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LDD MOSFET热载流子退化分析及其寿命预测
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作者 陈光前 刘伟景 +1 位作者 刘先婷 李清华 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第4期351-356,共6页
集成电路器件密集化导致电场梯度增大和电流密度集中,加剧了热载流子效应,电热性能退化。本文聚焦热载流子注入(Hot carrier injection, HCI)效应对器件可靠性的影响问题,通过研究N型轻掺杂漏极金属氧化物半导体场效应晶体管(N-type lig... 集成电路器件密集化导致电场梯度增大和电流密度集中,加剧了热载流子效应,电热性能退化。本文聚焦热载流子注入(Hot carrier injection, HCI)效应对器件可靠性的影响问题,通过研究N型轻掺杂漏极金属氧化物半导体场效应晶体管(N-type lightly doped drain metal-oxide-semiconductor field effect transistor, LDD NMOSFET)的寿命试验,深入分析了中栅应力区HCI对器件关键电学参数的影响,并与低栅应力区的退化模式进行了对比。结果表明,线性漏极电流的退化率高于饱和漏电流,但退化幂律小于饱和漏电流;在相同应力下不同电学参数的退化率不同,其中最大跨导的退化率最高。基于测试数据构建了LDD NMOSFET电学参数随应力时间变化的关系,提取模型参数,确定了寿命预测模型,并外推出了不同应力电压下的器件寿命。 展开更多
关键词 可靠性 热载流子注入(HCI) 轻掺杂漏极(ldd) 器件退化 寿命预测
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LDD-CMOS中ESD及其相关机理 被引量:11
2
作者 马巍 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期892-896,共5页
LDD工艺是CMOS集成电路进入亚微米后应用最广泛的技术 ,该技术很好地改善了沟道电场分布 ,避免了在器件漏端的强场效应 ,在可靠性方面明显地提高器件及电路的热载流子寿命 .然而 ,LDD结构的抗ESD的能力却大大降低了 .文中通过实验和分... LDD工艺是CMOS集成电路进入亚微米后应用最广泛的技术 ,该技术很好地改善了沟道电场分布 ,避免了在器件漏端的强场效应 ,在可靠性方面明显地提高器件及电路的热载流子寿命 .然而 ,LDD结构的抗ESD的能力却大大降低了 .文中通过实验和分析 ,研究了在ESD过程中 ,LDDgg nMOS器件的Snapback对器件潜在损伤的影响 。 展开更多
关键词 ldd—CMOS ESD潜在损伤 SNAPBACK
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具有加长LDD结构的高压CMOS器件(英文) 被引量:1
3
作者 王晓慧 杜寰 韩郑生 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期246-252,共7页
基于中国科学院微电子研究所的0.8μm标准N阱CMOS工艺以及ISETCAD软件,模拟了具有加长LDD结构的高压CMOS器件。器件的击穿电压可以达到30V以上。加长的LDD结构是通过非自对准的源漏注入实现的。LDD区域的长度和该区域的掺杂浓度对器件... 基于中国科学院微电子研究所的0.8μm标准N阱CMOS工艺以及ISETCAD软件,模拟了具有加长LDD结构的高压CMOS器件。器件的击穿电压可以达到30V以上。加长的LDD结构是通过非自对准的源漏注入实现的。LDD区域的长度和该区域的掺杂浓度对器件击穿影响很大。对于不同的工作电压(10-20V),实验给出了相应的LDD区域长度和该区域的注入剂量。只需要在标准工艺的基础上增加三层掩模版和相应的工艺步骤就能实现低高压工艺的兼容。而且对称结构和非对称结构(具有更大的驱动电流)器件都能实现。与LDMOS或DDDMOS工艺相比,节省了成本,而且所设计的高压器件尺寸较小,有利于集成。 展开更多
关键词 高压CMOS器件 加长ldd结构 击穿电压
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中国英语学习者LDD疑问句习得研究 被引量:2
4
作者 贾光茂 《西安外国语大学学报》 CSSCI 2018年第1期70-74,共5页
LDD疑问句即具有长距离依存关系的疑问句,一直是语言学及二语习得研究的焦点。信息结构假设(BCI)认为LDD疑问句知识与构式信息结构特征有关,词汇原型假设(LTH)认为LDD疑问句的习得是基于构式原型和范例的。为检验以上假设,本研究采用语... LDD疑问句即具有长距离依存关系的疑问句,一直是语言学及二语习得研究的焦点。信息结构假设(BCI)认为LDD疑问句知识与构式信息结构特征有关,词汇原型假设(LTH)认为LDD疑问句的习得是基于构式原型和范例的。为检验以上假设,本研究采用语法判断、否定测试和语料库研究法考察了中国英语学习者LDD疑问句知识和使用情况。结果发现,中国英语学习者的LDD疑问句知识和运用部分符合BCI和LTH假设,二者具有互补性。 展开更多
关键词 ldd疑问句 信息结构假设 词汇原型假设
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超深亚微米LDD nMOSFET中的非幸运电子模型效应
5
作者 杨林安 于春利 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1390-1395,共6页
