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CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)系LTCC基板材料研究
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作者 吕洋 马涛 +2 位作者 沐方清 兰耀海 周万丰 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第6期655-661,共7页
采用CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)玻璃与Al_(2)O_(3)陶瓷共烧,制备了CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)+Al_(2)O_(3)系的LTCC复相陶瓷材料,通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、差热分析(DTA)以及电性能测试等手段对复相陶瓷的晶体结构... 采用CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)玻璃与Al_(2)O_(3)陶瓷共烧,制备了CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)+Al_(2)O_(3)系的LTCC复相陶瓷材料,通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、差热分析(DTA)以及电性能测试等手段对复相陶瓷的晶体结构、微观形貌、烧结致密化过程以及介电性能进行了表征分析。结果表明,CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)玻璃在烧结时析晶生成LaBO3相,又与Al_(2)O_(3)发生固相反应生成CaAl_(2)B_(2)O_(7)相,提升玻璃中CaO含量以及降低玻璃粒度都能使得玻璃的ΔT增大,烧结区间扩大,从而使复相陶瓷获得最优异的综合性能。当CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)中CaO质量分数为15%且粒度为2.5μm时,与质量分数55%的Al_(2)O_(3)复合后可在850℃烧结致密。该材料介电常数约为7.0(20 GHz),介电损耗<0.0009(20 GHz),抗弯强度>240 MPa。通过此组分流延制备出的LTCC生瓷带与银导体共烧,基板翘曲度≤3‰,满足LTCC基板材料对陶瓷基本特性及与银导体共烧匹配的应用需求。 展开更多
关键词 CaO-La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3) ltcc 基板 玻璃 共烧
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全银体系国产化LTCC基板工艺的关键技术 被引量:1
2
作者 马涛 张鹏飞 李靖巍 《电子工艺技术》 2025年第2期19-23,共5页
研究了全银体系国产化LTCC基板的填孔、烧结及化学镀镍钯金工艺。分析了浆料性能和掩模版参数对填孔工艺质量的影响,探讨了基板烧结平整性与收缩一致性的控制方案,并剖析了化学镀镍钯金工艺的影响因素。研究表明,填孔浆料的收缩率、触... 研究了全银体系国产化LTCC基板的填孔、烧结及化学镀镍钯金工艺。分析了浆料性能和掩模版参数对填孔工艺质量的影响,探讨了基板烧结平整性与收缩一致性的控制方案,并剖析了化学镀镍钯金工艺的影响因素。研究表明,填孔浆料的收缩率、触变性能以及掩模版的厚度和孔径均会显著影响填孔工艺质量;导体浆料的烧结收缩率、基板烧结温度及等静压工艺则直接关系基板的平整性和收缩一致性;LTCC材料特性及化学镀镍钯金工艺对表层金属化质量产生重要影响。 展开更多
关键词 银浆 ltcc 填孔 烧结 化学镀镍钯金
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基于LTCC工艺的高耦合平面变压器仿真设计
3
作者 黎楚明 李元勋 李馥余 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第3期265-271,共7页
