EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜研究 被引量：1

1

作者 赵晓锋 温殿忠 +1 位作者 王天琦 任华 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1430-1433,共4页

研究了〈100〉单晶硅在EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜,在EPW腐蚀液中因〈100〉单晶硅腐蚀速率各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜.基于EPW腐蚀液中〈100〉单晶硅存在严重凸角削角,采用带锯齿(9个、20个、36个)结构的齿轮掩膜图... 研究了〈100〉单晶硅在EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜,在EPW腐蚀液中因〈100〉单晶硅腐蚀速率各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜.基于EPW腐蚀液中〈100〉单晶硅存在严重凸角削角,采用带锯齿(9个、20个、36个)结构的齿轮掩膜图形腐蚀制作近似圆形硅膜,通过采用SEM观察,随腐蚀时间增加,圆形掩膜EPW腐蚀后硅膜为近似方形,而带有36个锯齿结构的齿轮掩膜腐蚀后硅膜近似圆形.结果表明,利用掩膜锯齿结构在EPW腐蚀液中存在凸角削角现象,能够实现近似圆形硅膜的制作. 展开更多

关键词 epw腐蚀液 圆形硅膜 凸角削角 各向异性腐蚀 MEMS

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硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的异同 被引量：3

2

作者 温殿忠 庄玉光 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第2期83-86,共4页

<正>本文在文献(1~5)的基础上,进一步应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的机理,并给出了硅在这两种腐蚀液中各向异性腐蚀速率的实验结果.

关键词 硅 氢氧化钾溶液 epw 各向异性 腐蚀

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在EPW中采用(100)硅制作微悬臂梁凸角补偿及工艺研究 被引量：2

3

作者 赵晓锋 温殿忠 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2005年第5期697-700,共4页

(100)硅片在EPW腐蚀液中进行各向异性腐蚀时,因在(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使微悬臂梁凸角掩膜下的硅受到侧向腐蚀,出现严重的凸角削角现象.研究采用EPW腐蚀(100)硅片制作微悬臂梁的凸角补偿方法及制作工艺,给... (100)硅片在EPW腐蚀液中进行各向异性腐蚀时,因在(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使微悬臂梁凸角掩膜下的硅受到侧向腐蚀,出现严重的凸角削角现象.研究采用EPW腐蚀(100)硅片制作微悬臂梁的凸角补偿方法及制作工艺,给出采用圆形掩膜对(100)硅凸角进行补偿.实验结果表明,该方法能够较好的完成对EPW腐蚀液中悬臂梁凸角削角的补偿。 展开更多

关键词 epw 微悬臂梁 凸角削角补偿

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(100)硅EPW各向异性腐蚀中残留物的研究 被引量：2

4

作者 吴宪平 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第1期98-103,共6页

本文首次分析了(100)硅在乙二胺——邻苯二酚水溶液(EPW)中进行各向异性腐蚀时所可能出现的白色残留物的化学组份。该残留物的生成条件取决于正常反应物在一定组份的EPW中的溶解度;邻苯二酚的含量对此溶解度有明显影响。文中讨论了预防... 本文首次分析了(100)硅在乙二胺——邻苯二酚水溶液(EPW)中进行各向异性腐蚀时所可能出现的白色残留物的化学组份。该残留物的生成条件取决于正常反应物在一定组份的EPW中的溶解度;邻苯二酚的含量对此溶解度有明显影响。文中讨论了预防残留物出现以获得近于镜面的(100)硅腐蚀面的各种措施。 展开更多

