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Layout Planning Technology of Cellular Manufacturing System Based on Process Interconnection Analysis 被引量:2
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作者 CHEN Huawei WANG Aimin +1 位作者 NING Ruxin SHAO Canxia 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第6期1035-1044,共10页
With sustaining change of production mode,layout planning is no longer a thing built once for all.Cellular layout(CL) is becoming a hotspot in the research field of manufacturing system layout.Traditional researches o... With sustaining change of production mode,layout planning is no longer a thing built once for all.Cellular layout(CL) is becoming a hotspot in the research field of manufacturing system layout.Traditional researches on layout planning are mainly concentrating on aspects of layout arithmetic,style and evaluation,etc.Relatively seldom efforts are paid to CL and its specific problems as cell formation(CF),equipment sharing and CL analysis.Through problem analyzing of layout in cellular manufacturing system(CMS),research approach of cell formation,interactive layout and layout analysis threaded with process interconnection relationship(PIR) is proposed.Typical key technologies in CL like CF technology based on similarity analysis of part processes,interactive visual layout technology,layout evaluation technology founded on PIR analysis and algorithm of cell equipment sharing are put forward.Against the background of one enterprise which encounters problems of low utility of key equipments and disperse material logistic,an example of four-cell layout is given.The CL adjustment and analysis results show that equipment with high level of sharing degree should be disposed around the boundary of its main cell,and be near to other sharing cells as possible; process route should be centralized by all means,so equipment adjustment is to be implemented along direction that route intersection can be decreased; giving consideration to the existence of discrete cell,logistic route and its density should be centralized to cells formed.The proposed research can help improve equipment utility and material logistic efficiency of CL,and can be popularized to other application availably. 展开更多
关键词 cellular manufacturing system layout planning process interconnection relationship cell formation equipment sharing interactive layout
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A statistical RCL interconnect delay model taking account of process variations
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作者 朱樟明 万达经 +1 位作者 杨银堂 恩云飞 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第1期659-666,共8页