采用低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术,开发了一种兼具小型化、高耦合的平面变压器。针对现有LTCC平面变压器耦合效率较低的问题,本文提出了一种创新设计,即在同一平面上布置原边和副边线圈,并在线圈上添加非磁性介质层,以提高变压器的耦合系... 采用低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术,开发了一种兼具小型化、高耦合的平面变压器。针对现有LTCC平面变压器耦合效率较低的问题,本文提出了一种创新设计,即在同一平面上布置原边和副边线圈,并在线圈上添加非磁性介质层,以提高变压器的耦合系数,此外通过改变结构参数,仿真了不同结构参数对耦合系数的影响。仿真结果显示,采用本文提出的新结构的LTCC平面变压器的耦合系数显著优于传统结构,仿真数值达到0.9以上。这一结构为未来开发高耦合效率的LTCC平面变压器提供了参考。 展开更多
关键词 ltcc工艺 平面变压器 耦合效率 仿真
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一种基于LTCC技术的低频小尺寸3 dB电桥
4
作者 马涛 王慷 +1 位作者 聂梦文 潘园园 《电子与封装》 2025年第10期78-82,共5页
3 dB电桥在通信系统广泛应用于微波信号合成与分配。针对小型化和低频应用需求,利用低温共烧陶瓷工艺开发一款低频小尺寸电桥。采用宽边耦合结构实现3 dB耦合,并调整线宽实现驻波比和隔离的均衡;采用螺旋和三维绕线结构实现小型化;引入... 3 dB电桥在通信系统广泛应用于微波信号合成与分配。针对小型化和低频应用需求,利用低温共烧陶瓷工艺开发一款低频小尺寸电桥。采用宽边耦合结构实现3 dB耦合,并调整线宽实现驻波比和隔离的均衡;采用螺旋和三维绕线结构实现小型化;引入耦合线对地结构进一步降低应用频率。采用标准1206封装,测试结果与仿真结果吻合,通带为330~580 MHz,驻波比≤1.5,隔离度≥17.9 dB,幅度不平衡度≤1.2 dB,相位不平衡度≤5°。 展开更多
关键词 3 dB电桥 ltcc 低频 宽边耦合
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LTCC银浆电迁移特性的抑制方法 被引量:1
5
作者 于卫龙 王亚东 任耀华 《电子工艺技术》 2025年第4期23-25,共3页
在LTCC基板制造过程中,通过提高银导体浆料的使用比例,实现降低制造成本的目的,同时为了保证产品的可靠性,需对银元素迁移特性进行研究。针对LTCC基板特定结构进行不同条件下的加电使用验证,测量其漏电流失效寿命,找出影响发生银元素电... 在LTCC基板制造过程中,通过提高银导体浆料的使用比例,实现降低制造成本的目的,同时为了保证产品的可靠性,需对银元素迁移特性进行研究。针对LTCC基板特定结构进行不同条件下的加电使用验证,测量其漏电流失效寿命,找出影响发生银元素电迁移的关键。提高封装密封性、充入保护气(减少氧分压)、降低使用电压、增加介质厚度以及降低使用温度,可有效抑制银元素电迁移的发生,达到保证可靠性的目的。 展开更多
关键词 ltcc 银迁移 抑制方法
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基于LTCC的高性能带通滤波器的国产化实现
6
作者 冯旭 《机电元件》 2025年第2期7-10,13,共5页
随着我国LTCC技术的发展,逐步打破了国外此技术的长期垄断。基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术,以其高集成度、高频特性好、可靠性高等特点,设计研发及制备了一款高性能带通滤波器,带通滤波器采用电感与电容双重耦合机制,并融入半集中总结构设... 随着我国LTCC技术的发展,逐步打破了国外此技术的长期垄断。基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术,以其高集成度、高频特性好、可靠性高等特点,设计研发及制备了一款高性能带通滤波器,带通滤波器采用电感与电容双重耦合机制,并融入半集中总结构设计,实现高效滤波功能。通过使用先进的电磁仿真技术与实验相结合的方法,对滤波器性能进行了精确预测和优化,经仿真和实验实测结果比较表明,基于LTCC的高性能带通滤波器在频率选择性、插入损耗、带外抑制等方面均表现出优异性能。 展开更多
