_(2)衬底上的超薄β-Ga_(2)O_(3)MOSFET的特性。通过采用不同工艺参数制备不同结构的MOSFET,研究薄膜厚度(60、120、180 nm)、退火温度(700、800、900℃)、源漏电极间距(30、35、40μm)、栅源电极间距(5、10、15μm)等关键工艺与结构参数对器件性能的影响。结果表明:薄膜厚度和退火温度显著影响器件的阈值电压,考虑阈值电压和饱和电流等因素,120 nm厚的薄膜制备的器件性能最好;受亚阈值摆幅及阈值电压的限制,退火温度为900℃时器件性能最优;源漏和栅源电极间距直接调制器件的导通电阻与饱和电流,源漏电极间距为35μm和栅源电极间距为10μm的器件综合性能最佳。本研究为β-Ga_(2)O_(3)基MOSFET的发展提供了参考。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) 原子层沉积 mosfet 退火 电极间距
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基于SiC MOSFET的新能源汽车电机控制器散热与效率优化
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作者 豆飞娟 李银霞 白惠珍 《专用汽车》 2026年第1期25-27,49,共4页
通过理论分析与实验验证相结合的方法,针对硅基器件热管理瓶颈,利用SiC MOSFET的高温与高频特性,优化散热设计以实现控制器效率整体提升。建立控制器热阻模型、设计高效液冷散热系统并探究结温对导通损耗的影响机制,解决新能源汽车电机... 通过理论分析与实验验证相结合的方法,针对硅基器件热管理瓶颈,利用SiC MOSFET的高温与高频特性,优化散热设计以实现控制器效率整体提升。建立控制器热阻模型、设计高效液冷散热系统并探究结温对导通损耗的影响机制,解决新能源汽车电机控制器的高效散热问题。通过优化散热方案,显著降低了器件工作温度,既保障了可靠性,又降低了导通电阻,进一步提升了系统效率,尤其在高负载工况下效果显著。实验结果表明,散热与效率优化存在协同效应,为新能源汽车电驱系统的高性能设计提供了实践依据。 展开更多
关键词 SiC mosfet 电机控制器 散热设计 效率优化 液冷系统
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基于全SiC MOSFET器件的地铁车辆牵引变流器设计及应用
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作者 万伟伟 曾文杰 +3 位作者 文奇豪 罗谦 周磊 唐邕浦 《电力机车与城轨车辆》 2026年第1期10-17,共8页
基于某地铁车辆全SiC MOSFET器件牵引变流器的研制及应用工作,文章对比分析了SiC材料及器件性能,结合变流器应用要求及散热条件,阐述了开关频率、支撑电容器、热管理和电磁兼容等环节的设计,并针对SiC器件应用对控制策略、牵引电机及牵... 基于某地铁车辆全SiC MOSFET器件牵引变流器的研制及应用工作,文章对比分析了SiC材料及器件性能,结合变流器应用要求及散热条件,阐述了开关频率、支撑电容器、热管理和电磁兼容等环节的设计,并针对SiC器件应用对控制策略、牵引电机及牵引系统的影响进行了分析和试验对比。结果表明,相较于传统Si IGBT牵引变流器,全SiC MOSFET牵引变流器的应用可提升系统节能效果,提高地铁车辆的运行可靠性和乘坐舒适性,完全满足实际应用需求。 展开更多
关键词 全SiC mosfet器件 牵引变流器 电磁兼容 噪声
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氧化温度与NO退火组分协同优化提升SiC MOSFET界面特性与器件性能
7
作者 刘玮 陈刚 +4 位作者 夏云 桂雅雯 陈昱 田佳民 杜融鑫 《微纳电子技术》 2026年第1期104-109,共6页
针对碳化硅(SiC)金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)中SiC/SiO2界面态密度偏高、迁移率低、栅氧击穿场强退化与阈值电压不稳定问题,系统研究了氧化温度、NO退火组分对界面特性及器件性能的调控机制。通过设计三组对比实验(氧化温度... 针对碳化硅(SiC)金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)中SiC/SiO2界面态密度偏高、迁移率低、栅氧击穿场强退化与阈值电压不稳定问题,系统研究了氧化温度、NO退火组分对界面特性及器件性能的调控机制。通过设计三组对比实验(氧化温度1200~1350℃;退火温度1250~1300℃;NO组分10%~100%),制备金属-氧化物-半导体(MOS)电容、平面MOSFET及横向MOSFET。电学表征与物性分析发现:温度升至1300℃可抑制界面碳团簇,阈值电压负漂移率改善44%,但1350℃工艺因氧空位增多导致栅氧反向击穿场强下降7%;10%NO退火较100%NO显著提升场效应迁移率38%,这源于氮原子对界面悬挂键的高效钝化。在最优工艺(1300℃氧化温度结合1300℃/10%NO退火)条件下,器件综合性能最优:栅氧正向击穿场强9.65 MV/cm、迁移率14.4 cm^(2)/(V·s)、阈值电压负漂移率-9%。本研究为SiC MOSFET栅氧工艺提供了明确的参数窗口与机理解释。 展开更多
关键词 SiC金属-氧化物-半导体(MOS)电容 SiC横向金属-氧化物-半导体场效应晶体管(mosfet) 栅氧工艺 场效应迁移率 栅氧击穿场强 阈值电压漂移
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A low-thermal-budget MOSFET-based reservoir computing for temporal data classification
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作者 Yanqing Li Feixiong Wang +5 位作者 Heyi Huang Yadong Zhang Xiangpeng Liang Shuang Liu Jianshi Tang Huaxiang Yin 《Journal of Semiconductors》 2026年第1期42-48,共7页