As the feature size of the CMOS integrated circuit continues to shrink, process variations have become a key factor affecting the interconnect performance. Based on the equivalent Elmore model and the use of the polyn... As the feature size of the CMOS integrated circuit continues to shrink, process variations have become a key factor affecting the interconnect performance. Based on the equivalent Elmore model and the use of the polynomial chaos theory and the Galerkin method, we propose a linear statistical RCL interconnect delay model, taking into account process variations by successive application of the linear approximation method. Based on a variety of nano-CMOS process parameters, HSPICE simulation results show that the maximum error of the proposed model is less than 3.5%. The proposed model is simple, of high precision, and can be used in the analysis and design of nanometer integrated circuit interconnect systems. 展开更多
关键词 process variation interconnect line statistical delay successive linear approximation
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Statistical Elmore delay of RC interconnect tree
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作者 董刚 杨杨 +1 位作者 柴常春 杨银堂 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第11期35-40,共6页
As feature size keeps scaling down, process variations can dramatically reduce the accuracy in the estimation of interconnect performance. This paper proposes a statistical Elmore delay model for RC interconnect tree ... As feature size keeps scaling down, process variations can dramatically reduce the accuracy in the estimation of interconnect performance. This paper proposes a statistical Elmore delay model for RC interconnect tree in the presence of process variations. The suggested method translates the process variations into parasitic parameter extraction and statistical Elmore delay evaluation. Analytical expressions of mean and standard deviation of interconnect delay can be obtained in a given t^uctuation range of interconnect geometric parameters. Experimental results demonstrate that the approach matches well with Monte Carlo simulations. The errors of proposed mean and standard deviation are less than 1% and 7%, respectively. Simulations prove that our model is efficient and accurate. 展开更多
关键词 statistical delay parasitic extraction RC interconnect process variations
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Review of the Global Trend of Interconnect Reliability for Integrated Circuit
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作者 Qian Lin Haifeng Wu Guoqing Jia 《Circuits and Systems》 2018年第2期9-21,共13页
Interconnect reliability has been regarded as a discipline that must be seriously taken into account from the early design phase of integrated circuit (IC). In order to study the status and trend of the interconnect r... Interconnect reliability has been regarded as a discipline that must be seriously taken into account from the early design phase of integrated circuit (IC). In order to study the status and trend of the interconnect reliability, a comprehensive review of the published literatures is carried out. This can depict the global trend of ICs’ interconnect reliability and help the new entrants to understand the present situation of this area. 展开更多
关键词 Integrated CIRCUIT interconnect Reliability interconnect Modeling interconnect process
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An interconnecting bus power optimization method combining interconnect wire spacing with wire ordering
