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O_2+HCl气氛中CZSi的IG处理
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作者 张维连 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第3期53-54,49,共3页
高纯氧加少量HCl气氛中进行CZSi的IG处理,对抑制硅片表面热氧化层错和钝化Na^+等有良好效果,而对洁净区的形成与厚度影响不大。
关键词 O+HCl c2si IG处理 集成电路
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C_(58)Si_2的几何结构和电子结构研究 被引量:1
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作者 吴海平 邓开明 杨金龙 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期194-198,共5页
采用密度泛涵BLYP/6 - 31 1G和杂化密度泛涵B3LYP/6 - 31 1G方法 ,对C5 8Si2 的几何结构和电子结构进行系统研究。发现在C5 8Si2 的同素异形体中 ,2个Si原子位于六边形对角位置时 (C5 8Si2 - 6 )比 2个Si原子位于五边形对角位置时(C5 8S... 采用密度泛涵BLYP/6 - 31 1G和杂化密度泛涵B3LYP/6 - 31 1G方法 ,对C5 8Si2 的几何结构和电子结构进行系统研究。发现在C5 8Si2 的同素异形体中 ,2个Si原子位于六边形对角位置时 (C5 8Si2 - 6 )比 2个Si原子位于五边形对角位置时(C5 8Si2 - 5)的能量低 0 .1 1eV ,是C5 8Si2 的基态几何结构。C5 8Si2 同C60 相比 ,只是在Si原子附近原子间的间距有较为明显的变化 ,其它部分基本保持C60 的构型。在电子结构方面 ,由于C5 8Si2 - 6具有Cs 对称性 ,所以使原先的能级简并度消除 ,LUMO能级下降 ,HOMO能级上升 ,HOMO与LUMO间的能隙变小 ;每个Si原子均失去 1 .1 2 2e的电荷 ,主要转移到Si—C键上的 3个邻近的C原子上 ,使C5 8Si2 中的Si—C化学键受到极化 ,束缚能增大。 展开更多
关键词 C58Si2 几何结构 电子结构
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机械合金化合成Ti_3AlC_2导电陶瓷 被引量:2
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作者 刘可心 金松哲 《长春工业大学学报》 CAS 2012年第1期106-110,共5页
以Ti,Al和C单质作为原料,通过机械合金化制备出了Ti3AlC2粉体,并对其结构和成分进行了表征。研究了添加少量Si对其合成过程和合成产物的影响。结果表明,采用机械合金化方法可合成Ti3AlC2,合成产物中除了粉体外还有块体,其中粉体和块体... 以Ti,Al和C单质作为原料,通过机械合金化制备出了Ti3AlC2粉体,并对其结构和成分进行了表征。研究了添加少量Si对其合成过程和合成产物的影响。结果表明,采用机械合金化方法可合成Ti3AlC2,合成产物中除了粉体外还有块体,其中粉体和块体产物中Ti3AlC2的含量几乎相似,大约为86wt%;通过掺杂适量的Si,可以促进Ti3AlC2的形成,产物中所得Ti3AlC2的含量分别高达94.2wt%和95.1wt%,同时还形成了Ti3Al(Si)C2固溶体。 展开更多
关键词 机械合金化 TI3ALC2 Ti3Al(Si)C2固溶体
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MoO2/C共包覆Si/石墨复合锂离子电池负极材料的研究 被引量:7
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作者 尹红 周丹 +2 位作者 丛丽娜 谢海明 仇永清 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1990-1994,共5页
采用溶胶-凝胶法,用二氧化钼(MoO2)和C共同包覆Si/石墨粒子制备了Si/石墨/MoO2/C锂离子电池负极材料.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、循环伏安(CV)和电化学阻抗(EIS)等分析了材料的形貌和性质.结果表明... 采用溶胶-凝胶法,用二氧化钼(MoO2)和C共同包覆Si/石墨粒子制备了Si/石墨/MoO2/C锂离子电池负极材料.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、循环伏安(CV)和电化学阻抗(EIS)等分析了材料的形貌和性质.结果表明,MoO2/C的共包覆在缓解材料体积膨胀的同时提高了材料的电子和离子电导率,进而提高了材料的电化学性能.复合材料的首次充电比容量为2494mA·h/g,首次库仑效率为72%,经过100次循环后比容量为636.6mA·h/g. 展开更多
关键词 MoO2/C共包覆Si/石墨 锂离子电池 溶胶-凝胶法 负极材料
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类单晶硅结构Si(C≡C―C_6H_4―C≡C)_4新材料的力学与光学性质:第一性原理研究 被引量:2
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作者 方磊 孙铭骏 +1 位作者 曹昕睿 曹泽星 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2018年第3期296-302,共7页
基于单晶硅中Si的四面体成键特征及对其结构单元的替换修饰,我们设计了一种类单晶硅结构的新材料-C_(40)H_(16)Si_2。通过广泛的第一性原理计算,研究了这类材料的电子性质、力学性质和光学性质。计算结果表明,这种新材料具有好的热力学... 基于单晶硅中Si的四面体成键特征及对其结构单元的替换修饰,我们设计了一种类单晶硅结构的新材料-C_(40)H_(16)Si_2。通过广泛的第一性原理计算,研究了这类材料的电子性质、力学性质和光学性质。计算结果表明,这种新材料具有好的热力学稳定性和机械稳定性。该材料的禁带宽度为3.32 eV,价带底和导带顶都位于Gamma点,是直接带隙宽禁带半导体材料。该材料的维氏硬度和密度非常小,不到单晶硅的十分之一,是一类低密度的柔性多孔材料。此外,该材料在紫外光区有强的吸收,有望应用于蓝绿光发光二极管。 展开更多
