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In Deep UV Quantitative Analysis of Multi-Element Low Alloy Steel by Laser-Induced Breakdown Spectroscopy 被引量:4
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作者 Yong Xin Lanxiang Sun +3 位作者 Zhibo Cong Lifeng Qi Yang Li Zhijia Yang 《Journal of Computer and Communications》 2013年第7期19-22,共4页
The multi-element components of low alloy steel were quantified by using laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) in deep UV. The Nd:YAG pulsed laser was used to produce plasma. The spectrum was simultaneously obta... The multi-element components of low alloy steel were quantified by using laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) in deep UV. The Nd:YAG pulsed laser was used to produce plasma. The spectrum was simultaneously obtained by deep UV spectrometer. This paper studied the influence of experiment parameters on LIBS spectral intensity, such as delay, energy of laser, and the distance between the focusing lens and the surface of the sample. With the optimal expe- riment parameters, the characteristic lines of C, Ni, Si, Cr and Cu contained in low alloy steel were selected for quantit- ative analysis and the calibration curves of these elements were obtained. The linear correlation coefficient was good. Using the calibration curves to quantitative analysis for the sample 05-d, and the relative error of analytical results is less than 10% for most elements. 展开更多
关键词 LASER-INDUCED BREAKDOWN SPECTROSCOPY Plasma QUANTITATIVE Analysis deep uv
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Producing deep UV-LEDs in high-yield MOVPE by improving AlN crystal quality with sputtered AlN nucleation layer 被引量:1
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作者 Zejie Du Ruifei Duan +7 位作者 Tongbo Wei Shuo Zhang Junxi Wang Xiaoyan Yi Yiping Zeng Junxue Ran Jinmin Li Boyu Dong 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2017年第11期26-30,共5页