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作者 朱樟明 郝报田 +2 位作者 恩云飞 杨银堂 李跃进 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第6期509-516,共8页
On-chip interconnect buses consume tens of percents of dynamic power in a nanometer scale integrated circuit and they will consume more power with the rapid scaling down of technology size and continuously rising cloc... On-chip interconnect buses consume tens of percents of dynamic power in a nanometer scale integrated circuit and they will consume more power with the rapid scaling down of technology size and continuously rising clock frequency, therefore it is meaningful to lower the interconnecting bus power in design. In this paper, a simple yet accurate interconnect parasitic capacitance model is presented first and then, based on this model, a novel interconnecting bus optimization method is proposed. Wire spacing is a process for spacing wires for minimum dynamic power, while wire ordering is a process that searches for wire orders that maximally enhance it. The method, i.e., combining wire spacing with wire ordering, focuses on bus dynamic power optimization with a consideration of bus performance requirements. The optimization method is verified based on various nanometer technology parameters, showing that with 50% slack of routing space, 25.71% and 32.65% of power can be saved on average by the proposed optimization method for a global bus and an intermediate bus, respectively, under a 65-nm technology node, compared with 21.78% and 27.68% of power saved on average by uniform spacing technology. The proposed method is especially suitable for computer-aided design of nanometer scale on-chip buses. 展开更多
关键词 interconnect bus dynamic power wire ordering wire spacing nanometer scale process
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基于光电混合互联的雷达信号处理系统设计
6
作者 张开生 朱红育 +1 位作者 雷刚 岳三创 《火控雷达技术》 2025年第3期49-53,共5页
随着雷达技术的不断发展,对信号处理速度和数据传输带宽的要求日益提高。本文提出一种基于光电混合互联的雷达信号处理系统设计方案,详细介绍了相关技术原理、系统设计及系统组织形式,并对该设计进行了总结与展望。
关键词 光电混合互联 波分复用 SRIO 信号处理
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超高速短距离光互连信号均衡及编码技术
7
作者 秦昊 杨川川 +3 位作者 蓝天祥 秦忻 赵玉萍 陈章渊 《电信科学》 北大核心 2025年第4期20-31,2,共13页
在人工智能(artificial intelligence,AI)大模型蓬勃发展的背景下,数据中心光模块速率需求持续攀升。为满足超高速短距离光互连高速率、低能耗、低时延、高集成度的要求,介绍了光模块产业发展趋势,并着重探讨相关均衡和编码技术。在均... 在人工智能(artificial intelligence,AI)大模型蓬勃发展的背景下,数据中心光模块速率需求持续攀升。为满足超高速短距离光互连高速率、低能耗、低时延、高集成度的要求,介绍了光模块产业发展趋势,并着重探讨相关均衡和编码技术。在均衡技术方面,介绍了基于最小角回归策略的低复杂度沃特均衡方法LaNLE和基于隐藏特征提取(hidden feature extraction,HFE)的深度神经网络均衡方法。LaNLE在120 Gbit/s PAM-8信号100 m传输下,相同误码率时,复杂度相比传统方法降低了70.1%;HFE可提升神经网络训练效率,实现了288 Gbit/s PAM-8信号传输。在编码技术方面,介绍了光互连系统中QC-LDPC码优化方法和基于深度学习的LDPC联合均衡译码方法,经实验验证,所提方法能有效优化误码率,提升系统性能。同时,对未来研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 光互连 信号处理 均衡 编码
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纳米银浆烧结特性及其互连接头性能研究
8
作者 陈煜豪 陈宜 +4 位作者 付大伟 张永银 王刚 林铁松 黄永德 《热加工工艺》 北大核心 2025年第16期165-170,共6页
以GaN和SiC为代表的第三代材料在功率器件领域的应用上备受关注,因此对高温环境下互连材料的性能有了更高要求。通过对高导热的纳米银浆进行烧结从而对铜基板和框架进行组装,制备出纳米银烧结互连芯片基板试样,获得具有高强度的互连接... 以GaN和SiC为代表的第三代材料在功率器件领域的应用上备受关注,因此对高温环境下互连材料的性能有了更高要求。通过对高导热的纳米银浆进行烧结从而对铜基板和框架进行组装,制备出纳米银烧结互连芯片基板试样,获得具有高强度的互连接头。通过多种设备对此种连接材料的导电性和导热性等关键性能进行了测试,同时研究了不同烧结温度、烧结时间等因素对烧结银接头剪切强度的影响。结果表明:确定的烧结最佳温度为250~300℃;该材料能满足高功率电子器件高温服役所需。 展开更多