关键词 第一性原理计算 C40H16Si2半导体材料 低密度 柔性材料 光学性质
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C(膜)/Si(SiO_2)(纳米微粒)/C(膜)的XPS及Raman谱测试分析 被引量:1
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作者 邱晓燕 李建 《西南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期230-233,共4页
X射线光电子能谱测试(XPS)分析C(膜)/Si(SiO2)(纳米微粒)/C(膜)样品发现:把400℃退火后的样品继续加热到650℃并退火1h后,样品中除原有的Si晶体外,生成了SiC晶体,同时还出现了SiO2晶体,这表明一部分Si与C反应生成SiC的同时,氧气的氧化... X射线光电子能谱测试(XPS)分析C(膜)/Si(SiO2)(纳米微粒)/C(膜)样品发现:把400℃退火后的样品继续加热到650℃并退火1h后,样品中除原有的Si晶体外,生成了SiC晶体,同时还出现了SiO2晶体,这表明一部分Si与C反应生成SiC的同时,氧气的氧化作用占主导地位,把大部分Si氧化成了SiO2.对比分析在650℃和750℃退火后样品的Raman谱发现:随着加热温度的升高,SiC与Si含量增加而SiO2含量减少.这表明:在750℃时,C原子的还原作用继400℃后再次占主导地位,又把一部分SiO2还原成Si. 展开更多
关键词 C/S2(Si02)/C 碳膜 二氧化硅 碳纳米微粒 碳化硅 X射线光电子能谱 RAMAN谱 硅基发光材料
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静电纺丝制备一维结构Si/TiO_2/C负极复合材料及性能研究 被引量:1
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作者 曲登科 郑雨露 +5 位作者 邵渭泉 陈沙鸥 郭晓杰 何丽珠 李延强 化梦梦 《中国陶瓷》 CSCD 北大核心 2017年第8期59-63,共5页
研究通过静电纺丝工艺制备了锂离子电池负极复合材料Si/TiO_2/C,研究了硅与二氧化钛比例对其电化学性能的影响,发现Si与TiO_2摩尔比为1∶4的样品在0.1 C倍率循环50圈之后的比容量为322.8 mAh·g^(-1),优于其他比例样品,同时,交流阻... 研究通过静电纺丝工艺制备了锂离子电池负极复合材料Si/TiO_2/C,研究了硅与二氧化钛比例对其电化学性能的影响,发现Si与TiO_2摩尔比为1∶4的样品在0.1 C倍率循环50圈之后的比容量为322.8 mAh·g^(-1),优于其他比例样品,同时,交流阻抗谱(EIS)表明,该样品内阻明显低于其它样品。扫描电镜观察发现硅颗粒分散于一维棒状锐钛矿氧化钛之间,其充放电过程中较大的体积膨胀得到缓冲,同时碳的存在提高了复合材料的电导率,因此从整体上改善了所制备复合材料的电化学性能。 展开更多
关键词 锂离子电池负极材料 Si/TiO2/C 静电纺丝 一维结构
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Y_5Si_3C and Y_3Si_2C_2: Theoretically predicted MAX phase like damage tolerant ceramics and promising interphase materials for SiC_f/SiC composites 被引量:9
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作者 Yanchun Zhou Huimin Xiang Fu-Zhi Dai 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第3期313-322,共10页
Researching for interphase materials that can protect SiC fibers from oxygen and water vapor attacks has become one of the most important issues for the applications of SiC_f/SiC composites in high-temperature combust... Researching for interphase materials that can protect SiC fibers from oxygen and water vapor attacks has become one of the most important issues for the applications of SiC_f/SiC composites in high-temperature combustion environment. However, such kinds of interphase materials are not available yet. Herein,we report theoretically predicted properties of two promising interphase materials Y_5Si_3 C and Y_3Si_2C_2.Although crystallizing in different structures, they share the common features of layered structure,anisotropic chemical bonding, anisotropic electrical and mechanical properties, and low shear deformation resistance. The bulk moduli for Y_5Si_3C and Y_3Si_2C_2 are 78 and 93 GPa, respectively; while their shear moduli are 52 and 