关键词 硅 epw 向异性 腐蚀 残留物

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EPW.EXE——给可执行文件加密

5

作者 于建原 《计算机时代》 1997年第9期32-32,共1页

由美国(休斯顿)的Alan D.Jones编写的这款共享软件,使用户可以方便地给.EXE和.COM这两类DOS的执行文件加上保密口令。该工具软件版本号是4.21,只有一个文件,字节量为4970B,小巧实用,用法简单。由EPW.EXE加密过的执行文件,只在文件的开... 由美国(休斯顿)的Alan D.Jones编写的这款共享软件,使用户可以方便地给.EXE和.COM这两类DOS的执行文件加上保密口令。该工具软件版本号是4.21,只有一个文件,字节量为4970B,小巧实用,用法简单。由EPW.EXE加密过的执行文件,只在文件的开头部分加上认读密码的调转指针,对执行文件本身不作任何改动。因此,用户使用执行文件的方法和习惯经加密后没有任何改变,使用被加密后的执行文件,原来应该输入的参数照常输入,只是在开始执行时,先在屏幕出现"Password:”,要求输入用户加密的口令。输入的密码正确,执行文件就正常执行。EPW.EXE采用自己特殊的符号记录用户的密码。因此,使用任何磁盘编辑工具或文本查看工具,除了可以看到文件头部增加的该程序名和作者姓名外,是查看不到用户所加密码的。据软件作者声称,靠随机方法试输入密码能解开由EPW所加密的概率为1/429497296。笔者试用时,将经加密后的执行文件用UNTILL95(金蝉脱壳)和CW3.0(拷贝王)进行脱壳处理,均未成功,说明EPW.EXE加密的可靠性还是比较高的。 展开更多

关键词 epw.EXE 可执行文件 加密 DOS

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社区居民参与EPWS项目的意愿影响因素研究——以五马河流域龙塘坝社区为例 被引量：2

6

作者 王露伟 任晓冬 罗鼎 《湖北农业科学》 2015年第6期1517-1523,共7页

合理的流域有偿服务(EPWS)是指推广方应主动地优先考虑某一流域内贫困人群的需要。不同的利益相关者对合理的流域有偿服务的认知是不同的,然而农户对于生态系统有偿服务的认知、影响因子以及原因都缺少系统的了解与分析。以贵州省五马... 合理的流域有偿服务(EPWS)是指推广方应主动地优先考虑某一流域内贫困人群的需要。不同的利益相关者对合理的流域有偿服务的认知是不同的,然而农户对于生态系统有偿服务的认知、影响因子以及原因都缺少系统的了解与分析。以贵州省五马河流域为例,对流域上游的龙塘坝社区居民进行问卷调查,通过Logistic回归分析方法,对影响社区居民参与EPWS项目的意愿因素进行计量研究。结果表明,影响农户参与EPWS的意愿的因素主要有四个:居民性别、受教育水平、对在≥25°陡坡上种植作物对环境影响的认识、对EPWS的支持度。这说明在实施EPWS项目时需要优先考虑这些因素,也为同类型的其他社区提供参考借鉴。 展开更多

关键词 epwS 社区居民参与意愿 二项Logistic回归模型

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税务文化理念诊断的EPW核心路径法探讨

7

作者 周敏 李朝波 《湖南税务高等专科学校学报》 2014年第1期11-16,共6页

在对组织文化诊断研究方法进行梳理的基础上,结合税务文化的特殊性,分析在税务文化诊断中定量研究和定性研究各自的价值及其主次关系的问题,最终得出以定性研究手段为主、定量研究为辅的税务文化诊断诊断思路。在此诊断思路指导下,通过... 在对组织文化诊断研究方法进行梳理的基础上,结合税务文化的特殊性,分析在税务文化诊断中定量研究和定性研究各自的价值及其主次关系的问题,最终得出以定性研究手段为主、定量研究为辅的税务文化诊断诊断思路。在此诊断思路指导下,通过大量的税务文化诊断实践,总结出税务文化诊断的EPW核心路径法,并梳理出具体、可供参考的实践操作路径。 展开更多

关键词 税务文化 文化诊断 方法 epw核心路径法

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基于网络技术和计算机平台利用EPWING格式日语辞典

8

作者 邱永新 黄跃瑜 《科技信息》 2009年第16期197-198,共2页

辞典是外语学习者必不可少的工具。辞典的发展经历了纸质载体辞典、可携带电子词典、因特网在线辞典、购买安装CD-ROM辞典等过程。随着科学技术的发展,一种新的基于网络技术和计算机平台利用EPWING格式辞典查询单词的方式已悄然新起。... 辞典是外语学习者必不可少的工具。辞典的发展经历了纸质载体辞典、可携带电子词典、因特网在线辞典、购买安装CD-ROM辞典等过程。随着科学技术的发展,一种新的基于网络技术和计算机平台利用EPWING格式辞典查询单词的方式已悄然新起。本文针对目前国内日语学习者使用辞典的现状,主要介绍EPWING格式辞典的定义、如何下载、安装并灵活使用等相关问题。 展开更多

关键词 epwING格式辞典 EBWIN软件 网络下载 安装使用

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新型红外探测器可动薄膜微腔的腐蚀工艺研究 被引量：5

9

作者 李兰 董典红 +4 位作者 刘铮 邓军 徐晨 邹德恕 沈光地 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第6期651-654,共4页