关键词 纳米银浆 互连接头 烧结工艺 烧结特性 剪切强度
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空铁互联互通关键技术研究
9
作者 杨波 《铁道工程学报》 北大核心 2025年第6期76-81,共6页
研究目的:随着铁路和航空的快速发展,两种交通方式逐渐融合,空铁互联互通已成为当下交通发展的重要趋势,本文在对空铁联运发展历程和互联互通影响因素分析的基础上,对空铁互联互通发展进程、模式、车站平面布置、竖向布局、下穿滑行道... 研究目的:随着铁路和航空的快速发展,两种交通方式逐渐融合,空铁互联互通已成为当下交通发展的重要趋势,本文在对空铁联运发展历程和互联互通影响因素分析的基础上,对空铁互联互通发展进程、模式、车站平面布置、竖向布局、下穿滑行道等关键区域工程处理措施、铁路下穿引起振动和二次结构噪声问题、列车通过地下站空气动力效应等关键问题进行研究。研究结论:(1)空铁互联互通发展进程经历1.0~4.0四个阶段;(2)空铁联运互联互通模式主要有紧邻机场设站、正线引入设机场站和联络线引入设机场站等模式,各模式特点和适用条件不一;(3)铁路引入机场设站规模一般以2台4线为主,可比较2台夹4线站型和双岛加4线两种站型结合站型特点及实际情况选用;(4)竖向布局有平层、错层和叠层3种不同模式,各模式特点和适用条件不一;(5)空铁互联互通需考虑下穿滑行道等关键区域工程处理措施、铁路下穿引起振动和二次结构噪声以及列车通过地下站空气动力效应等问题,对具体设施设计会产生重大影响;(6)本研究成果可为类似空铁互联互通相关设计提供借鉴和参考。 展开更多
关键词 空铁互联互通 关键技术 发展进程 影响因素 发展模式
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面向PCB应用的超薄铜箔电镀制备研究进展 被引量:1
10
作者 高子泓 刘志权 李财富 《电子与封装》 2025年第5期43-54,共12页
电镀铜箔是PCB的核心材料之一,受到广泛关注。随着现代电子产品朝着多功能化、轻、小、薄方向发展,传统PCB制造技术在精细互连线路加工上已难以满足新的技术标准。采用以超薄铜箔(<5μm)为核心材料的改良型半加成法,可以制备线宽/线... 电镀铜箔是PCB的核心材料之一,受到广泛关注。随着现代电子产品朝着多功能化、轻、小、薄方向发展,传统PCB制造技术在精细互连线路加工上已难以满足新的技术标准。采用以超薄铜箔(<5μm)为核心材料的改良型半加成法,可以制备线宽/线距更小更窄(≤30μm/30μm)的互连电路。如何制备厚度在5μm以下的高性能超薄铜箔是目前电子制造行业亟待解决的问题。总结了超薄铜箔在PCB中的应用方法,讨论了工艺参数、阴极基材和镀液组成等对铜箔电沉积行为、微观结构和性能的影响。综述了现有电镀法在调控超薄铜箔微观结构和性能方面的策略,并对电镀法制备超薄铜箔的未来发展趋势与研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 铜互连 电镀工艺 超薄铜箔 微观结构
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导电膏压接互连印制板加工研究
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作者 翟新龙 姚宇国 +1 位作者 黄建波 李明 《印制电路信息》 2025年第5期34-39,共6页
随着通信技术的迭代更新,印制电路板(PCB)不断向高频、高速、高密度及互连方向发展,目前业界对可承载更多电气集成以及具备信号传输功能的超高层盲埋孔互连印制板制造技术的研究日趋活跃。为研究新结构的导电膏压接互连印制板制造技术... 随着通信技术的迭代更新,印制电路板(PCB)不断向高频、高速、高密度及互连方向发展,目前业界对可承载更多电气集成以及具备信号传输功能的超高层盲埋孔互连印制板制造技术的研究日趋活跃。为研究新结构的导电膏压接互连印制板制造技术及其可靠性,寻找导电膏最佳电性能及物理性能,避免导电膏预固化对半固化片产生影响,对导电膏不同预固化条件下的电阻和粘结性能开展试验研究,结果显示,最佳导电膏预固化温度为70℃、时间为10 min。通过温度冲击试验和回流焊试验,测试导电膏压接互连印制板的可靠性,结果表明,导电膏压接互连技术的可靠性和电气性能均达到要求,可替代传统铜互连结构,并作为超多层印制电路板的互连技术解决方案[1]。 展开更多
关键词 导电膏 层间互连 加工参数 可靠性验证
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光电设备电气互联工艺可视化软件应用
12
作者 钱嘉伟 宋秋迪 《信息与电脑》 2025年第5期110-114,共5页
随着市场对生产制造的柔性及产品质量要求的提高,生产操作人员需要在短时间内了解设备的电气互联流程及各线束在系统的分布情况。文章通过分析光电设备电气互联工艺的问题及原因,提出光电设备电气互联工艺可视化设计思路,并应用Visual S... 随着市场对生产制造的柔性及产品质量要求的提高,生产操作人员需要在短时间内了解设备的电气互联流程及各线束在系统的分布情况。文章通过分析光电设备电气互联工艺的问题及原因,提出光电设备电气互联工艺可视化设计思路,并应用Visual Studio 2015 C++作为编程工具、My SQL作为数据库,结合Qt图形用户界面应用程序,实现对光电设备电气互联工艺的可视化设计,从而提高生产操作人员的工作效率以及产品质量。 展开更多
关键词 光电设备 电气互联 工艺可视化
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1~40 GHz硅基射频微系统无源互连结构PDK设计与验证
13
作者 殷子洲 刘德喜 +3 位作者 薛廷 史磊 刘亚威 景翠 《遥测遥控》 2025年第3期119-126,共8页
随着5G通信和毫米波技术的快速发展,射频微系统对高频无源互连结构的性能需求日益提升。针对传统设计流程中工艺数据分散、模型孤立导致的效率瓶颈,本文提出了一种1~40 GHz硅基无源互连结构工艺设计包(PDK)的自主开发方案。基于等效电... 随着5G通信和毫米波技术的快速发展,射频微系统对高频无源互连结构的性能需求日益提升。针对传统设计流程中工艺数据分散、模型孤立导致的效率瓶颈,本文提出了一种1~40 GHz硅基无源互连结构工艺设计包(PDK)的自主开发方案。基于等效电路模型与HFSS全波仿真数据融合校准方法,构建了接地共面波导(GCPW)、微凸点等核心结构的参数化模型,并通过梯度优化算法实现模型的高精度匹配。在Keysight ADS平台上完成了PDK开发,包含符号库、参数化单元、设计规则及验证流程。实验结果表明:所开发的PDK在1~40 GHz频段内S参数均方根误差低于10%。基于此PDK,完成了X频段射频微系统仿真设计,微系统满足指标要求,验证了PDK的有效性。该PDK为高频射频系统的高效设计与工艺协同提供了可靠支撑。 展开更多