50GPa, respectively. The maximum to minimum Young's modulus ratios are1.44 for Y_5Si_3C and 3.27 for Y_3Si_2C_2. Based on the low shear deformation resistance and low Pugh's ratios(G/B = 0.666 forY_5Si_3C and 0.537 for Y_3Si_2C_2; G: shear modulus; B: bulk modulus), they are predicted as damage tolerant and soft ceramics with predicted Vickers hardness of 9.6 and 6.9 GPa, respectively.The cleavage plane and possible slip systems are(000 l) and(0001)[1120] and(1010)[0001] forY_5Si_3C,and those for Y_3Si_2C_2 are {h00} and(010)[101]. Since the oxidation products are water-vapor resistant Y2 Si2 O7, Y2 SiO5 and/or Y_2 O_3 upon oxidation, and the volume expansions are ca 140% and ca 26% for Y_5Si_3C and Y_3Si_2C_2, they are expected to seal the interfacial cracks in SiC_f/SiC composites. The unique combination of easy cleavage, low shear deformation resistance, volume expansions upon oxidation, and the resistance of the oxidation products to water vapor attack warrant them promising as interphase materials of SiC_f/SiC composites for water-vapor laden environment applications. 展开更多
关键词 Y5Si3C Y3Si2C2 INTERPHASE material DAMAGE TOLERANT CERAMICS Electronic structure
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熔盐辅助合成Dy3Si2C2包裹SiC粉体及其陶瓷的烧结行为 被引量:3
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作者 万朋 李勉 黄庆 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期49-54,共6页
碳化硅陶瓷因自身优良的物理化学性能而具有广泛的应用前景。碳化硅的化学键结合特性决定了其难以烧结成型,因此如何制备高质量碳化硅陶瓷是领域内的难点之一。本研究以三元稀土碳化物Dy3Si2C2作为新型SiC陶瓷的烧结助剂,依据Dy-Si-C体... 碳化硅陶瓷因自身优良的物理化学性能而具有广泛的应用前景。碳化硅的化学键结合特性决定了其难以烧结成型,因此如何制备高质量碳化硅陶瓷是领域内的难点之一。本研究以三元稀土碳化物Dy3Si2C2作为新型SiC陶瓷的烧结助剂,依据Dy-Si-C体系的高温相转变原位促进碳化硅的烧结致密化。采用放电等离子烧结技术,利用金属Dy与SiC反应生成Dy3Si2C2,对Dy3Si2C2包裹的SiC粉体进行烧结。在1800℃、45 MPa的烧结条件下,得到了致密度为99%、热导率为162.8 W·m^–1·K^–1的高纯度碳化硅陶瓷。进一步的研究表明,高温下Dy3Si2C2与SiC发生共晶反应,在晶界处产生的液相促进了SiC陶瓷的致密化,表明稀土层状碳化物Re3Si2C2(Re=La,Ce…)有助于SiC的烧结致密。 展开更多
关键词 SIC Dy3Si2C2 放电等离子烧结 熔盐
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Ti_3(Si,Al)C_2金属间化合物多孔材料的抗盐酸腐蚀性能
10
作者 王重贺 康建刚 +3 位作者 张惠斌 刘新利 贺跃辉 江垚 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2018年第1期85-93,共9页
以Ti、Si、Al和石墨元素粉末为原料,采用粉末冶金方法制备的Ti_3(Si,Al)C_2金属间化合物多孔材料,具有良好的孔隙结构特征和力学性能。研究Ti_3(Si,Al)C_2多孔材料分别在0.001,0.01,0.1和1 mol/L盐酸溶液中的质量、孔结构和表面形貌的... 以Ti、Si、Al和石墨元素粉末为原料,采用粉末冶金方法制备的Ti_3(Si,Al)C_2金属间化合物多孔材料,具有良好的孔隙结构特征和力学性能。研究Ti_3(Si,Al)C_2多孔材料分别在0.001,0.01,0.1和1 mol/L盐酸溶液中的质量、孔结构和表面形貌的变化情况。通过Tafel曲线得到Ti_3(Si,Al)C_2多孔材料的电化学腐蚀动力学参数,并与多孔Ti材料进行对比。结果显示,Ti_3(Si,Al)C_2多孔材料腐蚀行为呈抛物线规律,在0.001 mol/L盐酸溶液中质量损失最少,为多孔Ti材料的29%。Ti_3(Si,Al)C_2多孔材料的孔结构在0.001 mol/L盐酸中最大孔径及透气度变化分别为1.06%,9.4%,随酸度增大变化不大,表现出优异的孔结构稳定性。电化学极化曲线拟合结果表明,Ti_3(Si,Al)C_2多孔材料自腐蚀电位在0.01,0.1和1 mol/L盐酸溶液中随酸浓度的升高而负移,自腐蚀电流密度随酸度提高而增加,且材料在0.01 mol/L盐酸溶液中的抗腐蚀性能最佳,自腐蚀电位及电流密度分别为161 mV,7.802×10^(-4) mA·cm^(-2)。结合静态腐蚀浸泡实验和电化学腐蚀测试结果,Ti_3(Si,Al)C_2多孔材料表现出优异的抗盐酸腐蚀性能。 展开更多
关键词 Ti3(Si Al)C2金属间化合物 多孔材料 孔结构 电化学腐蚀 抗腐蚀性能