通过对采用0.18μmCMOS工艺制造的两组不同沟道长度和栅氧厚度的LDD器件电应力退化实验发现,短沟薄栅氧LDDnMOSFET(Lg=0.18μm,Tox=3.2nm)在沟道热载流子(CHC)应力下的器件寿命比在漏雪崩热载流子(DAHC)应力下的器件寿命要短,这与通常... 通过对采用0.18μmCMOS工艺制造的两组不同沟道长度和栅氧厚度的LDD器件电应力退化实验发现,短沟薄栅氧LDDnMOSFET(Lg=0.18μm,Tox=3.2nm)在沟道热载流子(CHC)应力下的器件寿命比在漏雪崩热载流子(DAHC)应力下的器件寿命要短,这与通常认为的DAHC应力(最大衬底电流应力)下器件退化最严重的理论不一致.因此,这种热载流子应力导致的器件退化机理不能用幸运电子模型(LEM)的框架理论来解释.认为这种“非幸运电子模型效应”是由于最大碰撞电离区附近具有高能量的沟道热电子,在Si SiO2界面产生界面陷阱(界面态)的区域,由Si SiO2界面的栅和漏的重叠区移至沟道与LDD区的交界处以及更趋于沟道界面的运动引起的. 展开更多
关键词 ldd NMOSFET 热载流子退化 沟道热载流子应力 漏雪崩热载流子应力 幸运电子模型
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A Novel Technique of Parameter Extraction for Short Channel Length LDD MOSFETs
6
作者 于春利 郝跃 杨林安 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1215-1220,共6页
A novel parameter extraction technique suitable f or short channel length lightly-doped-drain (LDD) MOSFET's is proposed which seg ments the total gate bias range,and executes the linear regression in every subs ... A novel parameter extraction technique suitable f or short channel length lightly-doped-drain (LDD) MOSFET's is proposed which seg ments the total gate bias range,and executes the linear regression in every subs ections,yielding the gate bias dependent parameters,such as effective channel le ngth,parasitic resistance,and mobility,etc.This method avoids the gate bias rang e optimization,and retains the accuracy and simplicity of linear regression.The extracted gate bias dependent parameters are implemented in the compact I-V model which has been proposed for deep submicron LDD MOSFET's.The good agreemen ts between simulations and measurements of the devices on 0.18μm CMOS technolo gy indicate the effectivity of this technique. 展开更多
关键词 ldd MOSFET parameter extraction parasitic se ries resistance MOBILITY
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A Novel Empirical Model of I-V Characteristics for LDD MOSFET Including Substrate Current
7
作者 于春利 郝跃 杨林安 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期778-783,共6页
A compact model for LDD MOSFET is proposed,which involves the hyperbolic tangent function description and the physics of device with emphasis on the substrate current modeling.The simulation results demonstrate good ... A compact model for LDD MOSFET is proposed,which involves the hyperbolic tangent function description and the physics of device with emphasis on the substrate current modeling.The simulation results demonstrate good agreement with measurement,and show that deep submicron LDD MOSFET has larger substrate current than submicron device does.The improved model costs low computation consumption,and is effective in manifestation of hot carrier effect and other effects in deep submicron devices,in turn is suitable for design and reliability analysis of scaling down devices. 展开更多
