用于兆瓦级回旋管的金刚石窗片的研制

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作者 李义锋 姜龙 +8 位作者 安晓明 葛新岗 张雅淋 仝婷婷 张平伟 刘晓晨 唐伟忠 郭辉 孙振路 《核聚变与等离子体物理》 北大核心 2025年第4期388-395,共8页

采用微波等离子体化学气相沉积对兆瓦级回旋管用金刚石微波窗片进行了研制。对影响金刚石窗口性能的耐压强度、热导率、热膨胀系数、介电损耗正切等关键参数进行了表征。实验结果表明,厚度1 mm、通径92 mm的金刚石窗片可承受约0.47 MPa... 采用微波等离子体化学气相沉积对兆瓦级回旋管用金刚石微波窗片进行了研制。对影响金刚石窗口性能的耐压强度、热导率、热膨胀系数、介电损耗正切等关键参数进行了表征。实验结果表明,厚度1 mm、通径92 mm的金刚石窗片可承受约0.47 MPa的压强;金刚石室温热导率达到20.1 W·cm^(-1)·℃^(-1);0.95 mm厚金刚石窗片介电损耗正切低至2.7×10^(-6)。合成了1.8 mm厚低微波损耗金刚石窗片并应用于140/105 GHz双频回旋管中,在140 GHz频率下回旋管实现了850 kW的稳定功率输出,窗片损耗约0.11%;在105 GHz频率下实现了760 kW的稳定功率输出,窗片损耗约0.15%。实验数据计算结果表明,研制的1.8 mm厚、tanδ=3.8×10^(-5)的金刚石窗片可满足1.5 MW长脉冲回旋管的应用需求。 展开更多

关键词 MPCVD 兆瓦级微波窗口 金刚石窗片 长脉冲大功率回旋管

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组合式金刚石修整器修整应用研究 被引量：4

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作者 尹翔 刘伟 苗苗 《超硬材料工程》 CAS 2019年第4期43-48,共6页

金刚石修整器是半导体制程中修整CMP抛光垫不可缺少的工具,半导体集成电路堆叠越来越密集,特征线宽越缩越小,新制程技术已迈入了7纳米制程,传统的金刚石修整器已不足以应付新工艺技术的需求。组合式金刚石修整器搭配特殊的钎焊技术及组... 金刚石修整器是半导体制程中修整CMP抛光垫不可缺少的工具,半导体集成电路堆叠越来越密集,特征线宽越缩越小,新制程技术已迈入了7纳米制程,传统的金刚石修整器已不足以应付新工艺技术的需求。组合式金刚石修整器搭配特殊的钎焊技术及组合调整方法,有效地为CMP制程提供了解决方案,透过大的不锈钢基座,搭配具有通孔的小研磨盘,可灵活运用于各阶段的化学机械抛光制程,以达到提升CMP整体制程效能,符合更小线宽的制程技术需求。 展开更多

关键词 金刚石修整器 化学机械抛光 钎焊技术

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类金刚石磁盘保护膜的性能、应用与制备 被引量：4

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作者 丁万昱 高鹏 +2 位作者 邓新绿 董闯 徐军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期41-46,49,共7页

类金刚石膜在磁盘和读写磁头之上形成一层关键的保护膜。磁存储密度的飞速发展可以使存储密度上限达到 1万亿字节 /英寸2 。这要求读写磁头距离磁盘更近 ,即需要一层仅 1nm～ 2nm厚的类金刚石薄膜。四面体结构的非晶碳膜能够满足磁存储... 类金刚石膜在磁盘和读写磁头之上形成一层关键的保护膜。磁存储密度的飞速发展可以使存储密度上限达到 1万亿字节 /英寸2 。这要求读写磁头距离磁盘更近 ,即需要一层仅 1nm～ 2nm厚的类金刚石薄膜。四面体结构的非晶碳膜能够满足磁存储技术的要求 ,即形成原子尺度平滑、连续、致密 ,只有几个原子层厚的碳膜。磁过滤阴极弧方法、等离子体增强化学气相沉积方法可用来制备符合要求的超薄碳膜。 展开更多

关键词 非晶碳膜 连续 类金刚石膜 原子 类金刚石薄膜 上限 磁存储 等离子体增强化学气相沉积 超薄 磁头

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超薄磁盘保护膜的制备技术 被引量：2

4

作者 李艳琴 丁万昱 +3 位作者 邓新绿 董闯 徐军 陈小猛 《真空》 CAS 北大核心 2005年第5期17-21,共5页

类金刚石薄膜和氮化硅薄膜都是性能很好的绝缘材料,可以用于对磁盘进行保护,在本文中主要讨论了它们各自的制备方法。随着巨磁阻读写磁头(g ian tm agneto-res istive heads)技术的引入,磁盘的存储密度以每年100%的速度在增加,这就要求... 类金刚石薄膜和氮化硅薄膜都是性能很好的绝缘材料,可以用于对磁盘进行保护,在本文中主要讨论了它们各自的制备方法。随着巨磁阻读写磁头(g ian tm agneto-res istive heads)技术的引入,磁盘的存储密度以每年100%的速度在增加,这就要求磁盘保护膜的厚度要尽量的小,所以对制备方法有一定的要求。对类金刚石磁盘保护膜,可以使用等离子体磁控溅射沉积、磁过滤阴极弧沉积、等离子体化学气相沉积来制备;对氮化硅磁盘保护膜,可以使用射频反应溅射沉积来制备。 展开更多