基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用... 基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用EPW湿法腐蚀的工艺,通过实验研究器件结构制作的最佳腐蚀条件和腐蚀速度,保证了工艺的可控性和器件结构的质量。 展开更多

关键词 微机械 红外探测器 湿法腐蚀 epw腐蚀液

原文传递

浓硼硅腐蚀自停止的研究 被引量：3

10

作者 陈德英 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第5期33-35,共3页

介绍了ＥＰＷ腐蚀系统浓硼自停止特性及其在微机械加工中的应用。

关键词 浓硼硅腐蚀 自停止 epw腐蚀剂 微机械 半导体

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动能深侵彻弹的力学设计(III):缩比实验分析 被引量：30

11

作者 陈小伟 张方举 +5 位作者 杨世全 谢若泽 高海鹰 徐艾明 金建明 屈明 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期105-114,共10页

开展了φ25mm火炮小尺寸缩比弹的正／斜侵彻实验。给出了实验方法、建议弹型和混凝土靶的设计。在620～820m／s实验速度范围内，缩比弹结构保持完整。结合动能深侵彻弹的力学设计理论和笔者先前的理论工作，对正／斜侵彻的实验结果作进... 开展了φ25mm火炮小尺寸缩比弹的正／斜侵彻实验。给出了实验方法、建议弹型和混凝土靶的设计。在620～820m／s实验速度范围内，缩比弹结构保持完整。结合动能深侵彻弹的力学设计理论和笔者先前的理论工作，对正／斜侵彻的实验结果作进一步的总结，包括着靶姿态、靶体终点效应以及弹体结构变形。 展开更多

关键词 爆炸力学 弹体结构 缩比实验 钻地弹 结构设计 混凝土 侵彻

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细长薄壁弹体的屈曲和靶体等效分析 被引量：12

12

作者 陈小伟 张方举 +1 位作者 徐艾民 屈明 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期296-305,共10页

利用金属靶开展动能深侵彻弹的穿甲屈曲实验研究。实验观察到长/短型弹体动塑性屈曲破坏分别表现为轴向皱褶型和轴向外翻撕裂型2种基本模式。不同的屈曲破坏模式与弹体几何、撞击初条件以及靶材等密切相关。区别于刚性尖头弹穿甲金属靶... 利用金属靶开展动能深侵彻弹的穿甲屈曲实验研究。实验观察到长/短型弹体动塑性屈曲破坏分别表现为轴向皱褶型和轴向外翻撕裂型2种基本模式。不同的屈曲破坏模式与弹体几何、撞击初条件以及靶材等密切相关。区别于刚性尖头弹穿甲金属靶的韧性隧道开孔,尖头弹因屈曲破坏易变形为钝头形,导致弹体穿透靶板表现为挤凿穿甲。利用薄壁中空柱壳的弹性欧拉屈曲分析和弹体塑性屈服的极限分析给出弹体动塑性屈曲的临界条件。同时给出屈曲实验中混凝土靶和金属靶的等效条件。 展开更多

关键词 爆炸力学 动塑性屈曲 靶体等效 混凝土靶 钻地弹 穿甲 钢靶

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弹体高过载硬回收测量技术的实验探讨 被引量：12

13

作者 何丽灵 高进忠 +2 位作者 陈小伟 孙远程 姬永强 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期608-612,共5页

为提供引信服役的力学参数,达到引战配合目的,弹体过载（减速度）的测量十分必要.采用硬回收法测量了高速侵彻混凝土的先进钻地弹缩比弹过载时间历程.实验弹最大直径48 mm,计及过载测量装置,弹体质量约1.8kg,撞击速度1 142 m/s.过载测... 为提供引信服役的力学参数,达到引战配合目的,弹体过载（减速度）的测量十分必要.采用硬回收法测量了高速侵彻混凝土的先进钻地弹缩比弹过载时间历程.实验弹最大直径48 mm,计及过载测量装置,弹体质量约1.8kg,撞击速度1 142 m/s.过载测试系统模块化和集成化设计,包括过载测量模块、电路模块、信号存储模块、电源模块和外部计算机模块,传感器为压阻式.量程在（-8～21）×10 4g,可测量过载幅值约20×104g. 展开更多