关键词 ldd MOSFET substrate current hot carrier effect deep submicron
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An Improved Description of Characteristics Length in Substrate Current Model for Submicron and Deep-Submicron LDD MOSFET's
8
作者 于春利 杨林安 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1084-1090,共7页
A novel substrate current model is proposed for submicron and deep-submicron li ghtly-doped-drain (LDD) n-MOSFET,with the emphasis on accurate description of the characteristics length by taking the effects of channe... A novel substrate current model is proposed for submicron and deep-submicron li ghtly-doped-drain (LDD) n-MOSFET,with the emphasis on accurate description of the characteristics length by taking the effects of channel length and bias int o account.This is due to that the characteristics lenth significantly affects th e maximum lateral electric field and the length of velocity saturation region,bo th of which are very important in modeling the drain current and the substrate c urrent.The comparison between simulations and experiments shows a good predictio n of the model for submicron and deep-submicron LDD MOSFET.Moreover,the analyti cal model is suitable for descgn of devices as it is low in computation consumpt ion. 展开更多
关键词 ldd MOSFET substra te current characteristics length maximum lateral electric field
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适于器件及电路分析的全耗尽短沟道LDD/LDS SOI MOSFET器件模型
9
作者 奚雪梅 王阳元 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第5期53-57,62,共6页
本文系统描述了全耗尽短沟道LDD/LDSSOIMOSFET器件模型的电流电压特性。该模型扩展了我们原有的薄膜全耗尽SOIMOSFET模型,文中着重分析了器件进入饱和区后出现的沟道长度调制效应,及由于LDD/LDS区的... 本文系统描述了全耗尽短沟道LDD/LDSSOIMOSFET器件模型的电流电压特性。该模型扩展了我们原有的薄膜全耗尽SOIMOSFET模型,文中着重分析了器件进入饱和区后出现的沟道长度调制效应,及由于LDD/LDS区的存在对本征MOS器件电流特性的影响。模型计算结果与实验曲线吻合较好。同时,本电流模型将本征MOSFET模型与LDD/LDS区分开,形式简洁,参数提取方便,便于移植入电路模拟程序中。 展开更多
关键词 ldd/LDS SOI-MOSFET 器件模型 半导体集成电路
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LDD MOS器件模拟及热载流子效应分析
10
作者 徐杰 张文俊 张锐 《电测与仪表》 北大核心 2008年第4期57-60,共4页
在深亚微米的工艺条件下,随着栅氧厚度、结深、沟道长度的减小,漏端最大电场强度增大,热载流子效应的影响变大,它对器件的寿命、可靠性等有很大影响。因此,要得到一个最佳的器件性能,通过对热载流子效应的分析,特别是通过对LDD MOS器件... 在深亚微米的工艺条件下,随着栅氧厚度、结深、沟道长度的减小,漏端最大电场强度增大,热载流子效应的影响变大,它对器件的寿命、可靠性等有很大影响。因此,要得到一个最佳的器件性能,通过对热载流子效应的分析,特别是通过对LDD MOS器件的模拟,分析了轻掺杂漏对热载流子效应的抑制作用,以及轻掺杂源漏的注入剂量和能量对器件的影响。通过分析我们可以看到:LDD结构通过两条途径来抑制热载流子效应:弱化漏端电场和使得漏端最大电场离开栅极。增大注入剂量对于提高电流驱动能力有好处,但在剂量达到约1×1013cm-2以后,驱动电流的增加就显得困难。最后我们得出n-区掺杂浓度1×1013cm-2附近,注入能量定为30keV时器件性能最佳。 展开更多
关键词 场效应管 热载流子效应 lddMOS
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0.8μm CMOS LDD器件可靠性实验和分析
11
作者 余山 章定康 黄敞 《电子科学学刊》 CSCD 1994年第4期402-406,共5页
针对实验中发现的亚微米LDD结构的特殊的衬底电流现象和退化现象,进行了二维器件数值模拟,解释了LDD器件退化的原因,最后提出了LDD器件的优化工艺条件。
