期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
静电微泵的3D流固耦合动态特性分析 被引量：4
1
作者 董金新 林谢昭 +1 位作者 应济 李俊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期599-603,共5页
采用任意拉格朗日—欧拉(ALE)描述建立了无阀微泵的静电-结构-流体全耦合三维模型,数值仿真表明:泵内流体的动态特性与泵膜的运动存在着密切的关系;扩散/收缩口单元两端的压力差必须达到一定值后才有"整流"泵送效用;泵腔内流... 采用任意拉格朗日—欧拉(ALE)描述建立了无阀微泵的静电-结构-流体全耦合三维模型,数值仿真表明:泵内流体的动态特性与泵膜的运动存在着密切的关系;扩散/收缩口单元两端的压力差必须达到一定值后才有"整流"泵送效用;泵腔内流体压力的分布几乎一致;流体流动的最大雷诺数远小于宏观条件下认定的临界雷诺数;流体黏滞损失的非线性不容忽视。 展开更多
关键词 无阀微泵 流固耦合 静电驱动 数值仿真 memscad
在线阅读 下载PDF
MEMS CAD系统IMEE的研究和开发 被引量：5
2
作者 张海霞 郭辉 +2 位作者 肖志勇 周荣春 郝一龙 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期92-95,共4页
IMEE是一个自主研发的MEMSCAD系统 ,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线 ,贯穿整个设计过程 ,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题 ,实现MEM... IMEE是一个自主研发的MEMSCAD系统 ,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线 ,贯穿整个设计过程 ,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题 ,实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外 ,该系统是跨平台的 ,即适用于UNIX也适用于WINDOWS操作系统 ,对其他MEMSCAD软件具有很好的兼容性 ,还支持用户自主扩展其他功能模块。 展开更多
关键词 MEMS 微电子机械系统 CAD系统 IMEE 操作系统 memscad软件
在线阅读 下载PDF
静电无阀微泵两种仿真模型的比较研究 被引量：2
3
作者 林谢昭 应济 陈子辰 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1943-1947,共5页
为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM... 为提高无阀微泵性能,分别采用全耦合模型(FCM)和预先定义泵膜位移的模型(PDM)对基于扩散/收缩单元的静电无阀微泵的动态特性进行计算仿真.对泵膜变形形状、泵膜中点位移、泵腔内压力以及进出口处流量等的变化历程进行比较.结果表明:PDM模型计算费用较低,但无法以较高精度近似泵膜变形的动态特性,进而导致错误的瞬态流场结果.要准确仿真微泵的动态特性,必须考虑电-结构-流场之间的相互作用. 展开更多
关键词 静电无阀微泵 静电-结构-流体耦合 memscad
在线阅读 下载PDF
MEMS薄膜断裂强度测试结构 被引量：3
4
作者 梅年松 黄庆安 《微纳电子技术》 CAS 2002年第12期32-35,共4页
多晶硅断裂强度是MEMS器件极限工作的主要参数,也是MEMSCAD数据库建立的重要方面之一,在微小尺寸的情况下断裂强度的测试方法与大尺寸时有很大的不同,测试结果会受到很多因素的影响。本文总结了近几年MEMS薄膜断裂强度的测试方法及存在... 多晶硅断裂强度是MEMS器件极限工作的主要参数,也是MEMSCAD数据库建立的重要方面之一,在微小尺寸的情况下断裂强度的测试方法与大尺寸时有很大的不同,测试结果会受到很多因素的影响。本文总结了近几年MEMS薄膜断裂强度的测试方法及存在的问题,对进一步结构设计有一定的参考价值。 展开更多
关键词 MEMS薄膜 memscad 静电测试 断裂强度
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部