关键词 爆炸力学 先进钻地弹缩比弹 高速侵彻 硬回收法 过载 压阻式过载传感器

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钻地弹侵彻高强度混凝土靶的数值模拟 被引量：12

14

作者 郑振华 余文力 王涛 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2008年第3期143-146,共4页

采用三维数值计算程序模拟了全尺寸钻地弹对半无限厚高强度混凝土靶板的垂直侵彻过程。根据计算结果,分析了弹-靶的动态响应特性,研究了战斗部着速对侵彻深度的影响,并分析了侵彻过程中战斗部装药的过载变化规律,得出了具有一定应用价... 采用三维数值计算程序模拟了全尺寸钻地弹对半无限厚高强度混凝土靶板的垂直侵彻过程。根据计算结果,分析了弹-靶的动态响应特性,研究了战斗部着速对侵彻深度的影响,并分析了侵彻过程中战斗部装药的过载变化规律,得出了具有一定应用价值的结论。 展开更多

关键词 钻地弹 混凝土靶板 侵彻 数值模拟

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动能深侵彻弹的力学设计(Ⅱ):弹靶的相关力学分析与实例 被引量：25

15

作者 陈小伟 金建明 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期71-78,共8页

介绍了作者关于动能深侵彻弹研究的部分工作。单纯动能弹侵彻存在侵彻深度上限,在技战术指标一定的前提条件下,弹体结构的优化可令动能深侵彻弹尽可能实现最大侵深。其中弹体结构的力学设计尤为重要,如弹形、弹材、质量比、长径比等。... 介绍了作者关于动能深侵彻弹研究的部分工作。单纯动能弹侵彻存在侵彻深度上限,在技战术指标一定的前提条件下,弹体结构的优化可令动能深侵彻弹尽可能实现最大侵深。其中弹体结构的力学设计尤为重要,如弹形、弹材、质量比、长径比等。进一步开展弹体结构设计的力学研究,包括头部设计、战斗部后盖、装填比、弹形和弹材、侵彻效应中的尺度律、混凝土靶的设计,最后给出若干实例。 展开更多

关键词 爆炸力学 弹体结构 力学设计 动能深侵彻弹 混凝土 侵彻/穿甲

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先进钻地弹高速侵彻实验中质量磨蚀金相分析 被引量：16

16

作者 何丽灵 陈小伟 范瑛 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期515-522,共8页

开展2组先进钻地缩比弹高速侵彻混凝土实验,侵彻速度在1 130～1 650m/s之间。针对弹体结构特点,金相分析了侵彻后剩余弹体,发现弹体与靶接触的表面(包括弹头和壳体段)均存在明显热影响区(Heat affected zone,HAZ),而与靶脱离接触部分未... 开展2组先进钻地缩比弹高速侵彻混凝土实验,侵彻速度在1 130～1 650m/s之间。针对弹体结构特点,金相分析了侵彻后剩余弹体,发现弹体与靶接触的表面(包括弹头和壳体段)均存在明显热影响区(Heat affected zone,HAZ),而与靶脱离接触部分未发现明显热影响区,因而弹靶相互作用是热影响区产生的主要原因。在弹尖部位存在少量绝热剪切带(Adiabatic shearing band,ASB),其对弹体质量损失有一定贡献,但在实验撞击速度范围内其影响有限。ASB可能引起弹尖非对称磨蚀,进而降低弹体侵彻性能。 展开更多

关键词 爆炸力学 高速侵彻 先进钻地缩比弹 热影响区 绝热剪切带 金相分析

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大长细比弹体斜侵彻混凝土靶的动力学响应 被引量：19

17

作者 皮爱国 黄风雷 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期331-338,共8页

基于刚塑性自由梁在横向冲击载荷下的动力学响应研究方法,结合空腔膨胀理论给出的弹体载荷分析,给出了弹体作为自由梁在塑性铰出现之前的响应行为,得到了梁内任一截面在横向载荷下剪力和弯矩分布规律以及轴向载荷下的轴力分布规律。计... 基于刚塑性自由梁在横向冲击载荷下的动力学响应研究方法,结合空腔膨胀理论给出的弹体载荷分析,给出了弹体作为自由梁在塑性铰出现之前的响应行为,得到了梁内任一截面在横向载荷下剪力和弯矩分布规律以及轴向载荷下的轴力分布规律。计算结果表明,大长细比结构弹体的危险截面在承受较大轴向惯性压力载荷后,对由非正侵彻导致的横向载荷极为敏感。最后基于压弯联合作用载荷分析,给出了动能弹设计的抗弯极限壁厚要求。 展开更多