High-quality AlN layers with low-density threading dislocations are indispensable for high-efficiency deep ultraviolet light-emitting diodes(UV-LEDs). In this work, a high-temperature AlN epitaxial layer was grown o... High-quality AlN layers with low-density threading dislocations are indispensable for high-efficiency deep ultraviolet light-emitting diodes(UV-LEDs). In this work, a high-temperature AlN epitaxial layer was grown on sputtered AlN layer(used as nucleation layer, SNL) by a high-yield industrial metalorganic vapor phase epitaxy(MOVPE). The full width half maximum(FWHM) of the rocking curve shows that the AlN epitaxial layer with SNL has good crystal quality. Furthermore, the relationships between the thickness of SNL and the FWHM values of(002) and(102) peaks were also studied. Finally, utilizing an SNL to enhance the quality of the epitaxial layer, deep UV-LEDs at 282 nm were successfully realized on sapphire substrate by the high-yield industrial MOVPE. The light-output power(LOP) of a deep UV-LED reaches 1.65 mW at 20 mA with external quantum efficiency of 1.87%. In addition, the saturation LOP of the deep UV-LED is 4.31 mW at an injection current of 60 mA. Hence, our studies supply a possible process to grow commercial deep UV-LEDs in high throughput industrial MOVPE, which can increase yield, at lower cost. 展开更多
关键词 metalorganic vapor phase epitaxy aluminum nitride deep uv-LED
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一种高透过率,深截止的UVc波段(200~280nm)有机材料的研究(Ⅰ) 被引量:1
3
作者 吕文波 许强 +5 位作者 杜为民 吴思诚 叶学敏 赵太平 孟广政 宋增福 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期209-212,共4页
本文阐述了一种专用有机材料(粉末)在不同酸性溶液中的光谱特征,研究表明,这种材料在λ=252 nm处,透过率T=56.5%,带宽约为16nm,而在λ=290nm处有一个很强的吸收峰(ε>10L·(mol·cm)^(-1)),吸光度A_(280~298nm)>8,即透... 本文阐述了一种专用有机材料(粉末)在不同酸性溶液中的光谱特征,研究表明,这种材料在λ=252 nm处,透过率T=56.5%,带宽约为16nm,而在λ=290nm处有一个很强的吸收峰(ε>10L·(mol·cm)^(-1)),吸光度A_(280~298nm)>8,即透过率T_(280~298nm)<10^(-8)。这种有机材料在UVc波段(200~280nm)具有高透过率,深截止的明显特点。实验中还发现,通过调节溶剂的pH值和选取不同极性的溶剂,原来的两个吸收峰消失,而在λ=290nm处出现一个新的强吸收峰,并且透过峰可以在251~260nm范围内移位。利用材料的这种特征,再配合传统的镀膜和色玻璃技术,有可能制备出性能优良的紫外滤光片。 展开更多
关键词 有机材料 质子化 光谱特征 酸性溶液 紫外滤光片 紫外材料
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SDUV-FEL实验装置中的电源控制系统 被引量:1
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作者 赵欢 丁建国 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期57-61,共5页
