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Ti(Cr)缓冲层对用于垂直磁记录材料CoCrTa介质磁特性和微结构的影响 被引量:1
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作者 甄聪棉 马丽 +2 位作者 张金娟 刘英 聂向富 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期1730-1734,共5页
利用直流对靶磁控溅射技术在单晶Si衬底上制备了C/CoCrTa/X(X=Cr,Ti)介质材料.分别采用振动样品磁强计、X射线衍射仪、扫描探针显微镜对样品的磁性、微结构等进行了测试分析.研究发现,Ti缓冲层有利于样品中Co晶粒的易轴垂直于膜面生长.... 利用直流对靶磁控溅射技术在单晶Si衬底上制备了C/CoCrTa/X(X=Cr,Ti)介质材料.分别采用振动样品磁强计、X射线衍射仪、扫描探针显微镜对样品的磁性、微结构等进行了测试分析.研究发现,Ti缓冲层有利于样品中Co晶粒的易轴垂直于膜面生长.以Ti为缓冲层的样品,颗粒尺寸和表面粗糙度较小,而且磁畴明显,说明以Ti为缓冲层的薄膜样品更适宜做垂直磁记录. 展开更多
关键词 cocrta 垂直磁记录 缓冲层 微结构
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