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基于深度学习的H2S气体传感器设计与研究
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作者 唐巍 《深圳信息职业技术学院学报》 2024年第2期55-59,共5页
针对现有H2S气体传感器数据分析和数据预测问题,提出了一个混合深度学习模型,专门用于分析和预测H2S传感器的时间序列数据。模型结合卷积神经网络(CNN)和长短时记忆网络(LSTM),利用CNN强大的空间特征提取能力和LSTM出色的时间序列分析能... 针对现有H2S气体传感器数据分析和数据预测问题,提出了一个混合深度学习模型,专门用于分析和预测H2S传感器的时间序列数据。模型结合卷积神经网络(CNN)和长短时记忆网络(LSTM),利用CNN强大的空间特征提取能力和LSTM出色的时间序列分析能力,通过归一化处理传感器数据,能够处理不同尺度的传感器读数,并通过构建时间序列数据集,准备用于训练的数据。训练过程中,模型学习历史数据中的空间和时间模式,以预测未来的H2S浓度。混合模型在测试集上进行评估,显示了其在预测未来传感器读数方面的准确性。该模型可以用于实时监测和响应潜在的有毒气体泄漏,从而保障安全并符合环境监测法规,为处理复杂传感器数据提供了一种有效的解决方案,展现出在高精度时间序列预测任务中的巨大潜力。 展开更多
关键词 深度学习 h2S气敏传感器 浓度预测
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Pt原子修饰棒状二氧化锡的制备及其氢气敏感性能
2
作者 徐甲强 贾欣 张子旋 《宁波大学学报(理工版)》 2025年第6期22-30,共9页
采用一步水热法合成了纳米棒组成的SnO_(2)纳米花,并用高温还原法合成了不同分散状态的Pt-SnO_(2)复合材料。采用XRD、HRTEM和XPS等表征技术对Pt原子在复合材料表面的分散状态进行了解析。将复合材料构建为MEMS气体传感器并评估了其氢... 采用一步水热法合成了纳米棒组成的SnO_(2)纳米花,并用高温还原法合成了不同分散状态的Pt-SnO_(2)复合材料。采用XRD、HRTEM和XPS等表征技术对Pt原子在复合材料表面的分散状态进行了解析。将复合材料构建为MEMS气体传感器并评估了其氢敏性能,结果显示原子级分散的Pt atm-SnO_(2)材料氢敏性能最佳,其最佳工作温度为250℃,从纯相SnO_(2)的310℃降低了60℃,在最佳工作温度下对氢气的检测限低达5×10^(-6),对200×10^(-6)体积分数氢气的响应值为3.81,且响应时间为7.2 s,恢复时间为4.8 s。相比于纯相的SnO_(2)和Pt NPs(纳米颗粒)-SnO_(2),该复合材料在检测限、氢气响应值、响应时间和恢复时间等方面均有显著的改善。 展开更多
关键词 棒状SnO_(2) 贵金属修饰 氢气传感器 Pt单原子
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α-Fe2O3纳米微球的制备及对ppb水平的H2S气敏性能研究
3
作者 付双 李红梅 +2 位作者 孙革 潘虹 孙明睿 《化学试剂》 CAS 北大核心 2020年第11期1294-1298,共5页
采用溶剂热法制备了多级结构的氧化铁前驱体,再经300℃热处理后得到α-Fe2O3多级结构的纳米微球。通过X射线衍射仪(XRD)、BET分析仪、SEM和TEM等对产物结构和形貌进行表征。结果表明,合成的α-Fe2O3纳米微球直径约为500 nm。此外,将α-F... 采用溶剂热法制备了多级结构的氧化铁前驱体,再经300℃热处理后得到α-Fe2O3多级结构的纳米微球。通过X射线衍射仪(XRD)、BET分析仪、SEM和TEM等对产物结构和形貌进行表征。结果表明,合成的α-Fe2O3纳米微球直径约为500 nm。此外,将α-Fe2O3纳米微球制备成厚膜型气敏元件并进行了气敏性能测试,在工作温度为150℃时,α-Fe2O3纳米微球对硫化氢气体有良好的选择性和较高的灵敏度,最低检出限可以达到0.05 ppm,对10 ppm硫化氢的响应值为10.5,α-Fe2O3纳米微球可被用于制备硫化氢气体传感器。 展开更多
关键词 溶剂热法 Α-FE2O3 纳米微球 硫化氢 气体传感器
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硫化氢气体传感器设计制作与性能测试
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作者 胡宇涵 王博 +1 位作者 刘继江 夏露 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第10期108-110,115,共4页
针对硫化氢(H_(2)S)气体对人体健康的威胁及环境污染等问题,通过贵金属掺杂手段设计、制备高性能复合气敏材料,采用水热法制作出敏感材料,并通过电镜对制备的氧化钨(WO_(3))纳米线进行表面形貌分析,分析得出可进一步提高敏感材料的各项... 针对硫化氢(H_(2)S)气体对人体健康的威胁及环境污染等问题,通过贵金属掺杂手段设计、制备高性能复合气敏材料,采用水热法制作出敏感材料,并通过电镜对制备的氧化钨(WO_(3))纳米线进行表面形貌分析,分析得出可进一步提高敏感材料的各项气敏性能。之后,采用MEMS技术研究微热板及电极的芯片结构设计加工,优化器件结构,提高电极利用率,减小传感器的体积,提高微热板的加热效率。最后对制作出的气体传感器进行性能测试,测试结果显示:该传感器在体积分数为(1~1000)×10^(-9)范围内具有良好的响应,在体积分数为100×10^(-9)时的响应和恢复时间分别为24 s和36 s。 展开更多
关键词 硫化氢 气体传感器 芯片结构 设计与制作 性能测试
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表面碳化的硅纳米孔柱阵列的H2S室温电容传感特性
5
作者 王海燕 王伶俐 +1 位作者 胡青飞 李新建 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期1-5,共5页