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Mechanical and thermodynamic properties of the monoclinic and orthorhombic phases of SiC_2N_4 under high pressure from first principles
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作者 苗楠茜 濮春英 +4 位作者 何朝政 张飞武 卢成 卢志文 周大伟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第12期382-389,共8页
First principles calculations are preformed to systematically investigate the electronic structures, elastic and thermodynamic properties of the monoclinic and orthorhombic phases of Si C2N4 under pressure. The calcul... First principles calculations are preformed to systematically investigate the electronic structures, elastic and thermodynamic properties of the monoclinic and orthorhombic phases of Si C2N4 under pressure. The calculated structural parameters and elastic moduli are in good agreement with the available theoretical values at zero pressure. The elastic constants of the two phases under pressure are calculated by stress–strain method. It is found that both phases satisfy the mechanical stability criteria within 60 GPa. With the increase of pressure, the degree of the anisotropy decreases rapidly in the monoclinic phase, whereas it remains almost constant in the orthorhombic phase. Furthermore, using the hybrid density-functional theory, the monoclinic and orthorhombic phases are found to be wide band-gap semiconductors with band gaps of about 2.85 e V and 3.21 e V, respectively. The elastic moduli, ductile or brittle behaviors, compressional and shear wave velocities as well as Debye temperatures as a function of pressure in both phases are also investigated in detail. 展开更多
关键词 Si C2N4 density functional theory Debye temperature elastic anisotropy
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[Si,N,C,O]^(2+)异构体结构、相对稳定性与解离
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作者 池玉娟 于海涛 +2 位作者 傅宏刚 李泽生 孙家钟 《中国科学(B辑)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期527-533,共7页
在UB3LYP/6-311G(d)和UCCSD(T)/6-311+G(2df)(单点)水平下得到了[Si,N,C,O]2+体系的15种异构体,对它们的结构进行了分析,并给出了能量较低的离子碎片方式.计算结果表明线型异构体SiNCO2+(2Ⅱ)是[Si,N,C,O]2+体系中热力学最稳定的物种,... 在UB3LYP/6-311G(d)和UCCSD(T)/6-311+G(2df)(单点)水平下得到了[Si,N,C,O]2+体系的15种异构体,对它们的结构进行了分析,并给出了能量较低的离子碎片方式.计算结果表明线型异构体SiNCO2+(2Ⅱ)是[Si,N,C,O]2+体系中热力学最稳定的物种,其次是线型的SiOCN2+(2Ⅱ),SiCNO2+(2Ⅱ)和含NCO三元环的异构体SiC(NO)(2A").几个动力学相对较稳定的异构体的稳定性顺序为SiNCO2+>SiCNO2+(2Ⅱ)>SiOCN2+>SiC(NO)2+>OSiNC2+(2Ⅱ).对异构化过程及离子碎片方式的分析结果说明线型异构体SiNCO2+是相关质谱实验中的主要物种,而且是亚稳态的,在质谱条件下可以解离成离子碎片. 展开更多
关键词 相对稳定性 [Si N C O]^2+异构体 异构化 解离方式 分子结构 离子碎片
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Fabrication,microstructure,and properties of SiC/Al4SiC4 multiphase ceramics via an in-situ formed liquid phase sintering 被引量:11
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作者 Junwen LIU Xiaobing ZHOU +5 位作者 Peter TATARKO Qin YUAN Lan ZHANG Hongjie WANG Zhengren HUANG Qing HUANG 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE CSCD 2020年第2期193-203,共11页