关键词 ltcc 带通滤波器 高集成度
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基于LTCC基板直线型微流道散热设计与仿真
7
作者 于浩然 吉喆 严英占 《电子科技大学学报》 北大核心 2025年第4期494-500,共7页
聚焦于结构相对复杂的LTCC基板直线型微流道散热效率较低的问题,在微流道封装层上设置了一种金属银导热柱结构,旨在提高直线型微流道散热器的散热效果。首先采用ANSYS有限元数值构建了3种不同流道数量及10种增设金属柱结构的直线型微流... 聚焦于结构相对复杂的LTCC基板直线型微流道散热效率较低的问题,在微流道封装层上设置了一种金属银导热柱结构,旨在提高直线型微流道散热器的散热效果。首先采用ANSYS有限元数值构建了3种不同流道数量及10种增设金属柱结构的直线型微流道散热器有限元模型,并进行了热-流耦合仿真分析。随后研究了不同流道数量、不同金属柱结构的排列方式和金属柱直径、长度等尺寸对散热效果的影响。仿真结果表明,采用13条流道和0.25 mm直径、0.625 mm长度的金属银导热柱的微流道散热器,在散热性能上表现最为优异。与优化前的直线型微流道结构相比,散热效果提高了8.72%。 展开更多
关键词 散热 ltcc基板 微流道 金属柱热通孔 直线型
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内嵌金属柱在LTCC微流道基板中的散热性能
8
作者 王晗 李振松 《北京信息科技大学学报(自然科学版)》 2025年第1期111-116,共6页
在集成散热微流道的低温共烧陶瓷(low-temperature co-fired ceramics,LTCC)封装基板中引入内嵌金属柱(embedded metal columns,EMCs)作为导热增强结构,是提升封装体散热性能的重要改进措施。基于已有的理论分析与试验研究结果,结合工... 在集成散热微流道的低温共烧陶瓷(low-temperature co-fired ceramics,LTCC)封装基板中引入内嵌金属柱(embedded metal columns,EMCs)作为导热增强结构,是提升封装体散热性能的重要改进措施。基于已有的理论分析与试验研究结果,结合工艺条件,分析内嵌金属柱截面形状、长度、直径和流体入口流速对其散热性能的影响。通过正交试验设计,在有限元仿真软件中建立带有内嵌金属柱的LTCC微流道基板的热仿真模型,并对得到的热仿真数据进行极差与方差分析。研究结果表明,影响内嵌金属柱散热性能的因素由大到小依次为流体流速、内嵌金属柱截面形状、内嵌金属柱直径以及内嵌金属柱长度;在置信度为90%的情况下,流体入口流速、内嵌金属柱截面形状和直径均对其散热性能有显著影响,内嵌金属柱长度对其散热性能无显著影响。 展开更多
关键词 正交试验设计 散热性能 微流道 内嵌金属柱 低温共烧陶瓷
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宇航用高可靠LTCC小型化圆极化天线阵列
9
作者 杨俊雅 王亮平 +3 位作者 林亚梅 黎燕林 施威 刘季超 《上海航天(中英文)》 2025年第4期59-65,共7页
针对宇航用天线阵列的极端环境适应性与高性能要求,选用国产低温共烧陶瓷(LTCC)基板材料,研制了一款中心频率12 GHz的低剖面、轻量小型化、圆极化、4×4规模高可靠天线阵列。分析了天线阵列的结构设计及实物测试,并仿真验证分析了... 针对宇航用天线阵列的极端环境适应性与高性能要求,选用国产低温共烧陶瓷(LTCC)基板材料,研制了一款中心频率12 GHz的低剖面、轻量小型化、圆极化、4×4规模高可靠天线阵列。分析了天线阵列的结构设计及实物测试,并仿真验证分析了辐照环境下材料变化对天线阵列电性能影响及大温域极端环境下材料变化对天线阵列结构可靠性的影响。结果表明:在辐照及大温域极端环境下,国产LTCC材料的参数性能变化对该天线阵列的电性能及结构可靠性影响较小,天线阵列相对阻抗带宽(S11<-10 dB)为41.6%,3 dB轴比相对带宽为33.8%,最大增益为15 dBi,性能优良,结构可靠性高,该天线阵列可广泛应用于宇航圆极化通信系统。 展开更多
关键词 宇航用 低温共烧陶瓷(ltcc) 高可靠 小型化 圆极化 天线阵列
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LTCC基板共烧焊盘的可焊性分析
