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KrF光刻胶单体4-叔丁氧基苯乙烯合成研究 被引量：1
1
作者 卢畅吟 韦尚徐 +3 位作者 覃秀灵 覃洁容 吴忠联 姚志艺 《当代化工研究》 2025年第9期170-172,共3页
4-叔丁氧基苯乙烯(PTBS)是合成KrF光刻胶成膜树脂的重要单体之一。以4-溴苯酚和异丁烯为起始原料,经酸催化得1-溴-4-叔丁氧基苯,再制备其格氏试剂,与氯乙烯发生Kumada偶联反应得目标化合物4-叔丁氧基苯乙烯。考察了催化剂类型、添加量... 4-叔丁氧基苯乙烯(PTBS)是合成KrF光刻胶成膜树脂的重要单体之一。以4-溴苯酚和异丁烯为起始原料,经酸催化得1-溴-4-叔丁氧基苯,再制备其格氏试剂,与氯乙烯发生Kumada偶联反应得目标化合物4-叔丁氧基苯乙烯。考察了催化剂类型、添加量及反应温度等对产物收率的影响。结果显示,浓硫酸催化制备的中间体收率为96.5%;三溴化铁催化偶联反应得到的目标化合物收率达90.5%;产物纯度均大于99.5%。通过核磁共振测试,中间体及目标产物的分子结构得到了表征。 展开更多
关键词 4-叔丁氧基苯乙烯 1-溴-4-叔丁氧基苯 krf光刻胶 Kumada反应
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248 nm KrF激光辐照碳化硅陶瓷的实验研究
2
作者 张晓静 张丁凡 +2 位作者 范志伟 韩潇 陈涛 《应用激光》 北大核心 2025年第6期103-111,共9页
本文研究248 nm KrF激光的重复频率、能量密度和脉冲个数等参数在辐照碳化硅(SiC)陶瓷时对其表面形貌的影响。利用白光干涉仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱对辐照区域进行表征。结果表明:在一定脉冲个数下,激光能量密度增大... 本文研究248 nm KrF激光的重复频率、能量密度和脉冲个数等参数在辐照碳化硅(SiC)陶瓷时对其表面形貌的影响。利用白光干涉仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱对辐照区域进行表征。结果表明:在一定脉冲个数下,激光能量密度增大时,辐照区域边界清晰,无熔融堆积现象,辐照区域面积基本不变,但深度迅速增大。此外,在激光辐照SiC陶瓷的过程中,还检测到硅的等离子体。拉曼光谱显示,激光辐照后SiC陶瓷样品表面生成单晶硅。因此,248 nm KrF激光与SiC陶瓷的相互作用是Si-C共价键在光化学作用下断裂,然后硅原子重新组合形成单晶硅。最后,单晶硅在光热作用下发生相变,熔化流动从而形成硅团簇和褶皱。 展开更多
关键词 碳化硅陶瓷 krf激光 光化学作用 光热作用
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KrF激光脉冲整形研究 被引量：10
3
作者 王双义 吕志伟 +3 位作者 林殿阳 王超 高洪岩 董永康 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1669-1673,共5页
实验研究了脉冲堆积法对KrF激光的整形能力.利用受激布里渊散射(SBS)压缩脉冲获得了脉宽为3～5 ns的短脉冲,用4束激光堆积获得了脉宽为10～15 ns、平顶宽度为5～10 ns的整形脉冲.利用实测SBS脉冲数据,对脉冲堆积法进行了数值模拟,模拟... 实验研究了脉冲堆积法对KrF激光的整形能力.利用受激布里渊散射(SBS)压缩脉冲获得了脉宽为3～5 ns的短脉冲,用4束激光堆积获得了脉宽为10～15 ns、平顶宽度为5～10 ns的整形脉冲.利用实测SBS脉冲数据,对脉冲堆积法进行了数值模拟,模拟的脉冲宽度为12.7 ns,平顶宽度为7.7 ns,该结果与实验相符.对脉冲堆积法的任意整形能力进行了模拟,讨论了脉冲宽度变化对整形的影响,发现脉宽变化在5%以内时,对整形脉冲的影响较小.对整形脉冲的放大进行了定性研究,结果表明:平顶脉冲通过放大器后,前沿部分放大较多,由于饱和作用,后沿放大较少;如果前端整形脉冲前沿为斜坡状,放大后可以得到近平顶的脉冲. 展开更多
关键词 受激布里渊散射 脉冲整形 数值模拟 krf激光
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电子束泵浦KrF激光器进行超短脉冲的单束放大实验研究 被引量：3
