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基于 CFDRC 的感应耦合等离子体离子数密度空间分布仿真
被引量：
4
1
作者
赵文锋
杨洲
+2 位作者
王卫星
吴伟斌
肖诺骏
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期206-211,共6页
为研究感应耦合等离子体(ICP)沉积装置放电腔与线圈结构以及工艺参数对等离子体分布的影响,基于商业软件CFDRC中等离子体与电磁场模块建立了ICP沉积装置2维放电模型。在典型的ICP反应器中,等离子体反应主要由电子、重粒子间的碰撞来决...
为研究感应耦合等离子体(ICP)沉积装置放电腔与线圈结构以及工艺参数对等离子体分布的影响,基于商业软件CFDRC中等离子体与电磁场模块建立了ICP沉积装置2维放电模型。在典型的ICP反应器中,等离子体反应主要由电子、重粒子间的碰撞来决定。利用不带电的流体模型求解分子、原子和基团等中性粒子的动量和质量守恒方程,而对离子带电粒子,考虑电场力的作用来求解动量方程;电子通量密度的计算是通过求解漂移扩散近似方程而获得的。通过此方法仿真研究了典型工艺条件下(气压0.25 Pa,功率90 W,体积流量120 L/s)等离子体离子数密度的空间分布,对比了不同功率(20、60、90、150 W)、不同抽气体积流量(60、100、140、160 L/s)条件下放电腔内ICP等离子体参数的变化规律。模拟结果表明:离子数密度随体积流量的增加而大幅度增加,随功率的增加而缓慢增加;空间离子数密度峰值出现在放电腔中心区域,随体积流量的增大而逐渐下移。
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关键词
感应耦合等离子体
ICP
离子数密度
空间分布
CFD仿真
流体模型
cfdrc
原文传递
题名
基于 CFDRC 的感应耦合等离子体离子数密度空间分布仿真
被引量：
4
1
作者
赵文锋
杨洲
王卫星
吴伟斌
肖诺骏
机构
华南农业大学工程学院
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期206-211,共6页
基金
广东省高等学校高层次人才项目(粤财教[2011]431号)
广东省育苗工程项目(LYM11031)~~
文摘
为研究感应耦合等离子体(ICP)沉积装置放电腔与线圈结构以及工艺参数对等离子体分布的影响,基于商业软件CFDRC中等离子体与电磁场模块建立了ICP沉积装置2维放电模型。在典型的ICP反应器中,等离子体反应主要由电子、重粒子间的碰撞来决定。利用不带电的流体模型求解分子、原子和基团等中性粒子的动量和质量守恒方程,而对离子带电粒子,考虑电场力的作用来求解动量方程;电子通量密度的计算是通过求解漂移扩散近似方程而获得的。通过此方法仿真研究了典型工艺条件下(气压0.25 Pa,功率90 W,体积流量120 L/s)等离子体离子数密度的空间分布,对比了不同功率(20、60、90、150 W)、不同抽气体积流量(60、100、140、160 L/s)条件下放电腔内ICP等离子体参数的变化规律。模拟结果表明:离子数密度随体积流量的增加而大幅度增加,随功率的增加而缓慢增加;空间离子数密度峰值出现在放电腔中心区域,随体积流量的增大而逐渐下移。
关键词
感应耦合等离子体
ICP
离子数密度
空间分布
CFD仿真
流体模型
cfdrc
Keywords
inductively coupled plasma
ICP
ion number density
spatial distribution
CFD simulation
flow module
cfdrc
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
O461 [理学—电子物理学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于 CFDRC 的感应耦合等离子体离子数密度空间分布仿真
赵文锋
杨洲
王卫星
吴伟斌
肖诺骏
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
原文传递
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