SDUV-FEL是进行FEL新原理测试的实验装置,其电源控制系统是在EPICS系统架构下开发与集成实现的基于Ethernet的分布式控制系统。本文介绍了系统的基本结构与工作原理,描述了针对直接I/O控制模拟电源、数字化控制电源、GPIB接口电源设计... SDUV-FEL是进行FEL新原理测试的实验装置,其电源控制系统是在EPICS系统架构下开发与集成实现的基于Ethernet的分布式控制系统。本文介绍了系统的基本结构与工作原理,描述了针对直接I/O控制模拟电源、数字化控制电源、GPIB接口电源设计的控制方案,以及基于嵌入式系统的IOC控制器开发、电源控制实时数据库和图形化操作界面的设计。在已进行的多项FEL实验中,电源控制系统的性能得到了充分检验。 展开更多
关键词 上海深紫外自由电子激光 磁铁电源 EPICS 控制系统
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A 4×4 metal-semiconductor-metal rectangular deep-ultraviolet detector array of Ga_(2)O_(3)photoconductor with high photo response 被引量:2
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作者 Zeng Liu Yu-Song Zhi +8 位作者 Mao-Lin Zhang Li-Li Yang Shan Li Zu-Yong Yan Shao-Hui Zhang Dao-You Guo Pei-Gang Li Yu-Feng Guo Wei-Hua Tang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第8期700-704,共5页
A 4×4 beta-phase gallium oxide(β-Ga_(2)O_(3))deep-ultraviolet(DUV)rectangular 10-fingers interdigital metalsemiconductor-metal(MSM)photodetector array of high photo responsivity is introduced.The Ga2O_(3)thin fi... A 4×4 beta-phase gallium oxide(β-Ga_(2)O_(3))deep-ultraviolet(DUV)rectangular 10-fingers interdigital metalsemiconductor-metal(MSM)photodetector array of high photo responsivity is introduced.The Ga2O_(3)thin film is prepared through the metalorganic chemical vapor deposition technique,then used to construct the photodetector array via photolithography,lift-off,and ion beam sputtering methods.The one photodetector cell shows dark current of 1.94 p A,phototo-dark current ratio of 6×10_(7),photo responsivity of 634.15 A·W^(-1),specific detectivity of 5.93×1011cm·Hz1/2·W^(-1)(Jones),external quantum efficiency of 310000%,and linear dynamic region of 108.94 d B,indicating high performances for DUV photo detection.Furthermore,the 16-cell photodetector array displays uniform performances with decent deviation of 19.6%for photo responsivity. 展开更多
关键词 Ga_(2)O_(3) array photodetector MOCVD deep uv detection
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深水AUV安全系统的设计与实现 被引量:3
6
作者 李一博 王雪森 靳世久 《船舶工程》 北大核心 2013年第5期59-63,共5页
安全性是自主式水下机器人(AUV)系统研究的重要内容。为解决传统设计只能对预先估计和实时监测故障做出反应等问题,依托实体深水AUV,设计出一套新的安全系统,构建主控单元和应急模块的安全冗余结构。主控单元选用基于PC/104总线的工控... 安全性是自主式水下机器人(AUV)系统研究的重要内容。为解决传统设计只能对预先估计和实时监测故障做出反应等问题,依托实体深水AUV,设计出一套新的安全系统,构建主控单元和应急模块的安全冗余结构。主控单元选用基于PC/104总线的工控机设计,应急模块采用C8051F410设计。大量模拟故障仿真实验和AUV实际下水实验表明,该安全系统不仅扩大了故障或危险的应对范围,而且将各应急情况下AUV的抛载执行率提高至100%,可有效保障AUV系统的安全。 展开更多