关键词 模拟 可靠性 ldd结构 电子器件
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高速亚微米LDDE/D门的研究
12
作者 余山 章定康 黄敞 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1992年第2期47-48,F003,共3页
本文分析了基本上按1μm、2μm、3μm、4μm设计规则设计的轻掺杂漏(LDD)E/D门的门延迟,提出了设计与制造高速LDDE/D电路的基本思想。
关键词 ldd-E/D门 门延迟 电路 设计
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二维短沟道SOI—MOSFET/LDD结构的阈值电压
13
作者 周婷俐 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1989年第6期29-31,共3页
本文提出了一种直稳态二维短沟道SOI-MOS PET/LDD结构的数值模型,所选用的基本方程是泊松方程、载流子的电流连续性方程和电流密度方程。该模型从SOI器件的结构出发,着重考虑了阈值电压随沟道长度的变化关系,提出了采用轻掺杂漏、源(LDD... 本文提出了一种直稳态二维短沟道SOI-MOS PET/LDD结构的数值模型,所选用的基本方程是泊松方程、载流子的电流连续性方程和电流密度方程。该模型从SOI器件的结构出发,着重考虑了阈值电压随沟道长度的变化关系,提出了采用轻掺杂漏、源(LDD)结构,可以提高器件的性能。 展开更多
关键词 ldd结构 MOSFET 阈值电压 场效应管
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0.8μm LDD CMOS Reliability Experiments and Analysis
14
作者 Yu Shan, Zhang Dingkang and Huang Chang 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 1992年第4期11-13,2,共4页
In order to study the abnormal substrate current and reliability problem of LDDMOSFET observed in experiments, two dimensional numerical simulation for devices has been performed, and an optimum process for LDD is sug... In order to study the abnormal substrate current and reliability problem of LDDMOSFET observed in experiments, two dimensional numerical simulation for devices has been performed, and an optimum process for LDD is suggested. 展开更多
关键词 ldd m ldd CMOS Reliability Experiments and Analysis CMOS
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超深亚微米非对称Halo LDD低功耗新器件的研究分析 被引量:1
15
作者 田豫 黄如 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期510-515,共6页
提出了一种新的器件结构——非对称 Halo L DD低功耗器件 ,该器件可以很好地抑制短沟效应 ,尤其可以很好地改善 DIBL效应、热载流子效应以及降低功耗等 ,是低功耗高集成度电路的优选结构之一 .分析了非对称 HaloL DD器件的主要特性 ,并... 提出了一种新的器件结构——非对称 Halo L DD低功耗器件 ,该器件可以很好地抑制短沟效应 ,尤其可以很好地改善 DIBL效应、热载流子效应以及降低功耗等 ,是低功耗高集成度电路的优选结构之一 .分析了非对称 HaloL DD器件的主要特性 ,并将其与常规结构、非对称 L DD结构、非对称 Halo结构的器件进行了比较并进行了参数优化分析 . 展开更多
关键词 超深亚微米 非对称 Haloldd 低功耗 高集成度电路
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An Improved Method to Extract Generation of Interface Trap in Hot-Carrier-Stressed LDD n-MOSFET
16
作者 杨国勇 毛凌锋 +4 位作者 王金延 霍宗亮 王子欧 许铭真 谭长华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期803-808,共6页
A new improved technique,based on the direct current current voltage and charge pumping methods,is proposed for measurements of interface traps density in the channel and the drain region for LDD n MOSFET.This tech... A new improved technique,based on the direct current current voltage and charge pumping methods,is proposed for measurements of interface traps density in the channel and the drain region for LDD n MOSFET.This technique can be applied to virgin samples and those subjected to hot carrier stress,and the latter are known to cause the interface damage in the drain region and the channel region.The generation of interface traps density in the channel region and in the drain region can be clearly distinguished by using this technique. 展开更多