10
作者 孙建彬 陈翔 董军荣 《电子工艺技术》 2025年第2期38-41,共4页
FBGA与LTCC基板的焊接可靠性直接影响TR组件的功能实现以及性能一致性。针对样件中出现的虚焊,进行了各种原因分析,最终确认LTCC基板共烧焊盘上玻璃相富集是导致焊接可靠性下降的主要原因,同时分析了玻璃相产生的机理及其影响因素。通... FBGA与LTCC基板的焊接可靠性直接影响TR组件的功能实现以及性能一致性。针对样件中出现的虚焊,进行了各种原因分析,最终确认LTCC基板共烧焊盘上玻璃相富集是导致焊接可靠性下降的主要原因,同时分析了玻璃相产生的机理及其影响因素。通过大量样件试验,探索出适合本项目的LTCC烧结温度,为后续量产提供技术保障。 展开更多
关键词 ltcc 玻璃相 共烧焊盘 可焊性
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纳米流体增强LTCC复合微流道结构散热技术
11
作者 田俊涛 袁海 +2 位作者 肖刚 王明琼 郭竞飞 《电子工艺技术》 2025年第3期8-11,共4页
以去离子水和质量分数分别为1%、2%和3%的Al2O3纳米流体为传热介质,探讨了在非均衡、多热源LTCC基板中嵌入金属微结构和多层微流道的散热性能。其中,LTCC基板集成的热源功率分别达到20 W和30 W,内嵌的金属换热柱阵列密度49个/cm^(2),微... 以去离子水和质量分数分别为1%、2%和3%的Al2O3纳米流体为传热介质,探讨了在非均衡、多热源LTCC基板中嵌入金属微结构和多层微流道的散热性能。其中,LTCC基板集成的热源功率分别达到20 W和30 W,内嵌的金属换热柱阵列密度49个/cm^(2),微流道层数则达到3层。结果表明,相对于去离子水作为散热介质,采用纳米流体作为介质时,热源与基板的升温速率显著降低,稳态温度也更低。其中,质量分数为2%的Al2O3纳米流体展现出最佳散热效果,热源温度稳定在46℃和73℃,基板温度控制在35℃,显示出优秀的综合散热性能。 展开更多
关键词 ltcc微流道 纳米流体 内嵌金属柱
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小型化LTCC带阻滤波器的设计与研制
12
作者 王志华 林亚梅 +2 位作者 黎燕林 蒙腾奥 杨俊雅 《电子工艺技术》 2025年第2期31-34,共4页
采用LTCC工艺设计一种集总元件结构带阻滤波器,先用ADS软件优化仿真获得电路元件初始值,然后采用微波电磁场仿真软件HFSS对滤波器物理模型优化仿真。其中谐振单元采用左右对称结构,降低三维模型调试难度。螺旋电感以双层介质层线路为基... 采用LTCC工艺设计一种集总元件结构带阻滤波器,先用ADS软件优化仿真获得电路元件初始值,然后采用微波电磁场仿真软件HFSS对滤波器物理模型优化仿真。其中谐振单元采用左右对称结构,降低三维模型调试难度。螺旋电感以双层介质层线路为基础进行环绕降低耦合电容的值。成功设计了一种LTCC带阻滤波器,其中心频率为1500MHz,在带阻1450~1550MHz范围内衰减量大于32dB,在通带10~1200MHz和1800~4000 MHz范围内插入损耗小于1.5 dB,通带驻波比小于2.0。采用LTCC工艺制备该带阻滤波器,尺寸为4.5mm×3.2mm×1.5mm,样品实测结果与电磁仿真结果基本一致。 展开更多
关键词 ltcc 小型化 带阻滤波器 HFSS 电磁场仿真
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国产化LTCC基陶瓷管壳的可靠性分析 被引量:1
13
作者 卢会湘 柴昭尔 +6 位作者 徐亚新 唐小平 李攀峰 田玉 王康 韩威 尹学全 《电子工艺技术》 2025年第2期11-14,共4页
针对低温共烧陶瓷(LTCC)基陶瓷管壳开展了国产化替代研究,采用化学镀镍钯金工艺提高焊盘的焊接可靠性。通过键合强度、耐焊性和气密性的检测,对管壳及镀层质量进行全面评估,并通过温度循环及多批次重复验证,保证了陶瓷管壳的稳定性、一... 针对低温共烧陶瓷(LTCC)基陶瓷管壳开展了国产化替代研究,采用化学镀镍钯金工艺提高焊盘的焊接可靠性。通过键合强度、耐焊性和气密性的检测,对管壳及镀层质量进行全面评估,并通过温度循环及多批次重复验证,保证了陶瓷管壳的稳定性、一致性。结果表明,所选用的国产可化镀LTCC材料具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 国产化 化学镀钯金 可靠性