4
作者 汤秀章 张海峰 +3 位作者 龚堃 马维义 单玉生 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期641-645,共5页
电子束泵浦KrF激光器口径大、泵浦率高 ,可直接用于进行超短脉冲激光的放大。用天光一号电子束泵浦KrF激光器进行超短脉冲激光放大 ,将超短脉冲激光放大到 2～ 3J、1.2 ps,激光功率达到 2TW。
关键词 实验研究 超短脉冲激光 电子束泵浦 krf激光 激光放大 准分子激光器
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248nm KrF准分子激光精密加工Al_2O_3的实验研究 被引量：3
5
作者 江超 王又青 +1 位作者 胡少六 李波 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期59-61,共3页
本文采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,对Al2 O3 陶瓷片的精密加工进行了研究 ,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响 。
关键词 krf准分子激光器 精密加工 工艺研究 氧化铝陶瓷
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高功率KrF准分子激光光束平滑技术实验研究 被引量：7
6
作者 向益淮 单玉生 +4 位作者 龚堃 汤秀章 高智星 戴辉 王乃彦 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2003年第2期101-105,共5页
均匀辐照是束靶相互作用实验的首要条件。采用无阶梯诱导空间非相干(EFISI)光束平滑技术对KrF准分子激光光束进行平滑实验研究,初步得到了带宽Δλ为4×10-10m、相干时间tc为0.5ps、不均匀性小于12%的光束空间分布。
关键词 krf准分子激光光束 平滑技术 实验研究 激光惯性约束聚变 无阶梯诱导空间非相干 均匀性 带宽 相干时间 平滑实验
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电子束泵浦KrF激光MOPA系统的同步控制 被引量：2
7
作者 王孝君 马维义 +2 位作者 汤秀章 单玉生 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期663-667,共5页
介绍研究出的ＭＯＰＡ系统完整的同步控制时间关联逻辑、各单元启动方式及同步系统的硬件。由Ｆｅ－Ｎｂ－Ｃｕ超微晶薄膜材料做成的同轴单匝磁开关及脉冲变压器产生大约１５０ｋＶ、上升时小于２００ｎｓ的高压，触发ＭＯＰＡ系统中的... 介绍研究出的ＭＯＰＡ系统完整的同步控制时间关联逻辑、各单元启动方式及同步系统的硬件。由Ｆｅ－Ｎｂ－Ｃｕ超微晶薄膜材料做成的同轴单匝磁开关及脉冲变压器产生大约１５０ｋＶ、上升时小于２００ｎｓ的高压，触发ＭＯＰＡ系统中的Ｍａｒｘ发生器。当火花隙欠压比为９０％时，Ｍａｒｘ发生器中电压建立的时间抖动分别小于１３ｎｓ和２３ｎｓ。采用激光触发主开关时，泵浦功率系统总体抖动时间小于１０ｎｓ，保证了整个电子束泵浦ＫｒＦ激光ＭＯＰＡ系统的正常运行。 展开更多
关键词 同步控制 krf激光 电子束泵浦 MOPA系统
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50mJ超短脉冲KrF激光系统的参数优化(英文) 被引量：1
8
作者 汤秀章 张海峰 +5 位作者 李静 陶业争 单玉生 王乃彦 皮特.西蒙 山多.斯扎特玛利 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期707-712,共6页
介绍了原子能院建立的钛宝石 /KrF混合型激光装置 ,主要输出参数的测量和性能优化。放电泵浦准分子激光器采用离轴放大结构 ,结合棱镜对进行GVD补偿 ,获得 5 0mJ,2 2 0fs的紫外超短脉冲。用4 0cm透镜聚焦 ,靶上功率密度达到 10 17W/cm2 。
关键词 参数优化 超短脉冲 离轴放大 krf激光器 准分子激光器
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KrF激光在SF_6气体中受激布里渊散射的研究 被引量：3