关键词 深水Auv 安全系统 主控单元 应急模块
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Fenton试剂和UV-Fenton试剂深度处理垃圾渗滤液 被引量:16
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作者 邹长伟 万金保 +1 位作者 彭希珑 黄虹 《江西科学》 2004年第4期246-249,共4页
研究了Fenton试剂和紫外光(UV)_Fenton试剂联合深度处理垃圾渗滤液的最佳工艺条件,并对它们的处理效果进行比较,结果表明,最佳工艺条件是:H2O2量相当于COD耗氧值的1.5倍(即H2O2为0.96g/L)、pH值为3、FeSO4·7H2O的浓度为3.6×1... 研究了Fenton试剂和紫外光(UV)_Fenton试剂联合深度处理垃圾渗滤液的最佳工艺条件,并对它们的处理效果进行比较,结果表明,最佳工艺条件是:H2O2量相当于COD耗氧值的1.5倍(即H2O2为0.96g/L)、pH值为3、FeSO4·7H2O的浓度为3.6×10-4mol/L(即100mg/L)、反应时间120min。在最佳工艺条件下,UV_Fenton试剂联合处理渗滤液COD去除率达71.5%,比Fenton试剂单独处理时COD去除率提高了13%。 展开更多
关键词 紫外光(uv) FENTON试剂 垃圾渗滤液 深度处理
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基于UV贴图优化人体特征的行人重识别 被引量:2
8
作者 徐智明 戚湧 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期83-88,95,共7页
现有行人重识别研究大多关注人体在二维平面的特征表示,而在现实社会中,人体以一种对称的三维结构存在,三维人体结构相较二维平面像素含有更多的体型、姿态等特征,仅研究二维平面上的行人特征限制了计算机对人体特征的理解。利用人体是... 现有行人重识别研究大多关注人体在二维平面的特征表示,而在现实社会中,人体以一种对称的三维结构存在,三维人体结构相较二维平面像素含有更多的体型、姿态等特征,仅研究二维平面上的行人特征限制了计算机对人体特征的理解。利用人体是一种三维对称的刚体结构这一先验事实,提出一种基于UV贴图优化人体特征的行人重识别方法。对图像底库进行数据预处理,通过数据增广方法生成更多的训练数据,对预处理后的图片进行特征提取,将特征矩阵解耦为姿态、色彩、形状以及视角参数,利用参数信息调整预定义的人体模型以得到重构后的三维人体模型。将重构后的三维人体模型转化为UV贴图,即将人体特征从三维空间映射到二维平面,同时对UV贴图进行优化从而丰富人体特征。使用UV贴图训练三维行人重识别网络模型,利用后处理的方法对输出结果做进一步优化,以得到最终的行人重识别结果。在Market-1501数据集上的实验结果表明,该方法的rank-1准确率和mAP分别达到94.76%和82.53%,相较OG-Net模型分别提升13.82%和22.56%。 展开更多
关键词 计算机视觉 深度学习 行人重识别 三维重构 uv贴图
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臭氧氧化耦合UV/H_(2)O_(2)工艺用于污水厂提标扩容工程 被引量:2
9
作者 於仲清 赵乐浒 +4 位作者 张俊杰 薛攀 陈桐 顾艳梅 叶青徽 《中国给水排水》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期60-65,共6页
安徽某污水处理厂现状规模为6.0×10^(4) m^(3)/d,一、二期建设规模均为3.0×10^(4) m^(3)/d,二级生化工艺分别采用“厌氧池+Orbal氧化沟”和A^(2)/O工艺,一期、二期生化出水汇合后进入“混合絮凝三沉池+V型滤池”深度处理流程... 安徽某污水处理厂现状规模为6.0×10^(4) m^(3)/d,一、二期建设规模均为3.0×10^(4) m^(3)/d,二级生化工艺分别采用“厌氧池+Orbal氧化沟”和A^(2)/O工艺,一期、二期生化出水汇合后进入“混合絮凝三沉池+V型滤池”深度处理流程,出水水质执行一级A排放标准。提标扩容工程需扩容3.0×10^(4) m^(3)/d,且出水水质执行地表水准Ⅳ类标准,其中COD、氨氮及总磷执行《地表水环境质量标准》(GB 3838—2002)Ⅳ类标准,其余指标执行一级A标准。扩容工程二级生化处理采用A^(2)/O工艺,深度处理采用“混合絮凝三沉池+反硝化深床滤池+臭氧氧化耦合UV/H_(2)O_(2)”工艺,其中,一、二期的V型滤池出水也进入臭氧氧化耦合UV/H_(2)O_(2)工艺处理。鉴于该污水厂上游接入两个工业园区污水处理厂出水,因此针对难降解COD采用了臭氧氧化耦合UV/H_(2)O_(2)工艺,同时臭氧氧化兼具消毒作用,节省了投资和用地。实际运行结果表明,出水水质达到设计标准。 展开更多