关键词 hot carrier stress ldd ultra thin gate oxide two step degradation
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轻掺杂漏LDD MOSFET的工艺及特性
17
作者 郑庆平 章倩苓 +1 位作者 阮刚 陈晓 《应用科学学报》 CAS CSCD 1991年第4期309-314,共6页
对LDD MOSFET的两种形成技术——侧向刻蚀和边墙技术进行了分析和比较,证明了边墙技术对控制轻掺杂区域长度具有更高的精确性;同时,利用边墙技术和全离子注入工艺,在硅栅NMOS工艺基础上,成功地制得了1μm沟道长度的LDD MOSFET.测试结果... 对LDD MOSFET的两种形成技术——侧向刻蚀和边墙技术进行了分析和比较,证明了边墙技术对控制轻掺杂区域长度具有更高的精确性;同时,利用边墙技术和全离子注入工艺,在硅栅NMOS工艺基础上,成功地制得了1μm沟道长度的LDD MOSFET.测试结果表明,LDD MOSFET击穿电压高于常规MOSFET 3V以上,同时阈值电压的短沟效应明显减小.这些优点意味着LDD MOSFET结构在VLSI中有着广泛的应用前景. 展开更多
关键词 MOSFET ldd 短沟道效应 边墙技术
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反应离子刻蚀用于实现VLSI的多晶侧壁LDD MOSFET工艺优化研究
18
作者 徐大林 王方 +2 位作者 李荫波 彭忠献 黄敞 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1990年第3期288-293,共6页
本文提出了采用多晶侧壁(PSSWS:Poly-Silicon Side-Wall Spacer)实现LDD MOSFET.研究了反应离子刻蚀(RIE)多晶硅的速率、各向异性性,对SiO_2、负胶的选择比,以及刻蚀的均匀性、过腐蚀度、负载效应等与刻蚀条件(包括气体、气体组分、流... 本文提出了采用多晶侧壁(PSSWS:Poly-Silicon Side-Wall Spacer)实现LDD MOSFET.研究了反应离子刻蚀(RIE)多晶硅的速率、各向异性性,对SiO_2、负胶的选择比,以及刻蚀的均匀性、过腐蚀度、负载效应等与刻蚀条件(包括气体、气体组分、流量、压力、射频功率、温度等)的关系.在此基础上,结合LDD MOSFET对侧壁宽度、可控性及重复性的要求,对反应离子刻蚀法实现PSSWS-LDD进行优化,获得了优化工艺条件. 展开更多
关键词 离子刻蚀 VLSI ldd MOSFET 工艺
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Halo LDDP-Si TFT工艺参数优化 被引量:1
19
作者 刘小红 顾晓峰 《电脑知识与技术》 2008年第10期211-212,233,共3页
该文提出了多晶硅薄膜晶体管的一种Halo LDD新结构,Halo LDD结构能够有效地抑制短沟道效应,合理的Halo区掺杂分布会极大地改善小尺寸器件性能。文中采用工艺模拟软件Tsuprem4和器件模拟软件Medici研究模拟了Halo结构的工艺参数对器件... 该文提出了多晶硅薄膜晶体管的一种Halo LDD新结构,Halo LDD结构能够有效地抑制短沟道效应,合理的Halo区掺杂分布会极大地改善小尺寸器件性能。文中采用工艺模拟软件Tsuprem4和器件模拟软件Medici研究模拟了Halo结构的工艺参数对器件性能的影响,并进行优化。分析表明,Halo注入角度、能量和剂量的增大会提高器件的阂值电压和开关比,降低泄漏电流和阀值漂移,有效的抑制热栽流子效应;但也会部分地降低驱动能力,因此,要综合考虑,根据具体的条件,得到Halo结构最佳的工艺参数。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜晶体管 HALO ldd 模拟
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Halo LDD结构多晶硅薄膜晶体管的模拟研究
20
作者 刘小红 顾晓峰 于宗光 《电子器件》 CAS 2008年第6期1783-1785,1789,共4页
提出了多晶硅薄膜晶体管的一种Halo LDD新结构,这种结构是在基于LDD结构的基础上,在沟道靠近源、漏端引入高掺杂的Halo区。并利用工艺和器件模拟软件对该Halo LDD P-Si TFT的电学特性进行了分析,并将其与常规结构、LDD结构和Halo结构进... 提出了多晶硅薄膜晶体管的一种Halo LDD新结构,这种结构是在基于LDD结构的基础上,在沟道靠近源、漏端引入高掺杂的Halo区。并利用工艺和器件模拟软件对该Halo LDD P-Si TFT的电学特性进行了分析,并将其与常规结构、LDD结构和Halo结构进行了比较。发现Halo LDD结构的P-Si TFT能有效地降低泄漏电流、抑制阈值电压漂移和Kink效应;减少因尺寸减小后所带来的一系列问题。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜晶体管 HALO ldd 模拟
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