9
作者 汤秀章 姚刚 王孝君 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1995年第2期283-287,共5页
用线宽０．５ｃｍ￣（－１）、脉宽２３ｎｓ的ＫｒＦ激光（２４８ｎｍ）在低气压ＳＦ＿６气体中进行受激布里渊散射（ＳＢＳ）的实验研究。测量了ＳＢＳ反射率随泵浦光能量、气体气压、透镜焦距等实验条件的变化关系，分析和讨论了气体... 用线宽０．５ｃｍ￣（－１）、脉宽２３ｎｓ的ＫｒＦ激光（２４８ｎｍ）在低气压ＳＦ＿６气体中进行受激布里渊散射（ＳＢＳ）的实验研究。测量了ＳＢＳ反射率随泵浦光能量、气体气压、透镜焦距等实验条件的变化关系，分析和讨论了气体气压、透镜瑞利范围对ＳＢＳ阈值的影响。 展开更多
关键词 krf 激光 受激布里渊散射 SF6
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KrF激光对高速飞片的驱动特性研究 被引量：1
10
作者 李业军 王钊 +4 位作者 田宝贤 梁晶 韩茂兰 陆泽 汤秀章 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期104-109,共6页
利用诱导空间非相干技术平滑的KrF准分子(248nm)激光驱动带有烧蚀层的平面靶,研究激光空间均匀性对产生完整飞片的影响,结果表明激光不均匀性在2%以下,能够产生完整的高速飞片,且完整飞片能够维持20ns以上不破裂;当激光不均匀性达到5%,... 利用诱导空间非相干技术平滑的KrF准分子(248nm)激光驱动带有烧蚀层的平面靶,研究激光空间均匀性对产生完整飞片的影响,结果表明激光不均匀性在2%以下,能够产生完整的高速飞片,且完整飞片能够维持20ns以上不破裂;当激光不均匀性达到5%,激光引入流体力学不稳定性种子应很强,冲击波在靶内输运过程中不稳定性不断发展增强,到靶背时强到足以使飞片解体甚至气化,不能产生完整的飞片。为了获得尽可能高的飞片速度,采用激光与烧蚀层参数不匹配方法,使冲击波对飞片作多次加速。利用功率密度为1012 W/cm2的KrF激光与含50μm Kapton烧蚀层的5μm铝飞片作用,得到速度约10km/s的高速飞片,与模拟结果吻合得很好。 展开更多
关键词 krf准分子激光 高速飞片 冲击波平面性 速度干涉条纹 侧向阴影照相
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电子束激励KrF激光放大器稳定运行的重要技术问题 被引量：1
11
作者 马维义 马景龙 +2 位作者 胡凤明 单玉生 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期723-726,共4页
介绍了用于天光一号高功率氟化氪 (KrF)准分子激光系统中的电子束双向激励主放大器稳定运行中必须解决的一些重要技术问题 :水介质脉冲传输线中的绝缘支撑击穿问题 ;大面积电子束二极管阳极膜的安装 ;与压力膜接触处Hibachi筋的形状 ;... 介绍了用于天光一号高功率氟化氪 (KrF)准分子激光系统中的电子束双向激励主放大器稳定运行中必须解决的一些重要技术问题 :水介质脉冲传输线中的绝缘支撑击穿问题 ;大面积电子束二极管阳极膜的安装 ;与压力膜接触处Hibachi筋的形状 ;二极管后脉冲的形成及其对阳极膜和阴极发射体造成的损害等问题。 展开更多
关键词 大面积电子束激励 krf准分子激光放大器 脉冲传输线 二极管阳极膜 二极管后脉冲
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AlN薄膜的KrF准分子脉冲激光沉积 被引量：1
12
作者 丁艳芳 门传玲 +2 位作者 陈韬 朱自强 林成鲁 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1831-1833,1836,共4页
研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗... 研究了采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上AlN薄膜的制备及其性质。结果表明,衬底温度从室温到800℃的范围内,所得到的AlN薄膜为(002)择优取向的纤锌矿结构。随着衬底温度的升高,AlN薄膜从纳米晶结构转为多晶结构,同时表面微粗糙度上升。AlN晶粒呈柱状生长机制。 展开更多