关键词 准Ⅳ类标准 混凝沉淀 反硝化深床滤池 臭氧氧化耦合uv/H_(2)O_(2)工艺 提标改造
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丙烯酸改性邻甲酚醛环氧树脂的制备及深层光固化行为
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作者 王伟 余林潘 +3 位作者 李忠安 翟世民 戚栋明 汪继承 《现代纺织技术》 北大核心 2025年第10期37-48,共12页
针对丙烯酸树脂在紫外光固化过程中存在的深层固化程度不足、热机械性能欠佳及附着力较差等问题,以邻甲酚醛环氧树脂和丙烯酸为原料,通过开环反应成功合成了一种新型光敏性邻甲酚醛环氧丙烯酸树脂(EOA)。以EOA作为主体树脂,系统研究了... 针对丙烯酸树脂在紫外光固化过程中存在的深层固化程度不足、热机械性能欠佳及附着力较差等问题,以邻甲酚醛环氧树脂和丙烯酸为原料,通过开环反应成功合成了一种新型光敏性邻甲酚醛环氧丙烯酸树脂(EOA)。以EOA作为主体树脂,系统研究了Ⅰ型引发剂907和Ⅱ型引发剂ITX对EOA固化膜表层及深层双键转化率、热力学性能、铅笔硬度和附着力的协同影响机制。结果表明:当引发剂907与ITX以10∶1的比例复配且总质量分数为4%时,EOA光固化膜表现出优异的综合性能。其中,深层双键转化率达到76.2%,较单独使用907时提升了22.1%;玻璃化转变温度(T_(g))提升至161.6℃,增幅达9.1%;储能模量达到3259.5 MPa,提高了21.1%。同时,固化膜的铅笔硬度达到5 H,附着力为0级,各项性能指标均得到显著改善。研究结果可为开发高性能紫外光固化材料提供新的思路和方法。 展开更多
关键词 邻甲基酚醛环氧树脂 紫外光固化 深层固化 光固化动力学
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深空导航Ka频段相位参考干涉测量设计与分析
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作者 徐得珍 李海涛 +1 位作者 陈少伍 李赞 《航天工程大学学报》 2025年第5期60-65,共6页
针对深远空间探测Ka频段测控场景和高精度导航需求,开展了相位参考干涉测量总体设计和性能分析。在良好天气、高仰角条件下开展观测,轮询观测周期可取为2 min,参考源角距需小于1°;通过提高通道宽带、带宽综合弥补了射电源流量密度... 针对深远空间探测Ka频段测控场景和高精度导航需求,开展了相位参考干涉测量总体设计和性能分析。在良好天气、高仰角条件下开展观测,轮询观测周期可取为2 min,参考源角距需小于1°;通过提高通道宽带、带宽综合弥补了射电源流量密度小的不足。基于我国干涉测量网和深空测控设备组成的8站观测网,Ka频段相位参考干涉测量的测角精度预计达0.12~0.23 mas,较X频段约1 mas提升显著,可望有效提高定轨预报精度。 展开更多
关键词 深空测控 深远空间 相位参考干涉测量 uv覆盖 误差预算
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PDES基高透明离子导电弹性体的制备及性能研究
12
作者 曾锦毓 何明辉 陈广学 《影像科学与光化学》 2025年第4期5-14,共10页
目的:本研究旨在通过UV光聚合方式制备出一种兼具高机械强度、良好导电性、可自修复性和高透明度的离子导电弹性体(ionic conductive elastomers,ICEs),以满足柔性电子器件对材料性能的高要求。方法:基于可聚合低共熔溶剂(PDES),采用环... 目的:本研究旨在通过UV光聚合方式制备出一种兼具高机械强度、良好导电性、可自修复性和高透明度的离子导电弹性体(ionic conductive elastomers,ICEs),以满足柔性电子器件对材料性能的高要求。方法:基于可聚合低共熔溶剂(PDES),采用环保、高效的UV光聚合方式,在特定条件下(25℃温度下,照射2 min,使用光引发剂2959)成功制备出该材料。结果:本研究制备的ICEs具有优异的机械性能(韧性高达22.66 MJ/m^(3),远超现有部分材料)、良好的导电性(电导率为1.01 mS/m,满足电子器件导电需求)、显著的自修复性(自修复24 h后韧性可达4.11 MJ/m^(3),有效延长使用寿命)和高透明度(可见光内透过率可达92%以上,适用于透明电子器件)。将该弹性体组装成柔性应变传感器对人体运动进行监测,结果显示传感器具有良好的电学稳定性和高灵敏度,能够快速响应并准确记录人体运动信号。结论:本研究制备的ICEs在柔性可穿戴设备领域展现出巨大的应用潜力,有望为电子垃圾的减少和柔性电子器件的可持续发展做出贡献。 展开更多
关键词 uv光聚合 可聚合低共熔溶剂 离子导电弹性体 自修复 柔性应变传感器
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深度学习辅助毒剂模拟剂紫外拉曼光谱的识别技术研究