Neuromorphic devices have garnered significant attention as potential building blocks for energy-efficient hardware systems owing to their capacity to emulate the computational efficiency of the brain.In this regard,r... Neuromorphic devices have garnered significant attention as potential building blocks for energy-efficient hardware systems owing to their capacity to emulate the computational efficiency of the brain.In this regard,reservoir computing(RC)framework,which leverages straightforward training methods and efficient temporal signal processing,has emerged as a promising scheme.While various physical reservoir devices,including ferroelectric,optoelectronic,and memristor-based systems,have been demonstrated,many still face challenges related to compatibility with mainstream complementary metal oxide semiconductor(CMOS)integration processes.This study introduced a silicon-based schottky barrier metal-oxide-semiconductor field effect transistor(SB-MOSFET),which was fabricated under low thermal budget and compatible with back-end-of-line(BEOL).The device demonstrated short-term memory characteristics,facilitated by the modulation of schottky barriers and charge trapping.Utilizing these characteristics,a RC system for temporal data processing was constructed,and its performance was validated in a 5×4 digital classification task,achieving an accuracy exceeding 98%after 50 training epochs.Furthermore,the system successfully processed temporal signal in waveform classification and prediction tasks using time-division multiplexing.Overall,the SB-MOSFET's high compatibility with CMOS technology provides substantial advantages for large-scale integration,enabling the development of energy-efficient reservoir computing hardware. 展开更多
关键词 schottky barrier mosfet back-end-of-line integration reservoir computing
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Characteristics of gallium oxide nMOSFET inverter
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作者 Yixin Zhang Haifeng Chen +4 位作者 Zijie Ding Yuduo Zhang Qin Lu Xiangtai Liu Yunhe Guan 《Journal of Semiconductors》 2026年第2期45-50,共6页
β-Ga_(2)O_(3) MOS inverter should play a crucial role in β-Ga_(2)O_(3) electronic circuits. Enhancement-mode(E-mode) MOSFET was fabricated based on β-Ga_(2)O_(3) film grown by atomic layer deposition technology, an... β-Ga_(2)O_(3) MOS inverter should play a crucial role in β-Ga_(2)O_(3) electronic circuits. Enhancement-mode(E-mode) MOSFET was fabricated based on β-Ga_(2)O_(3) film grown by atomic layer deposition technology, and the β-Ga_(2)O_(3) inverter was further monolithically integrated on this basis. The β-Ga_(2)O_(3) n MOSFET