The SiC/Al4SiC4 composites with the improved mechanical properties and thermal conductivity were fabricated by the in-situ reaction of polycarbosilane(PCS)and Al powders using spark plasma sintering.The addition of 5 ... The SiC/Al4SiC4 composites with the improved mechanical properties and thermal conductivity were fabricated by the in-situ reaction of polycarbosilane(PCS)and Al powders using spark plasma sintering.The addition of 5 wt%yttrium(Y)sintering additive was useful to obtain fully dense samples after sintering at a relatively low temperature of 1650℃,due to the formation of a liquid phase during sintering.The average particle size of the in-situ formed SiC was^300 nm.The fracture toughness(4.9 MPa·m1/2),Vickers hardness(16.3 GPa),and thermal conductivity(15.8 W/(m·K))of the SiC/Al4SiC4 composite sintered at 1650℃were significantly higher than the hardness(13.2 GPa),fracture toughness(2.16 MPa·m1/2),and thermal conductivity(7.8 W/(m·K))of the monolithic Al4SiC4 ceramics.The improved mechanical and thermal properties of the composites were attributed to the high density,fine grain size,as well as the optimized grain boundary structure of the SiC/Al4SiC4 composites. 展开更多
关键词 AL4SIC4 SIC Y3Si2C2 spark plasma sintering
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Structures, relative stability and dissociation of [Si,N,C,O]^(2+) isomers 被引量:2
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作者 池玉娟 李泽生 +2 位作者 于海涛 孙家钟 傅宏刚 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2002年第6期561-569,共9页
Fifteen isomers of [Si,N,C,O]2+ system are obtained at UB3LYP/6-311G(d) and UCCSD(T)/6-311+G(2df) (single-point) levels. The analyses are made for predicting the structures of optimized isomers, while ionic fragments ... Fifteen isomers of [Si,N,C,O]2+ system are obtained at UB3LYP/6-311G(d) and UCCSD(T)/6-311+G(2df) (single-point) levels. The analyses are made for predicting the structures of optimized isomers, while ionic fragments with lower energies are suggested. The calculated results indicate that linear isomer SiNCO2+(2Π) is thermodynamically the most stable species in [Si,N,C,O]2+ system, followed by linear SiOCN2+ (2Π), SiCNO2+ (2Π), and SiC(NO) (2A) with NCO three-membered ring. The order of stability of several kinetically stable isomers is SiNCO2> SiCNO2+ (2Π)>SiOCN2+>SiC(NO)2+>OSiNC2+ (2Π). The obtained results by analyzing the isomerizations and ionic fragment patterns show that the signal peaks of [Si,N,C,O]2+ are attributed to the contribution of linear SiNCO2+ species, which is metastable and can dissociate to the ionic fragments in the mass spectrometry experiments. 展开更多
关键词 [Si N C O]2+ system isomerization stability dissociation.
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