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塑料微球厚有机涂层制备研究
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作者 黄勇 吴卫东 +3 位作者 魏胜 罗江山 张继成 张占文 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期343-347,共5页
采用低压等离子体化学气相沉积 (LPP CVD)并结合反弹盘方法在靶球表面涂敷厚的CxH1-x涂层。使用反式 2 丁烯为工作气体的沉积速率相对较慢 ,最高为 1μm/h ,而使用苯乙烯时 ,沉积速率提高到 3～ 4μm/h。结合反弹盘技术 ,在塑料微球... 采用低压等离子体化学气相沉积 (LPP CVD)并结合反弹盘方法在靶球表面涂敷厚的CxH1-x涂层。使用反式 2 丁烯为工作气体的沉积速率相对较慢 ,最高为 1μm/h ,而使用苯乙烯时 ,沉积速率提高到 3～ 4μm/h。结合反弹盘技术 ,在塑料微球上涂敷了厚度为 5 0～ 80 μm的CxH1-x涂层 ,涂敷薄膜的表面均方根粗糙度小于 5 0nm。 展开更多
关键词 塑料微球 有机涂层 制备 反式-2-丁烯 苯乙烯 沉积速率 碳氢薄膜 惯性约束聚变 靶丸 化学气相沉积 lpp-cvd
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