exhibits excellent electrical characteristics with an on/off current ratio reaching 10^(5). The logic inverter shows outstanding voltage inversion characteristics under low-frequency from 1 to 400 Hz operation. As the frequency continues to increase to 10 K, the reverse characteristic becomes worse due to parasitic capacitance induced by processes, and the difference between the highest and lowest values of VOUT has an exponential decay relationship with the frequency. This paper provides the practice for the development of β-Ga_(2)O_(3)-based circuits. 展开更多
关键词 ultra-wide bandgap Ga_(2)O_(3) mosfet INVERTER
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Hardened design and practical effect of 60 V trench MOSFET resistant to irradiation
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作者 De-Xin Chen Ying Wang +3 位作者 Huo-Lin Huang Yan-Xing Song Meng-Tian Bao Fei Cao 《Nuclear Science and Techniques》 2026年第4期104-114,共11页
This study focuses on a 60 V trench MOSFET device designed for operation in space radiation environments.By increasing the bulk region concentration and placing the etched gate trench after the P+implantation process,... This study focuses on a 60 V trench MOSFET device designed for operation in space radiation environments.By increasing the bulk region concentration and placing the etched gate trench after the P+implantation process,we successfully reduced the threshold voltage shift from 6.5 to 2.2 V under a total dose of 400 krad(Si)^(60)Co,allowing the device to operate normally.Structurally,by embedding the source metal in the active and terminal regions,the device demonstrated current degradation without experiencing single-event burnout when subjected to a drain voltage of 60 V and a linear energy transfer value of 75.4 MeV·cm^(2)∕mg from tantalum-ion incidence.TCAD simulations verified that the embedded source metal effectively suppressed parasitic transistor conduction and eliminated the base-region expansion effect,thereby lowering the maximum temperature from 8000 to 1400 K.The irradiation effects of the embedded source metal in the terminal region were also investigated,which can improve the reverse recovery and ensure that the terminal metal does not melt prematurely,thereby significantly enhancing the radiation hardness of the device. 展开更多
关键词 Trench mosfet Single-event burnout(SEB) Total ionizing dose(TID) Hardened structure Lattice temperature
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Heavy-ions-induced failure mechanisms and structural damage in SiC MOSFETs under complex irradiation conditions
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作者 Yiping Xiao Chaoming Liu +4 位作者 Jiaming Zhou Le Gao Mingzheng Wang Tianqi Wang and Mingxue Huo 《Chinese Physics B》 2026年第1期599-606,共8页