通过将硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)进行高温碳化处理,制备出一种SiC/Si-NPA复合纳米体系。对SiC/Si-NPA的表面形貌和结构表征揭示,生长于Si-NPA上的SiC薄膜由具有立方结构的SiC纳米颗粒组成,厚度为~200 nm。SiC/Si-NPA整体上保持了Si-NPA... 通过将硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)进行高温碳化处理,制备出一种SiC/Si-NPA复合纳米体系。对SiC/Si-NPA的表面形貌和结构表征揭示,生长于Si-NPA上的SiC薄膜由具有立方结构的SiC纳米颗粒组成,厚度为~200 nm。SiC/Si-NPA整体上保持了Si-NPA原有的柱状阵列结构特征。对浓度介于0~1 200×10-6的H2S气体的室温传感性能测试表明,SiC/Si-NPA对H2S气体的电容响应灵敏度可高达790%,而其对400×10-6浓度H2S气体的响应和恢复时间则分别为170 s和200 s,元件具有较好的测量重复性和稳定性。SiC/Si-NPA可能是一种室温条件下较为理想的H2S气体传感材料。 展开更多
关键词 h2S气体传感器 SIC 硅纳米孔柱阵列 高温碳化
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WO3气体传感器用于SF6分解气体H2S的检测 被引量:5
6
作者 刘克成 张立军 +1 位作者 石荣雪 孙墨杰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第8期21-23,共3页
SF6气体绝缘设备内部存在的缺陷,在运行时会出现放电和过热等故障,从而导致SF6气体分解,降低设备的绝缘性能,同时危及设备运行安全。研究表明可以通过对SF6特征分解气体H2S的检测来检测SF6气体的分解情况。文中通过水热法合成了一种WO3... SF6气体绝缘设备内部存在的缺陷,在运行时会出现放电和过热等故障,从而导致SF6气体分解,降低设备的绝缘性能,同时危及设备运行安全。研究表明可以通过对SF6特征分解气体H2S的检测来检测SF6气体的分解情况。文中通过水热法合成了一种WO3敏感材料并进行了SEM、XRD表征;将WO3传感器用于H2S检测,表现出优异的气敏性能。在最佳工作温度下,对100ppmH2S灵敏度达到了236,响应时间为43s,检测下限为100ppb。 展开更多
关键词 SF6分解气体 h2S 气体传感器 WO3 低检测限 水热合成
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H_2S Sensing Characteristics of Thin Film SnO_2 Sensor with N_2 Treatment 被引量:2
7
作者 Jong-Won Kim Kwang-Hyun Yun +3 位作者 Geon-Young Cha Gi-Hong Rue Duk-Dong Lee Jeung-Soo Huh 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期385-388,共4页
<正>SnO_2 thin film sensors were fabricated by a thermal evaporation method.The sensors were heated for thermal oxidation.For high porosity,SnO_2 thin film sensors were treated in a N_2 atmosphere.The sensors th... <正>SnO_2 thin film sensors were fabricated by a thermal evaporation method.The sensors were heated for thermal oxidation.For high porosity,SnO_2 thin film sensors were treated in a N_2 atmosphere.The sensors that were treated with O_2 after being treated with N_2 showed 70 % sensitivity for 1×10~ -6) of H_2S,which is higher than the sensors that were only treated with O_2.The Ni metal,as a catalyst,was evaporated on the thin film Sn on the Al_2O_3 substrate.The sensor was heated to grow the Sn nanowire in a tube furnace with N_2 flow.Sn nanowire was heated for oxidation.The sensitivity of SnO_2 nanowire sensor was measured for 500×10~ -9) of H_2S.The selectivity of the SnO_2 nanowire sensor was compared with the thin film and the thick film SnO_2.Each sensor was measured for H_2S,CO,and NH_3 in this study. 展开更多
关键词 SNO2 gas sensor N2 NANOWIRE h2S
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Zinc Oxide Nanostructure Thick Films as H<sub>2</sub>S Gas Sensors at Room Temperature 被引量:1
8
作者 Vinod S. Kalyamwar Fulsingh C. Raghuwanshi +1 位作者 Narayan L. Jadhao Anil J. Gadewar 《Journal of Sensor Technology》 2013年第3期31-35,共5页