关键词 硅基无源互连结构 工艺设计包(PDK) 等效电路模型 射频微系统
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Cantilever beam-based piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with post processing soft interconnecting strategy for in-air rangefinding
14
作者 Yan Wang Peng Chen +2 位作者 Junning Zhang Zihan Li Hongbin Yu 《Microsystems & Nanoengineering》 2025年第3期181-194,共14页
Despite of good performance immunity to stress and high transmitting/receiving sensitivity advantages,the fabrication imperfection induced asynchronous vibration and the resultant prolonged ring-down tail severely lim... Despite of good performance immunity to stress and high transmitting/receiving sensitivity advantages,the fabrication imperfection induced asynchronous vibration and the resultant prolonged ring-down tail severely limit the potential of the cantilever beam-based piezoelectric micromachined ultrasonic transducer(PMUT)in pulse-echo applications as transceiver.To address this issue,a novel post processing soft interconnecting strategy is presented.In this case,specific reservoir structure is intentionally integrated into the cantilever-beam based PMUT design,under the assistance of which the liquid PDMS can be accurately applied and spontaneously driven to seal the air gaps between the already released cantilever beams via the capillary effect.After curing,the PDMS will be transformed from liquid to solid and serve as soft interconnecting spring between adjacent cantilever beams so as to force them to vibrate in synchronous mode.At the same time,this treatment does not change the existing fabrication process and has little effect on the original PMUT performance.From both of the mechanical and acoustic response measurement results,effective suppression for the asynchronous vibration and significant reduction of the ring-down tail have been successfully demonstrated for the treated PMUT device.In the subsequent pulse-echo rangefinding experiment,a distance detection range covering from 270.8 mm to 3.8 m with a divergence angle close to 170°has been achieved when it is driven at resonant frequency of 69.2 kHz with 40 Vpp,40-cycles sinusoidal signal.Given the simple yet effective treatment,the proposed strategy shows great prospective in developing high performance PMUT for in-air rangefinding applications. 展开更多
关键词 post processing ring down tail reservoir structure intentionally integr cantilever beam post processing soft interconnecting strategy soft interconnecting air rangefinding piezoelectric micromachined ultrasonic transducer
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钢结构管状互联节点制造技术
15
作者 胡海国 《施工技术(中英文)》 2025年第18期136-143,158,共9页
结合树根互联全国总部大厦项目,对管状互联节点柱结构进行了分析,详细介绍了展示级管状互联节点结构特征和加工制作变形的控制难点,并经过工厂的生产实践,总结出一种技术实践性较强、精度控制高的加工制作变形控制新工艺,确保了项目节... 结合树根互联全国总部大厦项目,对管状互联节点柱结构进行了分析,详细介绍了展示级管状互联节点结构特征和加工制作变形的控制难点,并经过工厂的生产实践,总结出一种技术实践性较强、精度控制高的加工制作变形控制新工艺,确保了项目节点顺利实施。 展开更多
关键词 钢结构 管状互联节点 铸钢模具 设计 加工 变形 热压成型
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智能制造驱动下自动化生产工艺关键问题探讨
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作者 王亚平 夏和 《今日自动化》 2025年第11期78-80,共3页