The failure mechanisms and structural damage of SiC MOSFETs induced by heavy ion irradiation were demonstrated.The findings reveal three degradation modes,depending on the drain voltage.At a relatively low voltage,the... The failure mechanisms and structural damage of SiC MOSFETs induced by heavy ion irradiation were demonstrated.The findings reveal three degradation modes,depending on the drain voltage.At a relatively low voltage,the damage is triggered by the formation and activation of gate latent damage(LDs),with damage concentrated in the gate oxide.The second degradation mode involves permanent leakage current degradation,with damage progressively transitioning from the oxide to the SiC material as the drain voltage escalates.Ultimately,the device undergoes catastrophic burnout above certain voltages,characterized by the lattice temperature reaching the sublimation point of SiC,resulting in surface cavity and complete structural destruction.This paper presents a comprehensive investigation of SiC MOSFETs under heavy ion exposure,providing radiation resistance methods of SiC-based devices for aerospace applications. 展开更多
关键词 heavy ion irradiation silicon carbide(SiC)mosfets structural damage failure mechanism
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基于漏极电压和源极电压检测的SiC MOSFET过流保护芯片
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作者 李强 杨媛 +3 位作者 文阳 赵天阳 李亚兰 茹逍 《电子学报》 北大核心 2025年第9期3211-3222,共12页
为解决碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,SiC MOSFET)硬开关故障(Hard Switch Fault,HSF)、负载故障(Fault Under Load,FUL)和过载故障(OverLoad fault,OL)的问题,本文提出... 为解决碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,SiC MOSFET)硬开关故障(Hard Switch Fault,HSF)、负载故障(Fault Under Load,FUL)和过载故障(OverLoad fault,OL)的问题,本文提出了一种基于SiC MOSFET漏极电压和源极电压检测的过流保护方法(OverCurrent Protection method based on the Drain-voltage and Source-voltage Detection,DSD-OCP).该方法通过检测电路实时监控SiC MOSFET的漏极电压和源极电压来准确识别短路故障和过载故障,并利用驱动电路控制SiC MOSFET的开通和关断,从而实现快速短路保护和自适应过载保护,同时还集成软关断功能.基于0.5μm双极型-互补金属氧化物半导体-双扩散金属氧化物半导体(Bipolar-CMOS-DMOS,BCD)工艺,设计了DSD-OCP电路并进行流片,芯片面积为2.8 mm^(2).采用研制的芯片搭建1200 V/80 mΩSiC MOSFET测试平台,并验证了DSD-OCP方法的有效性.实验结果表明,SiC MOSFET在DSD-OCP芯片保护下的HSF和FUL持续时间分别为88 ns和105 ns.在不同母线电压下,DSD-OCP芯片能够为SiC MOSFET提供自适应的过载保护.因DSD-OCP芯片具有软关断功能,SiC MOSFET在过流保护时的漏极电压过冲不超过110 V. 展开更多
关键词 SiC mosfet 漏极电压和源极电压检测 快速短路保护 自适应过载保护 软关断功能
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碳化硅MOSFET的单粒子漏电退化研究
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作者 徐倩 马瑶 +6 位作者 黄文德 杨诺雅 王键 龚敏 李芸 黄铭敏 杨治美 《电子与封装》 2025年第11期75-81,共7页