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作者 李飞 闫灿灿 +1 位作者 张旭 张琳 《防化研究》 2025年第4期52-59,共8页
紫外拉曼光谱技术具有荧光效应弱、响应时间短、信号强度高、无损远程检测等优势,适用于化学侦察、公共安全、应急救援等领域。本研究采用266 nm的紫外拉曼光谱系统对7种毒剂模拟剂开展了系统性光谱采集,设计了基于注意力机制的卷积神... 紫外拉曼光谱技术具有荧光效应弱、响应时间短、信号强度高、无损远程检测等优势,适用于化学侦察、公共安全、应急救援等领域。本研究采用266 nm的紫外拉曼光谱系统对7种毒剂模拟剂开展了系统性光谱采集,设计了基于注意力机制的卷积神经网络,实现了对紫外拉曼光谱数据的高效特征学习,对7种毒剂模拟剂的识别准确率达98.92%,较传统机器学习算法提升了0.83%~15.73%。紫外拉曼光谱与深度学习的结合,为毒剂识别提供了较为准确的解决方案,可满足现场快速识别的实际需求。 展开更多
关键词 深度学习 紫外拉曼光谱 毒剂模拟剂 卷积神经网络
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酸性低共熔溶剂预处理桉木制备木质素基复合膜及其性能研究
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作者 李小虎 潘晓晨 +3 位作者 袁璐璐 陈学萍 侯庆喜 王汉敏 《生物质化学工程》 2025年第5期72-80,共9页
本研究通过氯化胆碱(ChCl)/乳酸(LA)、ChCl/丙三醇(Gly)、ChCl/乙酸(AA)3种酸性低共熔溶剂(DES)从桉木中提取得到3种木质素,并将其与聚己二酸/对苯二甲酸丁二醇酯(PBAT)熔融共混制备木质素/PBAT复合膜材料。对木质素的分子结构、物化性... 本研究通过氯化胆碱(ChCl)/乳酸(LA)、ChCl/丙三醇(Gly)、ChCl/乙酸(AA)3种酸性低共熔溶剂(DES)从桉木中提取得到3种木质素,并将其与聚己二酸/对苯二甲酸丁二醇酯(PBAT)熔融共混制备木质素/PBAT复合膜材料。对木质素的分子结构、物化性质和复合膜材料的性能进行研究,结果表明:在相同温度下,3种酸性DES体系处理得到的木质素的分子质量大小关系满足ChCl/LA>ChCl/Gly>ChCl/AA,在相同溶剂体系下,温度越高,得到木质素的分子质量越大,其热稳定性越高。此外,木质素的紫外光吸收性能与其结构具有高度相关性。酸性DES溶剂中的游离羧基与木质素中的羟基发生反应形成酯键,促使木质素与PBAT之间的可混性增加。木质素基复合膜具有优异的紫外光阻隔性,木质素的质量为木质素与PBAT总质量的30%制备的木质素/PBAT复合膜,其对紫外光的阻隔效果≥99.9%。与纯PBAT膜相比,木质素/PBAT复合膜的疏水性更高;依据国家标准GB/T 29646—2013,当断裂伸长率≥200%、拉伸强度≥13 MPa时,可以满足包装材料的应用标准,10%LA120/90%PBAT、10%LA140/90%PBAT、20%LA140/80%PBAT、10%Gly/90%PBAT、20%Gly/80%PBAT、30%Gly/70%PBAT复合膜都具有很好的机械强度(拉伸强度14.1~19.7 MPa,断裂伸长率828%~1029%),满足包装膜材料的应用标准。 展开更多
关键词 木质素 PBAT 酸性低共熔溶剂 复合膜材料 紫外光阻隔
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深度学习在化学计量检测中的应用
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作者 马在强 侯学军 +5 位作者 张江浩 张昕 翟丛丛 赵燕 赵晓刚 刘霞 《宇航计测技术》 2025年第1期13-19,共7页
深度学习在化学计量检测中的应用日益受到广泛关注,尤其是在与光谱技术相关的领域。光谱分析技术,作为化学计量学的重要组成部分,长期以来在分子分析、结构鉴定、定量测量等方面扮演着关键角色。随着深度学习算法和计算能力的不断发展,... 深度学习在化学计量检测中的应用日益受到广泛关注,尤其是在与光谱技术相关的领域。光谱分析技术,作为化学计量学的重要组成部分,长期以来在分子分析、结构鉴定、定量测量等方面扮演着关键角色。随着深度学习算法和计算能力的不断发展,传统的光谱数据分析方法面临的挑战逐渐得到有效应对。该研究综述了深度学习在四大主要光谱技术—红外光谱、紫外光谱、核磁共振和质谱中的应用现状、技术优势以及未来发展趋势,分析了深度学习如何通过大数据训练、自动化特征提取、非线性建模等方法,提升光谱分析的精度和效率。随着计算能力的提升、深度学习模型的进一步优化以及大数据的不断积累,深度学习在化学计量检测中的应用,尤其是在光谱分析领域,正朝着更加智能化、自动化的方向发展,为化学分析技术带来革命性的变革,为科学研究和工业应用提供了强有力的支持。 展开更多
关键词 深度学习 化学计量学 红外光谱 紫外光谱 核磁共振 质谱