The ZnO nanostructures have been synthesized and studied as the sensing element for the detection of H2S. The ZnO nanostructures were synthesized by hydrothermal method followed by sonication for different interval of... The ZnO nanostructures have been synthesized and studied as the sensing element for the detection of H2S. The ZnO nanostructures were synthesized by hydrothermal method followed by sonication for different interval of time i.e. 30, 60, 90 and 120 min. By using screen printing method, thick films of synthesized ZnO nanostructure were deposited on glass substrate. Gas sensing properties of ZnO nanostructure thick films were studied for low concentration H2S gas at room temperature. The effects of morphology of synthesized ZnO nanostructure on gas sensing properties were studied and discussed. ZnO nanostructure synthesized by this method can be used as a promising material for semiconductor gas sensor to detect poisonous gas like H2S at room temperature with high sensitivity and selectivity. 展开更多
关键词 ZnO NANOSTRUCTURE ROOM Temperature Gas sensor for h2S
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H_2S Gas Sensor Based on Nanocrystalline ZnO Synthesized by Electrochemical-Deposition
9
作者 Chao Li Dongmei Zhu XiaohuaWang Jiaqiang Xu Baofu Wang 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期197-199,共3页
ZnO nanocrystals were prepared by a direct current electrochemical deposition process under 3.0V working voltage and 30A/m^2 current density using zinc sulfate as raw materials.The nanocrystals were characterized by X... ZnO nanocrystals were prepared by a direct current electrochemical deposition process under 3.0V working voltage and 30A/m^2 current density using zinc sulfate as raw materials.The nanocrystals were characterized by X-ray diffraction (XRD)and transmission electron microscopy(TEM).The results indicated that the nanocrystals are hexagonal wurtzite ZnO with particle size range of 25nm~40nm without any treating.Gas sensing properties of the sensors were tested by mixing a gas in air at static state;the tested results showed that the sensors based on nanocrystalline ZnO had satisfied gas sensing properties to H_2S gas at rather low temperature. 展开更多
关键词 electrochemical deposition nanometer ZnO h2S gas sensor
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Low temperature H_2S sensor based on copper oxide/tin dioxide thick film 被引量:1
10
作者 Hongbing Wei Hongwen Sun +4 位作者 Sumei Wang Guangzhi Chen Yingtao Hou Hongwen Guo Xiaodong Ma 《Journal of Natural Gas Chemistry》 EI CAS CSCD 2010年第4期393-396,共4页
Nanostructured tin dioxide (SnO2) powders were prepared by a sol-gel dialytic process and and the doping of CuO on it was completed by a deposition-precipitation method.The thick film sensors were fabricated from th... Nanostructured tin dioxide (SnO2) powders were prepared by a sol-gel dialytic process and and the doping of CuO on it was completed by a deposition-precipitation method.The thick film sensors were fabricated from the CuO/SnO2 polycrystalline powders.Sensing behavior of the sensor was investigated with various gases including CO,H2,NH3,hexane,acetone,ethanol,methanol and H2S in air.The as-synthesized gas sensor had much better response to H2S than to other gases.At the same time,the CuO/SnO2 sensor had enough sensitivity,together with fast response and recovery,to distinguish H2S from those gases at 160 and 210 ℃.Therefore,it might have promising applications in the future. 展开更多