通过重离子辐照实验,系统研究SiC金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的单粒子漏电退化规律,并探讨潜在损伤对栅极可靠性的影响。采用光诱导电阻变化(OBIRCH)、聚焦离子束(FIB)和透射电子显微镜(TEM)等检测技术,对受单粒子潜在损伤... 通过重离子辐照实验,系统研究SiC金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的单粒子漏电退化规律,并探讨潜在损伤对栅极可靠性的影响。采用光诱导电阻变化(OBIRCH)、聚焦离子束(FIB)和透射电子显微镜(TEM)等检测技术,对受单粒子潜在损伤影响的器件内部结构变化进行表征。结合宏观电学特性与微观结构变化,阐明SiC MOSFET单粒子漏电退化的机制。研究结果为提升SiC MOSFET在复杂辐照环境下的可靠性提供理论依据。 展开更多
关键词 SIC mosfet 单粒子效应 漏电退化 潜在损伤
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SiC MOSFET雪崩可靠性验证实验平台研制
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作者 刘冬 朱辰 +2 位作者 林超彪 任娜 屈万园 《实验科学与技术》 2025年第6期9-16,共8页
为满足碳化硅功率MOSFET器件雪崩鲁棒性性能评估与可靠性量化分析与测试的教学实验需求,自研SiC MOSFET可靠性验证实验平台。提出功率SiC MOFET器件驱动电路设计与应用方案,构建实验平台等效电路模型并进行参数仿真,设计、制作测试电路... 为满足碳化硅功率MOSFET器件雪崩鲁棒性性能评估与可靠性量化分析与测试的教学实验需求,自研SiC MOSFET可靠性验证实验平台。提出功率SiC MOFET器件驱动电路设计与应用方案,构建实验平台等效电路模型并进行参数仿真,设计、制作测试电路板并搭建整体实验平台。开展商用SiC MOSFET可靠性实验与研究,分析其性能失效前后的电流电压响应曲线,并研究不同感性负载对雪崩特性的影响,测试结果遵循功率MOSFET器件理论规律,验证了实验平台的可用性。该平台开放性强、功能可扩展、成本低,可用于功率器件教学实训和创新科研,为我国功率器件与芯片领域的卓越工程师培养提供试验平台。 展开更多
关键词 功率SiC mosfet 雪崩鲁棒性 实验平台 电路设计 印制电路板
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超紧凑封装高压串联SiC MOSFET脉冲功率模块
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作者 姚陈果 张鹏浩 +4 位作者 余亮 付作鸿 颜薪瞩 雷智程 董守龙 《高电压技术》 北大核心 2025年第11期5683-5695,共13页
传统封装的高寄生电感限制了SiC MOSFET串联开关的开启速度。为此设计了一种面向芯片级高压串联SiC MOSFET模块的π形超紧凑封装,可将16级/20 kV的串联开关寄生电感削减至55.8 nH。首先,研究了超紧凑封装结构参数对回路寄生电感和电场... 传统封装的高寄生电感限制了SiC MOSFET串联开关的开启速度。为此设计了一种面向芯片级高压串联SiC MOSFET模块的π形超紧凑封装,可将16级/20 kV的串联开关寄生电感削减至55.8 nH。首先,研究了超紧凑封装结构参数对回路寄生电感和电场分布的影响。结果表明,板间距的减少能够显著降低寄生电感,然而其缩小受到绝缘可靠性的阻碍。为解决超紧凑封装绝缘问题以实现寄生电感极限削减,分别提出了相应的局放探测和绝缘增强方法。包含一种基于共模电荷测量的局放监测方法,用于脉冲电应力下局部放电起始电压(partial discharge inception voltage,PDIV)的准确测量。随后,通过六方氮化硼填料改性与复合提高了硅胶灌封料的绝缘,PDIV测量结果显示其满足了较小板间距封装的绝缘需求,从而实现了寄生电感的极限削减。此外,为了将超紧凑封装串联模块应用于脉冲发生,提出了一种分单元磁隔离-电容自触发混合驱动方案,在保障驱动隔离耐压能力的同时,提升了多级MOSFET的开启同步性和速度,实现了16级MOS模块在26 ns内的同步开通。相比传统TO-247串联,基于超紧凑封装串联开关的脉冲功率模块的开启速度提升显著。同时,模块运行中也展现出了充足的热管理能力。 展开更多
关键词 SiC mosfet串联 功率模块封装 局部放电 隔离驱动 脉冲功率
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一种新型阶梯栅多沟道SiC MOSFET结构
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作者 谭会生 刘帅 戴小平 《半导体技术》 北大核心 2025年第11期1114-1121,1127,共9页
为了提升SiC MOSFET的综合性能,提出了一种新型阶梯栅多沟道SiC MOSFET结构,并进行了工艺仿真和器件特性仿真。新结构的阶梯栅极既能通过多导通沟道机制和扩宽p阱间距来减小比导通电阻,又能通过上、下方的p阱来缓解器件正向阻断时在栅... 为了提升SiC MOSFET的综合性能,提出了一种新型阶梯栅多沟道SiC MOSFET结构,并进行了工艺仿真和器件特性仿真。新结构的阶梯栅极既能通过多导通沟道机制和扩宽p阱间距来减小比导通电阻,又能通过上、下方的p阱来缓解器件正向阻断时在栅氧拐角聚集的高电场;同时其分离栅结构和栅极下方的p阱能有效减小栅漏电容,削弱密勒效应,进而减小器件的开关延迟和损耗。仿真结果表明,相比平面栅SiC MOSFET和双沟槽SiC MOSFET,新型器件的巴利加优值(BFOM)分别提升了9.89%和19.60%,栅氧电场强度分别降低了37.69%和38.79%,栅漏电容分别降低了44.6%和66%,栅漏电荷分别降低了28.8%和66.7%,栅极电荷分别降低了7.7%和29.4%,其具有较好的综合性能。 展开更多
关键词 SiC mosfet 阶梯栅极 巴利加优值(BFOM) 静态特性 动态特性
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一种新型P-shield区自钳位的低比导通电阻SiC MOSFET器件
17
作者 孔谋夫 赵亮 +2 位作者 艾昭宇 程泽俞 邓鸿飞 《微电子学》 北大核心 2025年第1期140-146,共7页