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高选择性LTCC电调滤波器的传输零点引入设计 被引量:1
14
作者 刘诗洋 杨乘 +2 位作者 李青 罗志伟 许鑫 《安全与电磁兼容》 2025年第3期62-68,共7页
为响应无线通信系统对滤波器小型化及高选择性的需求,基于低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术,提出了滤波器传输零点引入设计方法。研究了一款225~678 MHz的中心频率和带宽均可调的电调滤波器,并通过引入耦合电容与耦合电感增加了四个传输零点... 为响应无线通信系统对滤波器小型化及高选择性的需求,基于低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术,提出了滤波器传输零点引入设计方法。研究了一款225~678 MHz的中心频率和带宽均可调的电调滤波器,并通过引入耦合电容与耦合电感增加了四个传输零点,滤波器选择性改善了约2 dB,3 dB相对带宽稳定在6%以下。电路、电磁仿真证明,该方法能够有效改善电调滤波器的选择性,滤波电路可行、合理。研究内容对滤波器的小型化和高选择性设计具有重要参考价值。 展开更多
关键词 低温共烧多层陶瓷 电调滤波器 传输零点 耦合电容 耦合电感
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多层异质集成的LTCC基板力学性能测试与有限元仿真分析
15
作者 李秀丽 曹丽莉 李振松 《北京信息科技大学学报(自然科学版)》 2025年第3期8-13,28,共7页
具有多层异质结构(金属布线层与陶瓷层等)的低温共烧陶瓷(low temperature co-fired ceramic, LTCC)基板是一种重要的集成封装部件,对其力学性能进行深入研究具有重要科学意义。针对6种具有不同异质集成结构的LTCC基板断裂行为进行了测... 具有多层异质结构(金属布线层与陶瓷层等)的低温共烧陶瓷(low temperature co-fired ceramic, LTCC)基板是一种重要的集成封装部件,对其力学性能进行深入研究具有重要科学意义。针对6种具有不同异质集成结构的LTCC基板断裂行为进行了测试,获得了其极限弯曲强度。在此基础上,通过有限元仿真方法对其变形模式进行了探讨,并确定了最大主应力位置以及最先发生断裂行为的应力分布规律。研究结果表明,仿真结果与实测数据相对误差均在5%以内,具有良好一致性;当压载荷存在时,多层异质集成LTCC基板的裂纹扩展位置不同,其中,空腔四角处应力最大,具有该结构的基板极限弯曲强度最差。该研究为多层异质集成LTCC基板机械强度的提升提供了有效的实验和理论基础。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 异质集成 力学性能 有限元仿真
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影响低温共烧陶瓷(LTCC)生瓷材料烧结收缩率的因素及调控方法
16
作者 海韵 郭恩霞 +7 位作者 韩滨 殷先印 那华 吕金玉 刘永华 朱宝京 徐博 祖成奎 《玻璃搪瓷与眼镜》 2025年第2期1-8,共8页
低温共烧陶瓷(Low temperature co-fired ceramic,简称LTCC)技术是实现电子元件高密度集成的主要方式。为了满足小型化和高性能系统应用的需求,作为基板支撑材料的LTCC生瓷,必须具备高质量和一致性。此外,为了确保共烧匹配和对位精度,... 低温共烧陶瓷(Low temperature co-fired ceramic,简称LTCC)技术是实现电子元件高密度集成的主要方式。为了满足小型化和高性能系统应用的需求,作为基板支撑材料的LTCC生瓷,必须具备高质量和一致性。此外,为了确保共烧匹配和对位精度,严格控制生瓷在烧结过程的收缩行为至关重要。从材料和工艺两个方面综述了影响LTCC生瓷材料烧结收缩率的主要因素:包括无机粉体的粒度和形貌、玻璃软化点、粘合剂和增塑剂的比例、流延速度、热压叠片压力、以及烧结曲线等。通过分析生瓷的烧结过程及产生收缩的原因,阐述了各个因素对生瓷质量的影响程度及相应的控制方法,为制备高品质生瓷提供参考。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 生瓷 烧结收缩率 影响因素 调控方法