关键词 LOW-TEMPERATURE h2S copper oxide/tin dioxide gas sensors SELECTIVITY
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Fe2O3纳米棒的制备及其H2S气敏性能研究 被引量:3
11
作者 安飞 《安全、健康和环境》 2021年第1期13-15,共3页
为快速检测H2S泄漏,以一步水热法制备的Fe2O3纳米棒为基础,制备了H2S气体传感器。研究表明,该传感器在300℃工作温度下对10μmol/mol的H2S的灵敏度为2左右,响应时间为12s左右,恢复时间约4s。而且该传感器具有优异的稳定性和选择性,对CH4... 为快速检测H2S泄漏,以一步水热法制备的Fe2O3纳米棒为基础,制备了H2S气体传感器。研究表明,该传感器在300℃工作温度下对10μmol/mol的H2S的灵敏度为2左右,响应时间为12s左右,恢复时间约4s。而且该传感器具有优异的稳定性和选择性,对CH4、CO等多种气体响应较差,适合用于长时间快速检测H2S气体的泄漏。 展开更多
关键词 H 2 S 气体泄漏 气体传感器 Fe 2 O 3纳米棒 快速检测
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富含氧空位的立方ZnSnO3的合成及其对H2S的气体传感性能
12
作者 苗佳宇 王哲盈 《哈尔滨师范大学自然科学学报》 CAS 2020年第1期62-66,共5页
采用水热法与酸处理相结合方法合成具有氧缺陷的立方结构ZnSnO3,利用X射线衍射(XRD)、电子扫描电镜(FE-SEM)、透射电镜(TEM)分析了材料的形貌与结构.将立方ZnSnO3材料制作成传感器,对其进行了气敏性能测试,发现ZnSnO3对H2S气体展现出卓... 采用水热法与酸处理相结合方法合成具有氧缺陷的立方结构ZnSnO3,利用X射线衍射(XRD)、电子扫描电镜(FE-SEM)、透射电镜(TEM)分析了材料的形貌与结构.将立方ZnSnO3材料制作成传感器,对其进行了气敏性能测试,发现ZnSnO3对H2S气体展现出卓越的敏感特性.通过光致发光(PL)分析材料氧缺陷特征,给出了敏感材料可能的气敏机理. 展开更多
关键词 ZnSnO3 氧空位 h2S 气体传感器
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Distributed H2/H∞ Filter Design for Discrete-Time Switched Systems 被引量:5
13
作者 Nezar M.Alyazidi Magdi S.Mahmoud 《IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica》 EI CSCD 2020年第1期158-168,共11页
This paper addresses an infinite horizon distributed H2/H∞ filtering for discrete-time systems under conditions of bounded power and white stochastic signals. The filter algorithm is designed by computing a pair of g... This paper addresses an infinite horizon distributed H2/H∞ filtering for discrete-time systems under conditions of bounded power and white stochastic signals. The filter algorithm is designed by computing a pair of gains namely the estimator and the coupling. Herein, we implement a filter to estimate unknown parameters such that the closed-loop multi-sensor accomplishes the desired performances of the proposed H2 and H∞ schemes over a finite horizon. A switched strategy is implemented to switch between the states once the operation conditions have changed due to disturbances. It is shown that the stability of the overall filtering-error system with H2/H∞ performance can be established if a piecewise-quadratic Lyapunov function is properly constructed. A simulation example is given to show the effectiveness of the proposed approach. 展开更多
关键词 Bounded power stochastic disturbance discretetime systems h2/H∞ filtering infinite horizon MULTI-sensor switched systems
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Hydrogen and Ozone SAW Based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InO_x and Electron Beam Evaporated SiN_y 被引量:1
14