智能制造以自感知、自学习、自决策、自执行为核心特征,正重塑自动化生产工艺的技术架构与运行模式。然而,设备互联壁垒、数据价值流失、柔性生产不足及安全隐患等问题制约其深度应用。文章剖析了异构设备兼容性差、通信协议碎片化、数... 智能制造以自感知、自学习、自决策、自执行为核心特征,正重塑自动化生产工艺的技术架构与运行模式。然而,设备互联壁垒、数据价值流失、柔性生产不足及安全隐患等问题制约其深度应用。文章剖析了异构设备兼容性差、通信协议碎片化、数据采集分析低效等关键矛盾,提出从标准统一、技术升级、系统协同等多维度突破的解决方案。实践表明,通过构建柔性生产线、优化智能调度算法及强化安全防护体系,可使生产效率提升,不良品率降低,为制造业智能化转型提供理论支撑与实践路径。 展开更多
关键词 智能制造 自动化生产工艺 设备互联 数据驱动 柔性生产
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面向高分辨率导电互连结构制备的熔融合金电流体喷印工艺
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作者 汪方杰 潘艳桥 +2 位作者 付爽 杨翊 张峰 《微纳电子技术》 2025年第9期133-140,共8页
多层/立体电路是高性能微电子器件、可穿戴电子设备等的核心基础单元,如何高效稳定制备高分辨率导电互连结构是制备的关键。传统的硅通孔互连、引线键合技术难以简单快速、低成本制备高分辨率的柔性多层导电互连结构。为满足该类电子器... 多层/立体电路是高性能微电子器件、可穿戴电子设备等的核心基础单元,如何高效稳定制备高分辨率导电互连结构是制备的关键。传统的硅通孔互连、引线键合技术难以简单快速、低成本制备高分辨率的柔性多层导电互连结构。为满足该类电子器件导电互连、小尺寸、快速制备的需求,提出了熔融合金电流体喷印工艺打印制备高分辨率导线和导电互连结构的方法。阐述了该工艺方法的基本原理和工艺验证过程,自主设计了一种新型喷头装置进行实验,研究了脉冲峰值电压、打印速度对导线线宽的影响,同时探究立体互连结构实际高度与设定高度的关系。在脉冲峰值电压为2.4 kV、喷嘴内径为200μm、打印速度为4.5 mm/s的条件下,导电互连结构成型质量最佳,导线平均线宽为63μm,立柱互连结构平均直径为139μm。最后使用优化后的工艺参数成功地在柔性聚二甲基硅氧烷(PDMS)基板上制备了具有双层互连结构的心率监测电路,为快速制备多层互连柔性可穿戴电子设备提供了基于熔融合金电流体喷印技术的制备策略。 展开更多
关键词 导电互连结构 熔融合金电流体喷印 高分辨率 电子电路 工艺优化
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互联网医院与实体医院信息交互及业务流程管理研究 被引量:18
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作者 吴琴琴 周莉 +8 位作者 廖邦华 王雪彦 苏娜 岳荣铮 卢家桀 柳园 刘苓 刘沙鑫 武永康 《中国医院》 2020年第3期16-18,共3页
互联网医院是今后医院发展的重要方向,但其并非一个可以独立运行的个体,而必须依托于实体医院,两者优势互补,资源共享。但两者必须实现信息交互及业务往来,才能更好地优化资源,实现优质医疗服务的交叉融合。互联网医院与实体医院信息及... 互联网医院是今后医院发展的重要方向,但其并非一个可以独立运行的个体,而必须依托于实体医院,两者优势互补,资源共享。但两者必须实现信息交互及业务往来,才能更好地优化资源,实现优质医疗服务的交叉融合。互联网医院与实体医院信息及业务的互联互通,由于互联网医院突破了地域和时间限制,业务也将不仅以疾病治疗为主,而是从关注疾病本身到关注人健康本身的转变,从一体化到人性化服务的转变,从关注病案到关注患者就医体验的转变,更好地提高医院服务质量,提高患者就诊效率及就医满意度。 展开更多
关键词 互联网医院 互联互通 流程管理
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一种基于流处理框架的可重构分簇式分组密码处理结构模型 被引量:17
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作者 陈韬 罗兴国 +1 位作者 李校南 李伟 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期3027-3034,共8页
可重构密码处理结构是一种面向信息安全处理的新型体系结构,但具有吞吐量和利用率不足的问题。该文提出一种基于流处理框架的阵列结构可重构分组密码处理模型(Stream based Reconfigurable Clustered block Cipher Processing Array,... 可重构密码处理结构是一种面向信息安全处理的新型体系结构,但具有吞吐量和利用率不足的问题。该文提出一种基于流处理框架的阵列结构可重构分组密码处理模型(Stream based Reconfigurable Clustered block Cipher Processing Array,S—RCCPA)。针对分组密码算法特点,采用粗粒度可重构功能单元、基于Crossbar的分级互连网络、分布式密钥池存储结构以及静态与动态相结合的重构方式,支持密码处理路径的动态重组,以不同并行度的虚拟流水线执行密码任务。对典型分组密码算法的适配结果表明,在0.18μmCMOS工艺下,依据所适配算法结构的不同,规模为4×l的S-RCCPA模型的典型分组密码处理性能可达其它架构的5.28-47.84倍。 展开更多
关键词 分组密码 可重构:阵列结构 分级互连 流处理
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化学机械抛光对铜互连器件的影响及失效分析 被引量:2
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作者 林晓玲 刘建 +2 位作者 章晓文 侯通贤 姚若河 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期143-145,149,共4页
探讨了Cu化学机械抛光(CMP)工艺引起Cu互连器件失效的原因以及对可靠性的影响,对Cu CMP工艺缺陷导致器件失效的案例进行分析。由于CMP的技术特点,不可避免地会产生一些工艺缺陷和工艺误差,从而引起器件失效。必须根据标准要求,出厂或封... 探讨了Cu化学机械抛光(CMP)工艺引起Cu互连器件失效的原因以及对可靠性的影响,对Cu CMP工艺缺陷导致器件失效的案例进行分析。由于CMP的技术特点,不可避免地会产生一些工艺缺陷和工艺误差,从而引起器件失效。必须根据标准要求,出厂或封装前对圆片进行芯片功能参数测试和严格的镜检,以便在封装前剔除存在潜在工艺缺陷的芯片,达到既定可靠性要求。 展开更多
关键词 化学机械抛光 CU互连 工艺缺陷 金属残留
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