关键词 A1N薄膜 krf准分子脉冲激光沉积 微结构
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用于光刻的KrF准分子激光器 被引量：2
13
作者 谷怀民 赵震声 +3 位作者 贺龙海 张兆平 刘雁群 奚居雄 《应用激光》 CSCD 北大核心 1995年第1期22-25,共4页
我们研制了一台用于光刻的ＫｒＦ准分子激光器（２４８ｎｍ），单脉冲能量２００ｍＪ平均功率５～９Ｗ，能量不稳定度＜土５％，脉宽３５ｎｓ，线宽０．５２ｎｍ，重复频率０．５～１００Ｈｚ，单次充气寿命＞５×１０５次脉冲数，... 我们研制了一台用于光刻的ＫｒＦ准分子激光器（２４８ｎｍ），单脉冲能量２００ｍＪ平均功率５～９Ｗ，能量不稳定度＜土５％，脉宽３５ｎｓ，线宽０．５２ｎｍ，重复频率０．５～１００Ｈｚ，单次充气寿命＞５×１０５次脉冲数，储气寿命约一个月，近场光斑尺寸８ｍｍ×２０ｍｍ，性能指标和光束的均匀性满足了光刻的要求。 展开更多
关键词 krf 激光器 准分子激光器 光刻 工艺
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宽带KrF激光泵浦SBS的研究
14
作者 王晓慧 吕志伟 +5 位作者 林殿阳 王超 赵晓彦 汤秀章 张海峰 单玉生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期717-719,共3页
理论和实验研究了宽带 (15GHz)KrF激光泵浦的受激布里渊散射 (SBS)在SF6介质中的转换效率和脉宽压缩比的规律。介质在 1.6MPa、透镜焦距为 15cm和 30cm时 ,测得SBS最大反射率分别为 4 0 %和4 5 % ,当泵浦能量大于 6 0mJ时SBS反射率开始... 理论和实验研究了宽带 (15GHz)KrF激光泵浦的受激布里渊散射 (SBS)在SF6介质中的转换效率和脉宽压缩比的规律。介质在 1.6MPa、透镜焦距为 15cm和 30cm时 ,测得SBS最大反射率分别为 4 0 %和4 5 % ,当泵浦能量大于 6 0mJ时SBS反射率开始趋于平坦 ;介质在 0 .85MPa、透镜焦距在 30cm时 ,SBS脉宽压缩比随泵浦能量的上升而下降 ,最大压缩比为 5。建立了宽带多模KrF激光泵浦的SBS理论模型 ,假设宽带KrF激光光谱谱线由若干窄带谱线组成 ,这些窄带谱线之间在产生SBS过程中有一定程度的耦合。给出了理论模型结果 。 展开更多
关键词 激光泵浦 SBS krf激光 受激布里渊散射 反向率 脉宽压缩
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KrF准分子激光器中的ASE效应 被引量：1
15
作者 杜燕贻 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1995年第2期288-294,共7页
论述了具有小纵横比（长／宽）介质的ＫｒＦ准分子激光放大器和振荡器中放大的自发辐射（ＡＳＥ）。导出了以激光负载为主的含放大的自发辐射的普适计算公式。编制了仅含纵向ＡＳＥ流变化的计算程序。分析并给出了在适度饱和增益下放大... 论述了具有小纵横比（长／宽）介质的ＫｒＦ准分子激光放大器和振荡器中放大的自发辐射（ＡＳＥ）。导出了以激光负载为主的含放大的自发辐射的普适计算公式。编制了仅含纵向ＡＳＥ流变化的计算程序。分析并给出了在适度饱和增益下放大器的功率增益与抽运效率的最佳关系曲线以及相应的各参量选择值。可为ＫｒＦ激光放大器的设计及改善其光束质量提供理论参考。 展开更多
关键词 krf 准分子激光器 ASE效应
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KrF准分子激光激发掺锗光纤折射率扰动的非线性过程
16
作者 江毅 陈伟民 +1 位作者 邹建 黄尚廉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期46-50,共5页
本文采用了一种简单的功率监测法，观察了ＫｒＦ准分子激光对掺锗光纤折射率影响的非线性过程．观察到子纤芯折射率扰动过程中非稳定现象、饱和现象和折射率扰动的非线性．
关键词 krf激光 掺锗 光纤 折射率扰动
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用于ps脉冲放大的大口径放电泵浦KrF激光器
17