提出了一种采用自偏置PMOS钳位栅极沟槽底部P-shield区的新型沟槽型SiC功率MOSFET器件。提出器件集成的PMOS以沟槽底部P-shield区为源极、P+源区为漏极及沟槽内填充金属为栅极,且该PMOS的栅极与漏极短接。利用该PMOS的钳位作用,实现对... 提出了一种采用自偏置PMOS钳位栅极沟槽底部P-shield区的新型沟槽型SiC功率MOSFET器件。提出器件集成的PMOS以沟槽底部P-shield区为源极、P+源区为漏极及沟槽内填充金属为栅极,且该PMOS的栅极与漏极短接。利用该PMOS的钳位作用,实现对栅极沟槽底部的P-shield区电位的调控。当器件导通时,PMOS截止,P-shield区浮空,从而改善SiC MOSFET的沟道区的JFET效应,降低器件的比导通电阻;当器件处于阻断耐压状态时,自钳位PMOS导通,使得P-shield区的电位得到钳制,从而增强P-shield区对栅氧化层的电场屏蔽作用,提高器件的可靠性。仿真结果表明,该提出器件的击穿电压(BV)为1 430 V,比导通电阻(R_(on,sp))为1.70 mΩ·cm^(2);提出器件与传统器件相比耐压相近,R_(on,sp)获得改善,栅漏电荷和高频优值分别提升超过14.3%和20%,同时该器件具有比传统器件更低的栅氧电场。 展开更多
关键词 SiC Trench mosfet 击穿电压 比导通电阻 栅氧电场
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基于栅极振荡电流的SiC MOSFET栅氧老化监测及并联失效预警
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作者 陈伟铭 陈石川 +4 位作者 范元亮 李泽文 田鑫 陈璐瑶 鞠建永 《中国测试》 北大核心 2025年第S1期281-288,共8页
提出了一种可以实时在线监测SiC MOSFET栅氧老化状态的简便方法,可对并联SiC MOSFET器件老化导致的不均流问题进行监测和预防。本研究采用分段解析方法,深入探究了SiC MOSFET开关瞬态响应特性,并推导出栅极导通瞬态过程的高频等效电路... 提出了一种可以实时在线监测SiC MOSFET栅氧老化状态的简便方法,可对并联SiC MOSFET器件老化导致的不均流问题进行监测和预防。本研究采用分段解析方法,深入探究了SiC MOSFET开关瞬态响应特性,并推导出栅极导通瞬态过程的高频等效电路模型。利用该模型,重点剖析了栅氧化层退化对开通振荡电流形成的关键影响,揭示了二者间的因果关联。所得结论为实施SiC MOSFET栅氧老化在线状态监测提供了坚实的理论支撑。随后,通过实验验证了该参数可实现并联SiC MOSFET器件老化不均流问题的在线检测,对后续并联电路参数设计、并联驱动电路设计、在线状态检测等具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 并联SiC mosfet 栅氧老化 在线检测 栅极振荡 mosfet并联均流
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安全工作区外重复过电压硬开关下SiC MOSFET参数退化特性与机理 被引量:3
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作者 张岩 薛少鹏 +2 位作者 李阳 李现亭 刘进军 《电工技术学报》 北大核心 2025年第16期5029-5043,共15页
受寄生电感或串联器件分压不均影响,SiC MOSFET可能承受偶发的、安全工作区(SOA)外的短时过电压硬开关应力,造成参数退化或器件损坏,而现有的功率器件可靠性研究主要集中于SOA内的长期静态工况,导致预期寿命与实际寿命偏差较大。该文研... 受寄生电感或串联器件分压不均影响,SiC MOSFET可能承受偶发的、安全工作区(SOA)外的短时过电压硬开关应力,造成参数退化或器件损坏,而现有的功率器件可靠性研究主要集中于SOA内的长期静态工况,导致预期寿命与实际寿命偏差较大。该文研究过电压硬开关应力作用下两种不同额定电压的SiC MOSFET退化机制,并与栅极开关应力和静态过电压应力测试结果进行对比。由于栅氧化层退化,工作在第一象限的器件阈值电压V_(th)和导通电阻R_(DS(on))减小,栅极漏电流IGSS和漏极截止电流IDSS增加。同时,受阈值电压和跨导变化的影响,器件动态特性产生变化。对于工作在第三象限的器件,堆垛层错扩大造成其体二极管正向压降增加。结合不同过应力工况下的实验结果和TCAD仿真,明确器件栅氧化层退化的主要机制为高电场应力导致的热载流子注入,且阈值电压退化规律主要与开关次数及漏源电压相关。该研究为器件在临界工况中的应用及变换器的裕量设计提供了理论支撑。 展开更多
关键词 加速寿命测试 SiC mosfet 栅氧化层退化 硬开关
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基于同步辐射的SGT MOSFET失效无损检测技术 被引量:1
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作者 万荣桂 郑理 +3 位作者 王丁 周学通 沈玲燕 程新红 《半导体技术》 北大核心 2025年第2期181-186,共6页
屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损... 屏蔽栅沟槽型MOSFET(SGT MOSFET)在应用中,鉴于电路中存在寄生电感或感性负载,该器件极易受非箝位电感开关(UIS)应力的影响,可能导致器件烧毁失效。采用X射线衍射形貌(XRT)技术对SGT MOSFET雪崩失效后的X射线衍射图像进行研究。在不损坏器件的前提下,将烧毁点定位在元胞区域的漂移区。采用开盖检测方式验证了烧毁点位置的准确性,并且通过扫描电子显微镜(SEM)表征烧毁点的微观形貌。最后,通过仿真软件模拟芯片表面的三维图形,并利用TCAD仿真揭示了UIS的失效机理,即电流集中所产生的高温致使漂移区的硅融化。失效机理与实验结果相吻合。 展开更多
关键词 屏蔽栅沟槽型功率mosfet 雪崩失效 同步辐射 无损检测 截面拓扑
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