关键词 类金刚石 氮化硅 磁盘保护膜

原文传递

终极钻石盘的晶圆薄化特性研究

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作者 金旭星 《制造技术与机床》 北大核心 2013年第1期136-140,共5页

提出了晶圆薄化刀具的改进策略,终极钻石盘能减少晶圆薄化过程中的裂痕,可降低刀具的磨耗速度,并分别以加工参数影响实验、切削力与比切削能实验、刀具磨耗实验论证了终极钻石盘的移除机理及薄化特性。

关键词 终极钻石盘 晶圆薄化 切削 裂痕

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光盘模具镜面超精密抛光研究

6

作者 刘学璋 王柏春 《模具工业》 北大核心 2008年第10期66-69,共4页

为了获得超光滑光盘模具镜面,选用金刚石磨料抛光光盘模具。分析了金刚石粒度、分散介质与抛光盘硬度等因素对表面质量的影响。试验结果表明:采用0.1μm粒度的油性金刚石抛光液,硬度为20.8 HV的抛光盘,在合适的抛光工艺条件下可获得表... 为了获得超光滑光盘模具镜面,选用金刚石磨料抛光光盘模具。分析了金刚石粒度、分散介质与抛光盘硬度等因素对表面质量的影响。试验结果表明:采用0.1μm粒度的油性金刚石抛光液,硬度为20.8 HV的抛光盘,在合适的抛光工艺条件下可获得表面粗糙度Ra=0.57 nm,平面度Pv达到0.56μm的超光滑镜面。 展开更多

关键词 光盘模具 镜面 超精密抛光 金刚石

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金刚笔(碟片)修整砂轮型面的轨迹分析 被引量：1

7

作者 谢颖华 秦炜 周哲平 《精密制造与自动化》 2009年第1期19-20,共2页

用金刚笔(碟片)修整成形砂轮是成形磨削中的一个技术环节。对于金刚笔(碟片)修整成形砂轮中机床运动轨迹曲线进行了分析,认为轨迹线为工件轮廓线的法向偏置线,并对实例进行分析。

关键词 金刚笔 金刚碟片 修整砂轮 强力成形磨床

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类金刚石碳膜在硬磁盘中的应用 被引量：1

8

作者 周坤 曹伟民 周瑞花 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第1期58-61,65,共5页

射频离解烃制备了适用于５英寸计算机硬磁盘减摩、耐磨保护用的类金刚石碳膜。保护膜厚度不均匀性小于５％，硬度１５．２ＧＰａ，结合力３３１ＭＰａ。无润滑下头盘摩擦系数μ≤０．２６，脉动值Δμ≤０．０５。最佳效果是在添加润滑... 射频离解烃制备了适用于５英寸计算机硬磁盘减摩、耐磨保护用的类金刚石碳膜。保护膜厚度不均匀性小于５％，硬度１５．２ＧＰａ，结合力３３１ＭＰａ。无润滑下头盘摩擦系数μ≤０．２６，脉动值Δμ≤０．０５。最佳效果是在添加润滑油的组合润滑下得到，μ≤０．１４，Δμ≤０．０４．电磁动态特性和读写试验表明，４０ｎｍ类金刚石碳保护盘达到实用水平。 展开更多

关键词 类金刚石碳 保护膜 硬磁盘 减摩耐磨

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纳米金刚石中(Ⅰ/Ⅱ)复合裂纹的分子动力学研究 被引量：2

9

作者 张斌 董荣娟 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期672-676,共5页

利用基于第二代Brenner作用势的分子动力学方法,模拟单晶纳米金刚石在边界层圆盘模型近似(Ⅰ/Ⅱ)复合载荷作用下裂纹尖端微观结构演化,计算等效应力强度因子Keff。发现含(010)[100]裂纹和含(110)[110]裂纹的金刚石起裂时,裂纹端部具有... 利用基于第二代Brenner作用势的分子动力学方法,模拟单晶纳米金刚石在边界层圆盘模型近似(Ⅰ/Ⅱ)复合载荷作用下裂纹尖端微观结构演化,计算等效应力强度因子Keff。发现含(010)[100]裂纹和含(110)[110]裂纹的金刚石起裂时,裂纹端部具有不同的断裂模式,临界等效应力强度因子Kceff变化也不同;(010)[100]裂纹在加载复合角θ变化过程中Kceff很接近;而(110)[110]裂纹在θ>60°后,Kceff大幅增加,表明金刚石起裂的异向性质。 展开更多

关键词 单晶纳米金刚石 复合裂纹 边界层圆盘模型 分子动力学模拟

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钎焊微粉金刚石磨盘磨块排布研究 被引量：1

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作者 李全城 陈锐 《超硬材料工程》 CAS 2018年第3期25-32,共8页