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LTCC电路板化学沉积ENEPIG层焊盘内缩失效分析
17
作者 王玉廷 韩锡正 《电子工艺技术》 2025年第2期28-30,共3页
以低温共烧陶瓷(LTCC)共晶焊接时焊盘内缩为例,通过宏观形貌检查、X-ray膜厚衍射测试、电子显微镜扫描、X-ray能谱分析及截面分析等方法,探索失效原因与机理。通过元素面扫描图像发现镍层表面有异常氧化与磷聚集现象,这是最终导致焊盘... 以低温共烧陶瓷(LTCC)共晶焊接时焊盘内缩为例,通过宏观形貌检查、X-ray膜厚衍射测试、电子显微镜扫描、X-ray能谱分析及截面分析等方法,探索失效原因与机理。通过元素面扫描图像发现镍层表面有异常氧化与磷聚集现象,这是最终导致焊盘表面共晶焊接时焊料内缩的主要诱因。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 化镀镍钯金 焊盘内缩
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一种L波段新型LTCC滤波器的实现 被引量:3
18
作者 何鲁晋 刘林杰 +1 位作者 赵祖军 乔志壮 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第1期79-85,共7页
基于滤波器技术指标,综合分析低温共烧多层陶瓷(LTCC)滤波器中集总、分布两种设计方案的优劣势,提出了一种集总元件和分布元件结合的电路,即两端电路采用集总元件,中间电路采用分布元件,并在建模中优化了元件特性。经过三维电磁软件仿... 基于滤波器技术指标,综合分析低温共烧多层陶瓷(LTCC)滤波器中集总、分布两种设计方案的优劣势,提出了一种集总元件和分布元件结合的电路,即两端电路采用集总元件,中间电路采用分布元件,并在建模中优化了元件特性。经过三维电磁软件仿真与工艺加工制作,发现该集总元件和分布元件结合的设计实现了L波段11%相对带宽下插入损耗3 dB以内,回波损耗20 dB以上,近端抑制60 dB以上,远端至X波段无明显寄生通带。测试结果、电路仿真结果和电磁场仿真结果一致性良好。 展开更多
关键词 低温共烧多层陶瓷技术 ltcc滤波器 分布元件 集总元件
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国产G200型LTCC生瓷带应用研究 被引量:2
19
作者 兰耀海 吕洋 +2 位作者 王飞 沐方清 张鹏飞 《电子与封装》 2024年第9期12-16,共5页
为了推动低温共烧陶瓷(LTCC)生瓷带的国产化进程,同时系统深入地研究国产LTCC生瓷带的工艺加工性能和工程化应用,以进口LTCC浆料和自主研发的G200型LTCC生瓷带为研究对象,采用LTCC工艺制作测试基板,设计一系列应用验证实验方案,测试并研... 为了推动低温共烧陶瓷(LTCC)生瓷带的国产化进程,同时系统深入地研究国产LTCC生瓷带的工艺加工性能和工程化应用,以进口LTCC浆料和自主研发的G200型LTCC生瓷带为研究对象,采用LTCC工艺制作测试基板,设计一系列应用验证实验方案,测试并研究G200型LTCC生瓷带的印刷精度、尺寸稳定性、烧结收缩率以及浆料共烧匹配性等关键性能。通过优化生瓷带的预热工艺、导体印刷等工艺参数,选择合适的基板放大系数及基板层数,使制作的LTCC基板产品达到实际应用要求。 展开更多
关键词 封装 ltcc 工程化应用
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复合双性LTCC材料基础研究 被引量:1
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作者 钟慧 张怀武 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期82-83,共2页