作者 A.C.Fechete A.Wisitsora-at +3 位作者 W.Wlodarskil K.Kalantar-zadeh S.Kandasamy A.S.Holland 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期206-209,共4页
Layered Surface Acoustic Wave (SAW) devices with an InO_x/SiN_u/36°YX LiTaO_3 structure were investigated for sensing low concentrations of hydrogen (H_2) and ozone (O_3) at different operating temperatures.The s... Layered Surface Acoustic Wave (SAW) devices with an InO_x/SiN_u/36°YX LiTaO_3 structure were investigated for sensing low concentrations of hydrogen (H_2) and ozone (O_3) at different operating temperatures.The sensor consists of a 1μm thick silicon nitride (SiN_y) intermediate layer deposited by electron beam evaporation on a 36°Y-cut X-propagating piezoelectric lithium tantalate (LiTaO_3) substrate and a 100 nm thin indium oxide (InO_x) sensing layer deposited by R.F.magnetron sputtering.The device fabrication is described and the performance of the sensor is analyzed in terms of response magnitude as a function of operating temperature.Large frequency shifts of 360 kHz for 600μg/g of H_2 and 92 kHz for 40 ng/g O_3 were recorded.In addition,the surface morphology of the deposited films were investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) and the chemical composition by X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) to correlate gas-sensing behavior to structural characteristics of the thin film. 展开更多
关键词 SAW gas sensors E-beam evaporated SiN_y InO_x O3 h2
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Hierarchical Hypercube Based Pairwise Key Establishment Scheme for Sensor Networks
15
作者 Lei WANG 《International Journal of Communications, Network and System Sciences》 2009年第2期142-154,共13页
Security schemes of pairwise key establishment, which enable sensors to communicate with each other se-curely, play a fundamental role in research on security issue in wireless sensor networks. A general frame-work fo... Security schemes of pairwise key establishment, which enable sensors to communicate with each other se-curely, play a fundamental role in research on security issue in wireless sensor networks. A general frame-work for key predistribution is presented, based on the idea of KDC (Key Distribution Center) and polyno-mial pool schemes. By utilizing nice properties of H2 (Hierarchical Hypercube) model, a new security mechanism for key predistribution based on such model is also proposed. Furthermore, the working per-formance of tolerance resistance is seriously inspected in this paper. Theoretic analysis and experimental fig-ures show that the algorithm addressed in this paper has better performance and provides higher possibilities for sensor to establish pairwise key, compared with previous related works. 展开更多
关键词 Pairwise KEY sensor Networks KEY POOL KEY Predistribution h2 Framework
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Au NP负载Co_(3)(HITP)_(2)@ZIF-67复合材料的制备及其室温下气敏特性
16
作者 何华玲 夏滔 +5 位作者 熊长军 赵俊秀 胡珂祺 孙永娇 王文达 胡杰 《微纳电子技术》 CAS 2024年第9期47-53,共7页