关键词 爆炸力学 侵彻 冲击载荷 刚塑性梁 动能弹 空腔膨胀理论

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基于CDEM的钻地弹侵彻爆炸全过程数值模拟研究 被引量：23

18

作者 冯春 李世海 +1 位作者 郝卫红 葛伟 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2017年第13期11-18,26,共9页

提出了一种用于描述岩土介质在冲击载荷下渐进破坏过程的显式数值分析方法(CDEM)。该方法将有限元及块体离散元进行有机结合,利用块体表征材料的弹性、塑性、损伤等连续特征,利用块体间的界面表征裂纹的萌生、扩展及贯通过程。利用CDEM... 提出了一种用于描述岩土介质在冲击载荷下渐进破坏过程的显式数值分析方法(CDEM)。该方法将有限元及块体离散元进行有机结合,利用块体表征材料的弹性、塑性、损伤等连续特征,利用块体间的界面表征裂纹的萌生、扩展及贯通过程。利用CDEM分析了钻地弹的侵彻过程,提出了一种基于破裂度的岩土介质破碎程度评价方法,给出了侵彻面上破碎坑的基本形态及径向裂缝的分布,获得了冲击速度与侵彻深度的正相关关系。数值计算获得的破裂形态及侵彻深度与相关文献的实验及理论分析结果基本一致,证明了所述数值计算方法的正确性。基于一虚拟工况,借助CDEM,分析了钻地弹侵彻及爆炸的双重效应对周边岩体及地下构筑物的影响规律。 展开更多

关键词 钻地弹 侵彻 爆炸 数值模拟 裂纹扩展 破裂度

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助推钻地弹对混凝土目标侵彻效应的数值模拟 被引量：3

19

作者 郭锦炎 阮文俊 +1 位作者 王浩 张丁山 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期305-309,共5页

为设计助推钻地弹选择合适的助推方案,采用LS-DYNA程序进行了三维数值模拟研究。通过将动能弹侵彻混凝土数值模拟的结果与试验数据进行对比,确定了合理的有限元仿真模型,选取了合适的材料模型和参数。结合某结构助推钻地弹的研制工作,... 为设计助推钻地弹选择合适的助推方案,采用LS-DYNA程序进行了三维数值模拟研究。通过将动能弹侵彻混凝土数值模拟的结果与试验数据进行对比,确定了合理的有限元仿真模型,选取了合适的材料模型和参数。结合某结构助推钻地弹的研制工作,对助推钻地弹侵彻混凝土的效应进行了数值模拟,与试验数据进行比较,得出数值模拟能够较好地反映助推钻地弹对混凝土目标的侵彻效应。通过对各种助推方案的数值模拟,得出了选择助推方案的一般原则,为新型钻地弹的研制提供了指导。 展开更多

关键词 助推钻地弹 侵彻 数值模拟 混凝土

原文传递

大长细比结构弹体侵彻2024-O铝靶的弹塑性动力响应 被引量：11

20

作者 皮爱国 黄风雷 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期252-260,共9页

为研究大长细比结构弹体在撞击典型硬目标早期的结构动力学响应,利用57轻气炮进行了直径1.4 cm、量纲一壁厚0.1和0.15、长细比8和12、头部系数3和4.5的卵形空心弹体对2024-O铝靶的侵彻实验研究,利用高速摄影系统记录了弹体撞靶过程,观... 为研究大长细比结构弹体在撞击典型硬目标早期的结构动力学响应,利用57轻气炮进行了直径1.4 cm、量纲一壁厚0.1和0.15、长细比8和12、头部系数3和4.5的卵形空心弹体对2024-O铝靶的侵彻实验研究,利用高速摄影系统记录了弹体撞靶过程,观察到大长细比弹体垂直撞击硬目标过程中的局部墩粗、塑性屈曲2种结构破坏模式,以及斜侵彻过程中的整体塑性弯曲、弯曲与墩粗耦合、弯曲与屈曲耦合3种结构破坏模式和实时动力学响应过程。基于对指数硬化材料的空腔膨胀理论建立了弹体垂直侵彻模型,给出了在轴向及横向载荷交互作用下计算刚塑性自由梁危险截面屈服函数的控制方程,计算值与实验结果吻合较好。 展开更多

关键词 爆炸力学 结构破坏模式 侵彻 动能弹 空腔膨胀理论 剐塑性梁

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