研磨过程中磨块的排布对加工表面的质量起着不可忽视的作用。不同的磨块排布会对加工表面产生不同的加工效果。因此该研究拟通过采用仿真分析的方式对"对称排布"与"螺旋排布"(两种常用的钎焊微粉金刚石磨盘排布形式... 研磨过程中磨块的排布对加工表面的质量起着不可忽视的作用。不同的磨块排布会对加工表面产生不同的加工效果。因此该研究拟通过采用仿真分析的方式对"对称排布"与"螺旋排布"(两种常用的钎焊微粉金刚石磨盘排布形式)在定偏心磨削过程中工件材料的去除均匀性进行分析。仿真结果显示,"对称排布"的去除均匀性要优于"螺旋排布"。相关的硅片与氧化铝陶瓷研磨实验也随之进行。实验结果显示,在相同的加工条件下采用"对称排布"的磨盘进行研磨后的硅片与氧化铝陶瓷片的表面粗糙度与表面轮廓度更好,与仿真结果相一致。 展开更多

关键词 金刚石磨具 固结磨料研磨 均匀性 磨块排布 钎焊

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金刚石滚轮成形砂轮修整器的结构设计

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作者 孙燕燕 林东玲 +1 位作者 张宇 乔楠楠 《传动技术》 2010年第3期37-37,48,共2页

加工轴类工件时,经常会遇到尺寸精度要求高、表面粗糙度值小的各种圆弧的难加工问题,为了解决这一问题,本文提出采用成形磨削法进行圆弧的加工,并针对圆弧加工用的成形砂轮,设计出金刚石滚轮成形砂轮修整器。

关键词 成形磨削 金刚石滚轮 砂轮修整器

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类金刚石碳膜──软磁盘保护膜的性能

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作者 周坤遴 曹伟民 +1 位作者 周瑞花 黄代荣 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第5期355-359,共5页

射频离解烃方法制备了适用于作软磁盘保护层的类金刚石碳膜。在基本不影响盘原有电磁特性前提下，保护膜兼备良好的耐磨、抗高温高湿和防霉等功能。

关键词 类金刚石碳膜 软磁盘保护 耐磨损 抗湿热 防霉

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大尺寸低损耗金刚石窗片制备及微波窗口封接 被引量：1

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作者 李义锋 姜龙 +8 位作者 安晓明 葛新岗 张雅淋 仝婷婷 张平伟 刘晓晨 郭辉 任斌 孙振路 《真空电子技术》 2024年第5期78-82,共5页

为满足长脉冲大功率回旋管研制需求,采用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法合成大尺寸低损耗金刚石厚膜窗片;通过表面金属化和钎焊工艺进行微波窗口的封接。采用法布里-玻罗(Fabry-Perot)开放激励腔、激光导热仪、三维轮廓仪、激光干... 为满足长脉冲大功率回旋管研制需求,采用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法合成大尺寸低损耗金刚石厚膜窗片;通过表面金属化和钎焊工艺进行微波窗口的封接。采用法布里-玻罗(Fabry-Perot)开放激励腔、激光导热仪、三维轮廓仪、激光干涉仪等对金刚石窗片介电损耗、热导率、表面平坦度、粗糙度等性能参数进行了表征;采用氦质谱检漏仪、高功率长脉冲微波测试平台测试了窗口气密性和微波吸收特性。实验结果表明,抛光厚度1.36 mm的金刚石窗片具有高尺寸精度,热导率达到17.9~18.7 W·cm^(-1)·K^(-1);波导窗片介电损耗tanδ=1.76×10^(-4),回旋管窗片tanδ=2.6×10^(-4)。计算结果表明,在1 MW微波输入功率下波导窗损耗功率约2.34 kW,窗片中心热应力在安全数值内,相同损耗功率条件下回旋管窗口可承受至少680 kW的输出功率。 展开更多

关键词 直流电弧等离子体喷射 金刚石窗片 微波窗口

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涡旋压缩机涡旋盘的精加工 被引量：1

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作者 查谦 查世樑 《压缩机技术》 2012年第4期38-40,共3页

介绍涡旋盘现用加工工艺,因精度低所带来的缺点和一种高精度加工技术。

关键词 涡旋盘 润滑油膜 珩磨 金刚石珩磨轮

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磁过滤直流真空阴极弧制备类金刚石膜的结构和力学性能研究

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作者 祝土富 沈丽如 +1 位作者 徐桂东 金凡亚 《航空精密制造技术》 2008年第5期4-8,共5页

采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在硅片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜。检测结果表明,膜中存在着微米级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3键的含量为62.23%。所制备的薄膜具有典型的DLC膜Raman光谱特征,耐磨性能优良,膜与基体的... 采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在硅片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜。检测结果表明,膜中存在着微米级的大颗粒分布,膜厚为290nm,sp3键的含量为62.23%。所制备的薄膜具有典型的DLC膜Raman光谱特征,耐磨性能优良,膜与基体的结合性能良好。 展开更多

关键词 磁过滤真空阴极弧 DLC膜 RAMAN XPS 显微硬度计 摩擦磨损仪 洛氏硬度计

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