随着电子技术在自动化、工业控制、医学、航天航空和日常生活等领域的广泛应用,高密度、宽温域、小尺寸、多功能、高品质等特性日益成为其发展的必然趋势,同时这些特性给传统封装技术及工艺带来了巨大的挑战。在众多的封装技术中,低温... 随着电子技术在自动化、工业控制、医学、航天航空和日常生活等领域的广泛应用,高密度、宽温域、小尺寸、多功能、高品质等特性日益成为其发展的必然趋势,同时这些特性给传统封装技术及工艺带来了巨大的挑战。在众多的封装技术中,低温共烧陶瓷LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic)技术成为了国际研究的焦点,因为利用LTCC技术制备的产品不仅能具备高电流密度、小体积,而且还具备高可靠性和优良的电性能、传输特性及密封性。LTCC技术是一种先进的混合电路封装技术。它将四大无源器件,即变压器(T)、电容器(C)、电感器(L)和电阻器(R)集成,配置于多层布线基板中,与有源器件(如:功率MOS、晶体管和IC电路模块等)共同集成为一完整的电路系统。因此LTCC技术又称为混合集成技术,它能有效地提高电路的封装密度及系统的可靠性。笔者围绕LTCC技术中的低温共烧铁氧体LTCF(Low Temperature Co-fired Ferrite)材料,采用理论、实验及应用三位一体的研究模式,开发了一种新型LTCC复合介质材料,不但对该材料的复合机理进行了理论模拟而且对其在LTCC滤波器中的应用展开了研究。笔者在理论模型、材料制备和器件设计上做了一些探索性和创新性的工作,具体内容如下:(1)探索性地建立了针对LTCC陶瓷的低温烧结模型。模型基于液相烧结理论,以液相在晶粒边界引起的毛细管压力及溶解–淀析过程中化学势能的变化为烧结驱动力,将烧结温度、时间与烧结后的最终晶粒大小、相对密度联系起来,模拟出低温烧结动态过程中相对密度的变化趋势。(2)首次提出铁电–铁磁复合材料的复合理论并给予了系统的分析。讨论了复合材料中两相成分的化学结构及电磁性能在理论上对复合可能性的影响,根据材料的微观结构建立了复合模型,模型中假设铁电相均匀分布于铁磁相晶粒表面,并和气孔一起形成非磁性薄层将铁磁晶粒之间隔断,使铁磁颗粒孤立。通过对复合结构中铁磁晶粒内场变化的分析,推导出复合材料铁电/铁磁成分比与复合磁导率的关系方程;另外,利用微观结构中电流流通的等效电路,推导得到不同铁电/铁磁成分比时复合材料复数介电常数与频率的关系表达式。(3)研究了工艺条件对材料电磁性能的影响。按照工艺流程改变工艺参数预烧温度、二次球磨时间、烧结曲线中升温降温速度、烧结温度和保温时间,通过SEM、XRD等分析手段了解改变工艺参数对铁氧体材料微观结构的影响规律,通过对材料介电常数频谱、磁导率频谱及品质因数的测量得知工艺参数对材料电磁性能的影响规律,根据实验数据结果得到最佳铁氧体烧结工艺参数。(4)研究了不同掺杂离子及助熔剂的加入对低温烧结铁氧体LTCF材料的微观结构及电磁性能影响。首先研究了不同MnCO3和CuO含量对NiZn铁氧体烧结特性、微观结构及电磁性能的影响,首次发现了掺杂Mn离子的NiZn铁氧体其电磁性能对烧结温度具有敏感性。其次研究了不同助熔剂Bi2O3、WO3和Nb2O5对NiCuZn铁氧体烧结特性、微观结构及电磁性能的影响,实验揭示W6+对材料微观结构的改善;最后对低温NiCuZn铁氧体进行改性掺杂,研究稀土氧化物CeO2对其微观结构及电磁性能的影响,并给出NiCuZn铁氧体掺杂稀土元素时的磁频谱及介频谱。(5)开发了一新型的基于不同低温烧结NiCuZn铁氧体与高介电常数(BaTiOk+X)钙钛矿的具有电感、电容双性的铁电–铁磁复合材料,研究了不同铁电–铁磁含量对各组复合材料微观结构及电容电感双性的影响。并研究了不同助熔剂Bi2O3、WO3和Nb2O5对其烧结特性、微观结构及电容电感双性的影响。最后对复合材料进行稀土掺杂改性,研究稀土氧化物CeO2对其微观结构及电容电感双性的影响。(6)设计并制作出两种使用LTCC复合双性材料的3G通讯设备用带通滤波器。采用Ansoft HFSS电磁仿真软件对所建立的滤波器模型进行模拟仿真,通过调节滤波器结构参数使滤波器各性能指标达到要求,并实现生产制备。制得带通中心频率3.5 GHz,插损<2.8 dB,带宽>400 MHz,阻带衰减大于35 dB的微带式带通滤波器和带通中心频率1.4 GHz,插损<3 dB,带宽>160 MHz,阻带衰减大于30 dB的LC式带通滤波器。 展开更多
关键词 电子技术 ltcc(Low Temperature Co-fired Ceramic)技术 ltcc材料 烧结模型 复数磁导率 介电常数 铁电-铁磁复合材料 ltcc滤波器
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