采用水热法和化学还原法制备了Au纳米颗粒(NP)负载Co_(3)(HITP)_(2)@ZIF-67复合材料,利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所合成材料的微观形貌和晶相进行表征分析。同时,制备了基于Au NP负载Co_(3)(HITP)_(2)@ZIF-67复... 采用水热法和化学还原法制备了Au纳米颗粒(NP)负载Co_(3)(HITP)_(2)@ZIF-67复合材料,利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所合成材料的微观形貌和晶相进行表征分析。同时,制备了基于Au NP负载Co_(3)(HITP)_(2)@ZIF-67复合材料的气体传感器件,研究了其在室温下对H_(2)S的气敏特性。测试结果表明,相比纯的ZIF-67气体传感器无法在室温下对H_(2)S进行气敏检测,负载Au纳米颗粒的Co_(3)(HITP)_(2)@ZIF-67复合材料的气体传感器在室温下对体积分数为20 ppm(1 ppm=1×10^(-6))的H_(2)S气体响应可达到2.7,响应/恢复时间分别为64 s/99 s,且具有较好的选择性、重复性和长期稳定性。 展开更多
关键词 气体传感器 复合材料 h2S气敏检测 水热法 Co_(3)(HITP)_(2)
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便携式硫化氢检测仪 被引量:17
17
作者 朱亮 严龙 +1 位作者 邹兵 姜素霞 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第3期31-33,共3页
针对天然气开采利用过程中存在的H2S泄漏检测问题,利用集成了A/D转换器的高性能微处理器MSP430F249为核心,设计了便携式H2S检测仪,重点介绍了设计原理及软硬件实现方法。用电化学式H2S传感器将现场H2S气体浓度转换为模拟信号输出,数字... 针对天然气开采利用过程中存在的H2S泄漏检测问题,利用集成了A/D转换器的高性能微处理器MSP430F249为核心,设计了便携式H2S检测仪,重点介绍了设计原理及软硬件实现方法。用电化学式H2S传感器将现场H2S气体浓度转换为模拟信号输出,数字式温湿度传感器将现场温湿度转换为数字信号输出,MSP430F249处理这些信号并实时显示结果,最终完成检测和报警功能。实验结果表明该检测仪具有测量精度高、功耗低、携带方便等特点。 展开更多
关键词 h2S传感器 MSP430F249 电化学原理 SHT11 便携式
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共沉淀法SnO_2-WO_3粉体的气敏性能研究R&D 被引量:16
18
作者 牛新书 刘艳丽 +1 位作者 胡平 徐甲强 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期10-12,共3页
采用化学共沉淀法制得不同掺杂量的SnO2-WO3粉体,探讨了掺杂量、热处理温度、元件工作温度与WO3气敏性能的关系。研究发现:SnO2的添加抑制了WO3晶粒的生长,提高了其气体灵敏度。其中以0.5%(质量分数)的掺杂量为最佳,可进行H2S气体的选... 采用化学共沉淀法制得不同掺杂量的SnO2-WO3粉体,探讨了掺杂量、热处理温度、元件工作温度与WO3气敏性能的关系。研究发现:SnO2的添加抑制了WO3晶粒的生长,提高了其气体灵敏度。其中以0.5%(质量分数)的掺杂量为最佳,可进行H2S气体的选择性检测。 展开更多
关键词 三氧化钨 二氧化锡 气体传感器 化学共沉淀法 粉体 气敏性能
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井场硫化氢气体无线监测系统 被引量:3
19
作者 焦斌亮 刘少波 +1 位作者 李建业 杨洋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第6期76-78,81,共4页
目前,石油工业中硫化氢气体监测采用的有线数据传输方式需要大量的线缆,布线工作繁重,系统成本较高。设计无线的硫化氢气体监测系统面临的主要问题是传感器节点的功耗控制。基于ZigBee无线网络技术设计了由电池供电的低功耗无线数据采... 目前,石油工业中硫化氢气体监测采用的有线数据传输方式需要大量的线缆,布线工作繁重,系统成本较高。设计无线的硫化氢气体监测系统面临的主要问题是传感器节点的功耗控制。基于ZigBee无线网络技术设计了由电池供电的低功耗无线数据采集系统。详细介绍了系统构成以及终端节点的硬件和软件设计,通过选用低功耗的电子器件和优化软件流程,降低系统功耗,延长电池寿命。通过测试表明:系统具有功耗低,覆盖范围广,抗干扰能力强等特点,具有较强的实用价值。 展开更多
关键词 硫化氢传感器 无线 CC2530 ZIGBEE
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酞菁铜薄膜晶体管气体传感器制备及特性研究 被引量:7
20
作者 李娴 蒋亚东 +2 位作者 太惠玲 谢光忠 张波 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2012年第12期1074-1079,共6页
以n型高掺杂硅为衬底,二氧化硅(SiO2)作绝缘层,钛/金(Ti/Au)双层膜为源漏电极层,真空蒸发酞菁铜(CuPc)作敏感层,制备了沟道宽长比为4000/25的有机薄膜晶体管气体传感器(OTFTs),研究了CuPc-OTFT气体传感器的基本电学特性及其在常温下对... 以n型高掺杂硅为衬底,二氧化硅(SiO2)作绝缘层,钛/金(Ti/Au)双层膜为源漏电极层,真空蒸发酞菁铜(CuPc)作敏感层,制备了沟道宽长比为4000/25的有机薄膜晶体管气体传感器(OTFTs),研究了CuPc-OTFT气体传感器的基本电学特性及其在常温下对有毒还原型气体(H2S和NH3)的敏感性能。结果表明,基于CuPc的OTFT器件具有良好的电学特性,阈值电压为-8 V,载流子迁移率2.47×10-4cm2/V.s,开关电流比5。基于CuPc薄膜的OTFT气体传感器对不同浓度的H2S和NH3均具有较好的响应,对SO2气体响应较小,对CH4和H2几乎不响应。通过CuPc薄膜的紫外-可见光光谱和OTFT器件的转移特性曲线对CuPc-OTFT气体传感器的敏感机理进行了分析。 展开更多
关键词 酞菁铜 有机薄膜晶体管 气体传感器 h2S NH3
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