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高Al组分AlGaN多量子阱结构材料发光机制探讨 被引量:6
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作者 李金钗 季桂林 +5 位作者 杨伟煌 金鹏 陈航洋 林伟 李书平 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期513-518,共6页
紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外... 紫外LED的发光功率和效率还远不能令人们满意,波长短于300 nm的深紫外LED的发光效率普遍较低。厘清高Al组分Al Ga N多量子阱结构的发光机制将有利于探索改善深紫外LED的发光效率的新途径、新方法。为此,本文通过金属有机气相外延技术外延生长了表面平整、界面清晰可辨且陡峭的高Al组分AlGa N多量子阱结构材料,并对其进行变温光致发光谱测试,结合数值计算,深入探讨了Al Ga N量子阱的发光机制。研究表明,量子阱中具有很强的局域化效应,其发光和局域激子的跳跃息息相关,而发光的猝灭则与局域激子的解局域以及位错引起的非辐射复合有关。 展开更多
关键词 ALGAN 多量子阱结构 深紫外LED 发光机制
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紫外烟气分析仪多参数测量误差的深度学习自校准模型研究
17
作者 许俊兴 《仪器仪表用户》 2025年第9期4-6,共3页
针对紫外烟气分析仪在高湿低浓度工况下的多参数测量误差,本文提出基于卷积神经网络与注意力机制的深度学习自校准模型。通过现场与实验室数据验证,该模型可对SO_(2)、NO、NO_(2)、NH_(3)等浓度进行动态修正,显著提升检测精度与鲁棒性,... 针对紫外烟气分析仪在高湿低浓度工况下的多参数测量误差,本文提出基于卷积神经网络与注意力机制的深度学习自校准模型。通过现场与实验室数据验证,该模型可对SO_(2)、NO、NO_(2)、NH_(3)等浓度进行动态修正,显著提升检测精度与鲁棒性,适用于排放监测与氨逃逸控制。 展开更多
关键词 紫外差分吸收光谱 多组分误差校准 深度学习模型
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248nm深紫外光刻胶 被引量:9
18
作者 郑金红 黄志齐 侯宏森 《感光科学与光化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期346-356,共11页
本文从化学增幅技术的产生,深紫外248nm胶主体树脂及PAG发展历程、溶解抑制剂、存在的工艺问题及解决途径多个方面综述了深紫外248nm胶的发展与进步.
关键词 化学增幅 KRF激光 深紫外光刻 248 nm光刻胶 主体树脂 酸催化 光致产酸剂
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聚羟基苯乙烯在光致抗蚀剂中的应用及其合成 被引量:7
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作者 刘建国 郑家燊 李平 《感光科学与光化学》 EI CAS CSCD 2006年第1期67-74,共8页
主要综述了聚羟基苯乙烯用作深紫外光致抗蚀剂主体成膜树脂的发展历程、应用现状以及一些最新的研究进展,并简要介绍了聚羟基苯乙烯的单体衍生物及其聚合物的制备方法.
关键词 聚羟基苯乙烯 深紫外光致抗蚀剂 主体成膜树脂
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离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 被引量:3
20
作者 时光 梅林 +2 位作者 高劲松 张立超 张玲花 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期592-595,共4页
为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜... 为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜。首先,利用光度法得出3种方法镀制LaF3薄膜在185nm~800nm范围内的折射率n和消光系数k。然后,采用原子力显微镜对薄膜表面粗糙度进行了测量。最后,薄膜的微结构使用X射线衍射仪进行了分析。结果表明,离子束溅射镀制的LaF3薄膜折射率最高、表面粗糙度最低,但吸收较大;电子束蒸发法虽然吸收最小,但是折射率偏低且表面粗糙度较高;热舟蒸发法镀制的LaF3薄膜无论折射率、消光系数还是表面粗糙度都处于3种方法中间位置。综合各项指标,热舟蒸发法最适合于沉积深紫外LaF3薄膜。 展开更多
关键词 薄膜 LAF3 热蒸发 离子束溅射 深紫外
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