作者 袁孝 刘晶儒 +1 位作者 吕百达 Julius Goldhar 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期361-364,共4页
以简单的火花间隙作为放电开关 ,建立了一种用于 ps脉冲激光放大的大口径放电泵浦 Kr F准分子激光器。该激光器的有效增益口径截面为 4 cm× 3cm,在自由运转情况下最大激光输出能量为 1.3J,脉宽2 0 ns。用作 ps放大器时 ,利用光学... 以简单的火花间隙作为放电开关 ,建立了一种用于 ps脉冲激光放大的大口径放电泵浦 Kr F准分子激光器。该激光器的有效增益口径截面为 4 cm× 3cm,在自由运转情况下最大激光输出能量为 1.3J,脉宽2 0 ns。用作 ps放大器时 ,利用光学偏振放大方式获得了激光能量 14 0 m J,脉冲宽度 10 ps的激光输出。利用 Xe 展开更多
关键词 ps脉冲放大 krf激光器 放电泵浦 ps激光放大器 设计 氟化氢 准分子激光器
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电子束泵浦KrF激光放大器增益与吸收的测量
18
作者 汤秀章 唐志宏 王乃彦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1994年第4期491-495,共5页
为研制百焦耳级ＫｒＦ激光放大器，发展ＭＯＰＡ系统，我们用自探测法在百焦耳级电子束泵浦ＫｒＦ激光装置上进行了激光放大器的增益与吸收的测量。泵浦率约为０．６７ＭＷ／ｃｍ￣２，激光介质为８９．６％Ａｒ：１０％Ｋｒ：０．４％... 为研制百焦耳级ＫｒＦ激光放大器，发展ＭＯＰＡ系统，我们用自探测法在百焦耳级电子束泵浦ＫｒＦ激光装置上进行了激光放大器的增益与吸收的测量。泵浦率约为０．６７ＭＷ／ｃｍ￣２，激光介质为８９．６％Ａｒ：１０％Ｋｒ：０．４％Ｆ＿２的混合气体，总气压０．２５ＭＰａ，实验测得激光放大器的小信号增益系数ｇ＿０＝６．６％ｃｍ￣（－１）、非饱和吸收系数α＿ｎ＝０．９３％ｃｍ￣（－１）、饱和光强Ｉ＿ｓ＝２．５ＭＷ／ｃｍ￣２。 展开更多
关键词 krf激光放大器 增益 吸收 电子束泵浦 氟化氪
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KrF准分子激光诱导光纤光栅生长特性的研究
19
作者 陈根祥 简水生 +4 位作者 葛璜 杨玲 李洵 安贵仁 王圩 《铁道学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期8-12,共5页
光纤光栅是未来高速、超高速光纤通信系统中不可缺少的关键器件。本文报道了以２４８ｎｍ的ＫｒＦ准分子激光为光源，用相位掩模技术在Ｂ／Ｇｅ双掺光纤上研制出反射率９８．８％，反射谱３ｄＢ带宽０．４ｎｍ，反射谱边瓣抑制达２０ｄ... 光纤光栅是未来高速、超高速光纤通信系统中不可缺少的关键器件。本文报道了以２４８ｎｍ的ＫｒＦ准分子激光为光源，用相位掩模技术在Ｂ／Ｇｅ双掺光纤上研制出反射率９８．８％，反射谱３ｄＢ带宽０．４ｎｍ，反射谱边瓣抑制达２０ｄＢ以下，具有优良滤波特性光纤光栅的实验研究结果。在此基础上。 展开更多
关键词 光纤光栅 光纤通信 krf准分子激光 生长特性
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KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的实验研究
20
作者 范永昌 戴尔.,PE 《激光技术》 CAS CSCD 1995年第5期283-285,共3页
本文采用光谱学和离子探针等检测手段，对ＫｒＦ准分子激光烧蚀氧化镁单晶的物理过程进行了实验研究。结果表明，激光烧蚀等离子体内的主要粒子形态是镁原子和一价的镁离子，其粒子的动能在３０～４５ｅＶ范围。从烧蚀部位的扫描电镜形... 本文采用光谱学和离子探针等检测手段，对ＫｒＦ准分子激光烧蚀氧化镁单晶的物理过程进行了实验研究。结果表明，激光烧蚀等离子体内的主要粒子形态是镁原子和一价的镁离子，其粒子的动能在３０～４５ｅＶ范围。从烧蚀部位的扫描电镜形貌分析表明，在激光能量密度近于烧蚀阈值时，激光辐照的氧化镁单晶表面呈现出一定程度的层离特征。 展开更多
关键词 激光烧蚀 氧化镁单晶 光谱测量 krf准分子激光
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